安捷伦瓦里安 TPS 移动真空系统，带 74FS 涡轮增压器、ISO63 进样口，移动车上配有 IDP-07 干式涡旋泵

这些 Agilent Varian TPS 移动系统配备了抽速为 60 l/s 的 Agilent 74 FS 涡轮泵、ISO-63K 入口法兰、IDP-7 干式涡旋低真空泵和 74-FS AG 机架安装控制器。它们是即插即用的、完整的独立超高真空抽气系统，只需插入并抽气即可。所需要的只是连接到您的腔室或真空过程所需的硬件和压力表。带 CF 法兰的 Agilent 74 FS 涡轮泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力可达 10-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫圈且真空室完全清洁和烘烤）出去）。配备 ISO-K 法兰的 Agilent 74 FS 涡轮泵的极限压力（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封件的渗透和排气）限制在 10-8 Torr 范围内。当涡轮机采用水冷时，这些泵的进气法兰（仅限 CF 法兰）可烘烤至 100 °C。

应用包括：

• 特高压系统抽真空
• 离子泵粗加工
• 灯管加工
• 低温泵再生
• 高真空系统操作
• 高真空和超高真空系统烘烤

该 Agilent Varian TPS 移动设备包括以下组件：

• Agilent Varian 74 FS TwisTorr 涡轮分子泵，ISO-63 进样口，60 l/s 氮气
• Agilent Varian 74 AG FS 机架控制器
• 适用于机架控制器的安捷伦瓦里安空气冷却风扇套件
• 安捷伦瓦里安 IDP-07 干式涡旋低真空泵
• ISO63 入口带筛网
• 带轮子和可调节泵高度的移动推车
• 交流电源线，3 米

有关 Agilent Varian 74 FS 涡轮分子真空泵的注意事项
这些安捷伦瓦里安 TwisTorr 74-FS 涡轮分子高真空泵具有全新的改进性能，包括更新设计的迷宫式 Twistorr 拖动级技术和安捷伦浮动悬架 (AFS) 以及优化的热设计映射。 TwisTorr 拖动级为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比，以提供高吞吐量和高前级压力耐受性，从而允许使用更小、更经济的前级泵。该技术实现了紧凑的转子设计，既节能又保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬浮系统可降低噪音和振动，并确保最佳的轴承工作条件，从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长期稳定的泵送性能。独特的陶瓷球轴承具有永久润滑功能，无需加油和维护，并允许泵在任何方向运行。安捷伦涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计，其紧凑的尺寸可满足具有严格空间要求的行业的需求。这些新型 Agilent TwisTorr 74 FS 涡轮泵几乎不需要维护，甚至无需维护。 TwisTorr 74 FS 涡轮泵的 PDF 用户说明手册可在下面下载。

有关 Agilent Varian 74FS AG 机架控制器的注意事项
TwisTorr 74FS AG 机架控制器是一款微处理器控制的变频器，具有新的增强功能，可实现更强大的控制和通信功能。它是一款紧凑型 1/4 机架单元，设计用于在全球范围内完全兼容 100-240 VAC。该控制器具有 RS 232/485 连接，为冷却风扇供电，驱动排气阀控制，提供和获取 Agilent Varian 宽量程压力表的压力，并控制 TwisTorr 74FS 系列涡轮泵的泵运行参数。它还包含自我诊断和保护功能。该控制器可自动识别测量低至 10-3 至 10-9 Torr 的 Agilent 有源真空计。 TwisTorr 74 FS AG 控制器的 PDF 用户说明手册可在下面下载。

IDP-7 干式涡旋低真空泵注意事项
新型安捷伦瓦里安 IDP-07 干式涡旋真空泵专为极其安静的 < 55 dBA 和低振动运行而设计，可在 60 Hz 频率下提供 5.4 cfm (9.1 m3/h) 的峰值抽速，并产生 20 mTorr 的极限压力。这些新型 Agilent IDP-07 干式涡旋泵采用密封设计，适用于氦气再循环以及真空炉和前级泵应用。密封设计提供了穿过泵的清洁气体路径，消除了任何油或油脂污染的风险，使电机和轴承能够在大气压力下运行，从而将它们与真空工艺气体或水蒸气隔离。 Agilent IDP-07 支持全球单相电机，工作电压范围可在 50/60Hz 时在 100-120V 或 200-230 VAC 之间轻松切换。 IDP-7 的 PDF 用户使用手册可在侧面下载。