Pfeiffer HiPace 80 涡轮泵，带 TC 110 驱动装置 DN63 ISO-K 63 入口法兰 67 l/s 抽速 风冷或水冷，部件号：PM P03 940 A

配备 DN63 ISO-K 入口法兰的 Pfeiffer HiPace 80 涡轮分子高真空泵的抽速为 67 升每秒 (l/s)，极限压力为 7.5 x 10 ^-8 Torr。这款 Pfeiffer HiPace 80 泵配有安装在泵侧面的集成 TC 110 驱动单元，并具有 ISO KF-16 排气前级法兰。泵可以任何方向安装。需要最大 110 瓦的 24 VDC 输入功率。这款 HiPace 80 涡轮泵配有 ISO-K 63 入口和 TC 110 驱动装置，普发部件号为：PM P03 940 A。

随附的 TC 110 驱动单元是一款紧凑型板载控制器，其中包括一个用于提供泵电源的 X3（15 针 D-Sub）连接器、RS485 通信和附件端口（用于控制空气冷却风扇或电磁通风阀）。对于原始设备制造商 (OEM) 和系统集成应用，启动泵所需的只是合适的 24 VDC 电源以及启动/停止逻辑。对于实验室应用，我们推荐使用 200 瓦 Pfeiffer OmniControl 200 控制器，它既可以供电又可以控制泵。 OmniControl 200 是一款台式或机架式远程用户界面/电源，可通过 RS485 与普发 HiPace 系列涡轮泵进行通信并提供全面监控和控制。或者，也可以使用更经济的 Pfeiffer DCU 110 控制器来供电和控制泵。要互连泵和控制器，并断开 RS485 连接器和附件端口，请使用部件号 P103335 或 P1011168 的 Pfeiffer 电缆。

我们提供各种可选配件，包括 OmniControl 200 和 DCU 110 泵控制器、入口滤网、强制风冷和水冷套件、电磁控制通风阀和加热带（仅适用于 Conflat CF 法兰泵）。

带 ISO-K 63 入口和 TC 110 驱动装置的 Pfeiffer HiPace 80 涡轮泵规格：

• 零件编号：PM P03 940 A
• 进口法兰：ISO-63K（法兰采用双爪卡箍连接）
• 基础压力：7.5 x 10 ^-8托
• 运行速度：90,000 RPM
• 安装方向：任意
• 抽速：67 升/秒
• 冷却方式标准：对流
• 冷却方法可选：强制空气或水（75 l/h，15 至 25 °C）
• 排气法兰：KF-16、G 1/4” (BSPP)
• 通风连接：G 1/8” (BSPP)
• 集成控制器：TC 110 驱动单元
• 工作电压：24 VDC
• 最大功率：110瓦
• 启动时间”1.7 分钟
• 接口：RS485、远程、通过 15 针 D-Sub X3 连接器
• 配件端口：两个 15 针 D-Sub X3 连接器
• 输入电源：通过 15 针 D-Sub X3 连接器
• 工作模式显示：3 个 LED
• 推荐的低真空泵：HiScroll 6 干式涡旋泵

普发真空 HiPace 系列涡轮泵采用独特的转子设计和经过验证的混合轴承。 HiPace 泵可实现高抽速、高气体吞吐量以及轻质气体的高压缩。 HiPace 泵具有涡轮分子级和阻力级，可提高对更高后级管线压力的耐受性，并为所有气体种类提供更高的抽速。 HiPace 混合轴承是前真空侧陶瓷球轴承和高真空侧永磁径向轴承的组合。该轴承技术不需要电磁体，使用寿命较长，典型维护间隔约为 4 年。除了增强的性能外，所有 HiPace 涡轮泵还具有可现场维修的油盒和轴轴承，可大大减少停机时间。

配备 Conflat CF 法兰的 Pfeiffer HiPace 泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力可达 10 ^-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫圈且真空室经过彻底清洁和烘烤） 。带有 ISO 法兰的涡轮泵的极限压力（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封件的渗透和除气）限制在 10 ^-8 Torr 范围内。如果涡轮采用水冷方式，Conflat 法兰 HiPace 泵的进气温度可高达 120 °C。

典型的涡轮泵应用包括：

• 一般清洁泵送应用
• 扫描电子显微镜 - SEM
• 光束线和高能物理
• 质谱
• 电子显微镜
• 样品制备
• 研究与开发
• 高能物理
• 工业的
• 半导体
• 涂料
• 表面科学仪器

泵说明手册和 Pfeiffer HiPace 泵产品手册可下载。