MKS 质量流量控制器电缆将 246 或 247 控制器连接到 179 或 GM50A 质量流量控制器,15 针 D 型连接器,长 10 英尺 (3m)。
MKS 零件号:RCBDMFC-1-10。 MKS 质量流量控制器电缆连接 179、258、358、558、1159、1162、1179、1259、1261、1359、1449、1459、1479、1559、1562、1679、2159、2162、2259、GE50A、 GM50A、GM100A 、IE50A、IM50A、P250A、IM250A、M10B、M100 质量流量控制器至 246、247 或 660 控制器,带 15 针 D 型高密度超小型至 15 针标准超小型连接器。这仅是电缆。
MKS 946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统,它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数,并提供压力控制选项。
电源/读数器设计用于控制和显示任何流量传感器。流量设定点可以通过前面板控制装置或通过后面板模拟接口远程调节。 946 真空系统控制器是一个六通道/顺序可选的单读数器。与质量流量控制器和质量流量读数器兼容。本网站提供 MKS 946 的信号电缆。