安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀,10 SCCM 具有 7/16 和 1/4 Swagelok 接头,适合大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵。
安捷伦瓦里安部件号 PN:9699232。这些安捷伦瓦里安涡轮吹扫阀具有固定的 10 SCCM 流速,具有 7/16 和 1/4 Swagelok 气体供应配件,设计用于插入大多数中型涡轮分子真空泵的吹扫气体供应管线。请参阅排气口的第二张和第三张照片以及显示安装的漫画,第 247 页的 TwisTorr 305 FS 手册中也显示了说明。气体吹扫阀是一种保护装置,可保护泵轴承免受颗粒和腐蚀性气体的影响,这些颗粒和腐蚀性气体可能会损坏泵的轴承。移动到泵中。每个阀门均由安装在滤芯中的薄校准蓝宝石孔制成,以提供精确的小泄漏率,每个管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入并堵塞细孔。每个版本的阀门都适合特定的应用: - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar 时,用于轻度腐蚀操作的小泄漏(1000 mbar 时约 10 sccm)(分析仪器、离子注入机); - 当腐蚀性气体的分压 >10-5 mbar 时,重腐蚀操作(蚀刻、CVD)的大泄漏(1000 mbar 时约 20 sccm)。如果您希望使用不同的流量,您可以更改供给压力。对于给定的供应压力,气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意,流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮吹扫阀的 Agilent Varian 部件号为 PN 969-9232。
可与以下安捷伦瓦里安涡轮泵配合使用:
- TwisTorr 74 FS
- TwisTorr 84 FS
- TwisTorr 305 FS
- TwisTorr 305-IC
- TwisTorr 404 FS
- TwisTorr 704 FS
- TwisTorr 804 FS
- 涡轮V 1001