原子层沉积 (ALD) 液体前体蒸气输送钢瓶系统
气缸容积:150cm 3
气缸等级:DOT-3E-1800在化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 和原子层沉积 (ALD) 工艺中,需要从液体前体控制气相蒸汽的输送。这些液体蒸气气体输送瓶包含一个集成的起泡器,以帮助将前体蒸气包含在缓冲气体流中。这些蒸汽输送钢瓶由耐化学腐蚀的 316 不锈钢制成,在入口和排气口处配有 1/4 转球阀。该气缸的额定承受压力高达 1800 PSI (@ 37°C)。
气缸最大压力额定值随温度变化。请勿对气瓶加压超过其各自的温度限制
流动方向印在每个阀门上,当缓冲气体以正确的方向流向沉积过程时,在圆筒底部形成气泡,气泡通过前体液体上升。这使得缓冲气体(通常是氦气、氖气或氩气)中的稀释前体蒸气能够持续稳定地流动。这些液体前体蒸汽输送气瓶可以是加热器或冷的,以控制前体的蒸汽压力和浓度。这允许生成准确的流量浓度。
入口阀和出口阀是 1/4 英寸 Swagelok® 接头球阀,不适用于自燃液体。对于高度易燃自燃液体的 ALD 应用,我们的输送缸升级为隔膜阀,以提高安全性,适用于自燃液体,例如三甲基铝 (TMA)、三乙基铝 (TEA)、二乙基锌 (DEZn) 和三甲基镓(TMGa)。
Swagelok-TM 世伟洛克公司