MKS HPS® 423 I-Mag® 传感器冷阴极真空计 KF25、NW25,与 MKS 943 冷阴极真空控制器兼容。
MKS 零件号:104230004 423 I-Mag® 传感器采用倒置磁控管设计,可在比传统潘宁冷阴极传感器低得多的压力下工作,使用适当的控制器可低至 10-11 Torr。这种增加的压力范围使 HPS® 冷阴极传感器非常适合 UHV 使用。 HPS® 冷阴极传感器的一个独特设计特点是用于离子收集的第二个馈通。在普通的单馈通设计中,阳极和接地之间的任何电流泄漏都会导致压力测量误差。在双馈通设计中,只有来自阴极的离子电流才有助于测量读数,使其成为过程监控的理想选择。
423 I-Mag® 传感器不会烧坏灯丝,因此不会被突然涌入的空气损坏,并且能够抵抗振动损坏。此外,无需调整发射电流或对仪表进行脱气,从而缩短了对压力变化的响应时间。如果需要烘烤,可以拆下磁铁和传感器连接器,并将传感器烘烤至 400°C。
这只是一个冷阴极传感器,该装置的 MKS 信号电缆和 MKS 943 控制器在本网站上单独出售。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。