Agilent Varian TPS-Flexy 系统，配备 TwisTorr 84 FS Turbo、CF 4.5 进样口、MD1 隔膜和紧凑型安装平台上的板载控制器
安捷伦部件号：X1699-64031 120-240 VAC TPS-flexy：自己动手真空！使用 Twistorr 84 FS、CF 4.5 入口、板载控制器和 MD1 隔膜泵创建集成涡轮泵系统。这些是旋塞泵高真空和超高真空系统。紧凑、可靠、完全集成的真空解决方案，可提供高容量、抽速范围从大气压到 UHV 1x10-9 Torr。现在有了创新的、可靠性更高的 TwisTorr FS 涡轮分子真空泵（84FS 或 304FS）。要立即启动并运行您的系统，请按照 Flexy 套件随附的简单组装说明进行操作。
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应用包括：- 特高压系统抽真空
- 离子泵粗加工
- 灯管加工
- 低温泵再生
- 高真空系统操作
- 高真空和超高真空系统烘烤
该 Agilent Varian TPS-Flexy 包括以下组件：- Agilent Varian 84 FS TwisTorr 涡轮分子泵，CF4.5 进样口，49 l/s 氮气，部件号 X3502-64002
- Agilent Varian 84 板载导航控制器，PN X3509-64000
- 适用于机架和板载控制器的安捷伦瓦里安空气冷却风扇套件，PN 9699290
- 安捷伦瓦里安 MD1 隔膜泵 PN：9499432M001
- CF4.5 入口滤网，部件号 PN：X3502-68000
- 交流电源线，3 米，部件号 9699958
安捷伦瓦里安 TPS-Flexy 是一个完整的独立真空系统，只需插入电源并抽气即可。所需要的只是连接到您的腔室或真空过程所需的硬件和压力表。
有关 Agilent Varian 84 FS 涡轮分子真空泵的注意事项这些 Agilent Varian TwisTorr 84 FS 涡轮分子高真空泵比以前的 V-81M、V-81T 涡轮泵具有令人惊叹的新改进。这些改进包括 Twistorr 拖级技术和安捷伦浮动悬架。 TwisTorr 拖动级为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比，以提供高吞吐量和高前级压力耐受性，从而允许使用更小、更经济的前级泵。该技术实现了紧凑的转子设计，既节能又保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬浮系统可降低噪音和振动，并确保最佳的轴承工作条件，从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长期稳定的泵送性能。 Agilent TwisTorr 84 FS 独特的轴承和干式润滑消除了润滑油和维护，并允许泵在任何方向运行。
安捷伦瓦里安 TwisTorr 涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计，并能很好地集成到安捷伦 TPS 台式真空系统中。这些新型 Agilent TwisTorr 84 FS 涡轮泵只需极少的维护甚至无需维护，并可防止误用。这些泵具有铜水冷却通道，可优化传热，并降低水消耗和拥有成本。配备 CF4.5 入口法兰的 Agilent Varian TwistTorr 84 FS 涡轮泵的氮气抽速为 49 l/s，采用 KF-16 前级法兰，环境工作温度为 5 °C 至 +35 °C。这 84 个 FS 泵的启动时间 <2 分钟，转速 81000 rpm。当环境空气温度为 5-35 °C 时，冷却要求至少为强制风冷，或最小流量为 65 l/h (0.30 GPM) 的水冷却，水温在 +15 °C 至 +25 °C 之间，温度为水压为 45 至 75 psi。 TwisTorr 84 FS 涡轮泵的 PDF 用户说明手册可在下面下载。
有关 Agilent Varian 84FS 板载导航控制器的注意事项这些 Varian Agilent TwisTorr 84 FS Navigator 控制器由单片机驱动，由两块 PCB 组成，其中包括电源和三相输出、模拟和 I/O 部分、微处理器和数字部分。电源与三相输出一起将单相交流市电电源或 24Vdc 电源转换为为泵供电所需的三相低压中频输出。这些控制器具有串行端口 RS-232/485，允许泵与系统控制器连接，并通过带有 T-Plus 软件的 PC 进行操作。 （软件单独出售）在本网站上。这些瓦里安安捷伦 TwisTorr 84 FS Navigator 控制器是全新的，并提供制造保修。有关完整规格、控制器功能和说明手册，请参阅下面的 PDF 下载。
有关 Agilent Varian MD1 隔膜泵的注意事项MD1 隔膜泵已针对无油使用和泵送低至 1.5 mbar 极限真空的非腐蚀性气体进行了优化。 MD1 采用 3 级设计和特殊导向的扁平隔膜，即使在接近极限真空的情况下也能提供卓越的抽速。 MD1 具有极低的振动水平和较长的隔膜使用寿命，并且能够以无与伦比的稳定性维持极限真空。隔膜由 PTFE/FKM 制成，使这些泵成为各种非腐蚀性应用的理想选择。
