安捷伦瓦里安 TPS-紧凑型干式 74FS 涡轮分子真空泵系统,CF 4.5 入口法兰
产品编号 X3580A-010-022-120(替换瓦里安编号 9698220)安捷伦瓦里安 TPS-Compact 是一种干式高真空涡轮分子泵系统。 TPS-Compact 可以与 74FS 涡轮泵(最大抽速为 60 l/s)或采用最新 twintorr 技术的 305FS(最大抽速为 250 l/s)一起订购。 TPS-紧凑型系统,顾名思义,体积小、结构紧凑、抽气时间短。 TPS-Compact 是一种全干式高真空泵系统,极限压力为 1x10 -9 Torr。 TPS-Compact 内的前级泵是 60 l/min Varian IDP-3 干式涡旋真空泵。瓦里安 TPS-Compact 是一款无油高性能真空泵系统,凭借卓越的涡旋泵性能降低了功耗。安捷伦瓦里安 TPS-Compact 旨在满足苛刻的应用,同时具有成本效益。这些装置可按 KF 40、ISO 63、CF 2.75、CF 4.5 配置订购。这些装置是全新的,并提供安捷伦瓦里安工厂保修。订购时可在单相 115 或 220 VAC、50/60 Hz 下运行。
可选配瓦里安 FRG-700 全系列(主动皮拉尼真空计和倒置磁控管真空计),可测量从大气压到 3.8x10 -9 Torr 的真空压力。 Agilent Varian MiniTask、TPS Compact 和 Varian AG 涡轮泵控制器可以控制 FRG-700 压力表,压力读数显示在设备正面。这些压力表接口在 TPS-Compact 装置的正面配有内置显示屏,压力读数可以以毫巴、托或帕斯卡为单位显示。这些系统的控制器显示器与 RS-232 或模拟通信兼容。我们还提供全系列仪表套件;其中包括瓦里安 FRG-700 有源皮拉尼和倒置磁控管压力计、压力计连接电缆以及带连接硬件的真空三通。
该装置还可配备轮子。所有 TPS-Compact 装置均可通过 PC(不包括在内)使用 T-Plus 软件进行操作。 PDF 格式的完整规格和应用手册可在下面下载。带有 4.5 英寸 Conflat 进气口的新型 TPS Compact 74FS 的部件号为 Agilent Varian X3580A-010-022-120,它取代了现已停产的 Varian TPS Compact V81M(部件号为 9698220)。