MKS HPS® 系列 901P Plus MicroPirani™ 压电负载锁真空传感器 ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030 MKS HPS® 系列 901P Plus 传感器具有组合传感器输出,可测量 1x10 -5至 1,000 Torr,用于监测抽空循环。这一独特的专利传感器专为装载室环境而设计,901 Plus (901P) 可在一个紧凑的封装中取代多达三个传感器。 901P 通过集成 MicroPirani™ 和压电传感器技术,提供压力测量和大气切换功能。差动传感器可确保在变化的气压条件下准确感应气压,从而实现最佳的负载锁性能。同时需要电源和显示器的客户可以将 901P 与本网站上出售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整的规格和操作信息,请参阅下面的可用下载。
规格和价格如有变更,恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。 MKS HPS® 系列 901P Plus MicroPirani™ 压电负载锁真空传感器
选项、零件号 (PN): ISO-KF NW 16、RS-232 PN 901P-11030
ISO-KF NW 16、RS-485 PN 901P-12030
ISO-KF NW 25、RS-232 PN 901P-21030
ISO-KF NW 25、RS-485 PN 901P-22030
4 录像机-F、RS-232 PN 901P-41030
4 录像机-F、RS-485 PN 901P-42030
8 录像机-F、RS-232 PN 901P-51030
8 录像机-F、RS-485 PN 901P-52030
ISO-KF NW 16 外部、RS-232 PN 901P-81030
ISO-KF NW 16 外部、RS-485 PN 901P-82030