MKS Granville Phillips 过程控制模块,用于 GP 370 真空计控制器的 6 个设定点。
MKS Granville Phillips 零件号:370107这是 MKS Granville Phillips 过程控制模块,为 370 真空计控制器提供单刀双掷继电器,可通过(6 个数字设定点)或内置手动超驰开关进行控制。该过程控制模块有 6 个用户可选通道。前 2 个通道分配给离子真空计。如果存在,通道 3 和 4 分配给 CGA 或 TCA; 5和6至CGB、TCB或CMB。
提供开关将通道 1 分配给 IG1、IG2 或两者;通道 2 也是如此。所有六个通道都具有可选择的极性,可在高于或低于设定点时激活。有关过程控制卡(模块)的安装程序,请参阅说明手册.pdf 第 16-27 页。规格及使用方法请参见使用说明书第五章。这仅是过程控制卡模块(带有 6 个设定点),MKS Granville Phillips 370 控制器、电缆和附件在本网站上单独出售。 pdf 格式的 MKS Granville Phillips 370 真空计控制器说明手册可在下面下载。