安捷伦 TPS-Flexy 真空系统，带 84FS 涡轮、CF 4.5 进样口、IDP3 涡旋粗加工、板载续120V

TPS-flexy：自己动手真空！使用 Twistorr 84 FS Conflat CF 4.5 入口、板载控制器和 IDP3 涡旋低真空泵创建集成涡轮泵系统。这些是旋塞泵高真空和超高真空系统。紧凑、可靠、完全集成的真空解决方案，可提供高容量、抽速范围从大气压到 UHV 1x10-9 Torr。现在有了创新的、可靠性更高的 TwisTorr FS 涡轮分子真空泵（84FS 或 304FS）。该 Agilent TPS-Flexy 为 120VAC，但也提供 240VAC 型号。要立即启动并运行您的系统，请按照 Flexy 套件随附的简单组装说明进行操作。

要查看 Flexy Assembly 上的视频，请单击下面的“显示更多”按钮。↯

应用包括：

• 特高压系统抽真空
• 离子泵粗加工
• 灯管加工
• 低温泵再生
• 高真空系统操作
• 高真空和超高真空系统烘烤

该 Agilent Varian TPS-Flexy 包括以下组件：

• Agilent Varian 84 FS TwisTorr 涡轮分子泵，CF4.5 进样口，49 l/s 氮气，部件号 X3502-64002
• Agilent Varian 84 板载导航控制器，PN X3509-64000
• 适用于机架和板载控制器的安捷伦瓦里安空气冷却风扇套件，PN 9699290
• 安捷伦瓦里安 IDP3 120V 干式涡旋低真空泵，PN IDP3B01
• CF4.5 入口滤网，部件号 x3502-68000
• 交流电源线，3 米，部件号 9699958

安捷伦瓦里安 TPS-Flexy 是一个完整的独立真空系统，只需插入电源并抽气即可。所需要的只是连接到您的腔室或真空过程所需的硬件和压力表。

有关 Agilent Varian 84 FS 涡轮分子真空泵的注意事项
这些 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 涡轮分子高真空泵比以前的 V-81M、V-81T 涡轮泵具有令人惊叹的新改进。这些改进包括 Twistorr 拖级技术和安捷伦浮动悬架。 TwisTorr 拖动级为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比，以提供高吞吐量和高前级压力耐受性，从而允许使用更小、更经济的前级泵。该技术实现了紧凑的转子设计，既节能又保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬浮系统可降低噪音和振动，并确保最佳的轴承工作条件，从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长期稳定的泵送性能。 Agilent TwisTorr 84 FS 独特的轴承和干式润滑消除了润滑油和维护，并允许泵在任何方向运行。

安捷伦瓦里安 TwisTorr 涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计，并能很好地集成到安捷伦 TPS 台式真空系统中。这些新型 Agilent TwisTorr 84 FS 涡轮泵只需极少的维护甚至无需维护，并可防止误用。这些泵具有铜水冷却通道，可优化传热，并降低水消耗和拥有成本。配备 CF4.5 入口法兰的 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 涡轮泵的氮气抽速为 49 l/s，采用 KF-16 前级法兰，环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C。这 84 个 FS 泵的启动时间 <2 分钟，转速 81000 rpm。当环境空气温度为 5-35 °C 时，冷却要求至少为强制风冷，或最小流量为 65 l/h (0.30 GPM) 的水冷却，水温在 +15 °C 至 +25 °C 之间，温度为水压为 45 至 75 psi。 TwisTorr 84 FS 涡轮泵的 PDF 用户说明手册可在下面下载。

有关 Agilent Varian 84FS 板载导航控制器的注意事项
这些 Varian Agilent TwisTorr 84 FS Navigator 控制器由单片机驱动，由两块 PCB 组成，其中包括电源和三相输出、模拟和 I/O 部分、微处理器和数字部分。电源与三相输出一起将单相交流市电电源或 24Vdc 电源转换为为泵供电所需的三相低压中频输出。这些控制器具有串行端口 RS-232/485，允许泵与系统控制器连接，并通过带有 T-Plus 软件的 PC 进行操作。 （软件单独出售）在本网站上。这些瓦里安安捷伦 TwisTorr 84 FS Navigator 控制器是全新的，并提供制造保修。有关完整规格、控制器功能和说明手册，请参阅下面的 PDF 下载。阀门。
安捷伦瓦里安 IDP3 干式涡旋低真空泵注意事项
安捷伦瓦里安 IDP-3 干式涡旋真空泵是一款紧凑型高性能干泵，可提供经济实惠的无油真空。它可轻松与 TPS-bench 系统集成，适用于各种应用。 Agilent Varian IDP-3 采用创新的密封设计，其中电机和轴承位于真空空间之外，从而可以完全隔离所有泵送气体。 IDP-3 涡旋泵配有排气阀，以防止关闭时快速泄漏到大气中。然而，任何真空泵在关闭时都会产生入口管线压力的小幅增加。当泵关闭时，少量的泵碎片可能会被带回真空管线或真空室中。为了防止这种情况，IDP3 配备了一个外部入口隔离阀，该阀在电源关闭时自动关闭，消除了这种污染。 IDP3 可提供 60 l/m (2.1 CFM) 的强劲抽速和低于 2.5x10-1 Torr 的极低基础压力。安捷伦瓦里安 IDP-3 在紧凑、轻便、经济高效的封装中提供了安捷伦瓦里安专利涡旋泵技术的所有优点。本网站 PN P102813 提供了适用于 IDP-3 的用户友好的更换端部密封重建套件。 IDP-3 的 PDF 用户说明手册可在下面下载。