MKS HPS® 系列 910 DualTrans™ Micropirani 绝对压电传感器,KF16,RS485,PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute 压电真空传感器专为大范围压力测量应用而设计,并配有尺寸为 NW16 ISO-KF 的法兰接头。与传统热导率计相比,组合输出可提供显着更高的精度、稳定性、可重复性和更快的响应时间。 910 结合了两种压力测量技术,提供卓越的性能和功能。 910 提供 11 至 1500 Torr 范围内的独立于气体的绝对压力测量,其精度比热导率传感器更高。与传统的皮拉尼真空计不同,MicroPirani 中的传感器元件由一毫米见方的硅芯片制成,允许在非常小的体积内进行测量。由于采用了 MicroPirani 技术,910 可以读取低至 10-5 Torr 的压力,比标准 Pirani 传感器低二十个百分点。传感器设计最大限度地减少了对流的影响,因此 910 可以以任何方向安装,而不会影响精度。
Piezo 是一款绝对压力传感器,可提供直接压力读数,从而实现独立于气体的测量。压电传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。 910 具有 RS485 数字通信接口,用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 910 还具有 1VDC/十倍频的模拟压力输出,可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面选择。 910 具有三个可用于过程控制的机械继电器,例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给压电测量或组合的绝对 MicroPirani/压电测量。 910 紧凑的设计显着减少了真空计占用的空间。这对于系统设计者来说特别有吸引力,并且可以实现更紧凑的真空系统。