全新 Edwards 排气止回阀套件,适用于 IH、QDP、IQDP 干泵、KF 40 连接法兰
这是 Edwards 真空泵排气止回阀套件。它通常用于帮助防止空气在断电期间通过泵向后冲。它们只是一种单向阀,旨在抑制向后的气流。即使安装了这些止回阀之一,泵最终也会增加到大气压力。这些止回阀有助于防止工艺粉末因大气流而向后冲走。它们通常用于 Edwards 干式半导体泵、iH、QDP 和 iQDP 干泵。
排气止回阀套件包括:
(2) KF-40 铰链夹
(2) KF-40 过压定心环
(1) KF-40 排气止回阀
(1) KF-40 90度不锈钢弯头