MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器,KF16,RS232,PN 910-11 HPS® 910 系列是一款双传感器传感器,将 Pirani 和 Piezo 的压力测量技术与集成电子控制电路相结合。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器,可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能,可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时,MicroPirani 会对 Piezo 执行自动归零功能。与传统的皮拉尼真空计不同,MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成,允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr,超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小,因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响,因此可以在任何位置进行操作,而不会影响精度,从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制,可在压力低于 10-5 Torr 时使用。
910 系列数字通信允许通过主机实时进行所有调整和监控。 910 包括 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。 910 系列在公 15 针高密度 D-sub 连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理,并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制,910 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样,MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 910 提供数字泄漏检测输出,可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 910 DualTrans。有关完整的规格和操作信息,请参阅下面的可用下载。
规格和价格如有变更,恕不另行通知。 HPS® 和 MicroPirani™ 是 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。选项、(PN) 部件号和定价:全新 MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器 PN 910-11 ISO-KF NW 16、RS-232、 PN 910-11,2009 年价格 635 美元
ISO-KF NW 16、RS-485、 PN 910-12,2009 年价格 635 美元
4 录像机-F、RS-232、 PN 910-41,2009 年价格 665 美元
4 录像机-F、RS-485、 PN 910-42,2009 年价格 665 美元
8 录像机-F、RS-232、 PN 910-51,2009 年价格 670 美元
8 录像机-F、RS-485、 PN 910-52,2009 年价格 670 美元
所有价格如有变更,恕不另行通知。