理想真空气瓶混合组件，304L 不锈钢气瓶，Matheson 3530A 单级调节气瓶等级：DOT-3E-1800，304L 不锈钢理想真空气瓶混合组件旨在简化各种应用中工艺气体的混合。该系统配有气体调节器和气体调节器吹扫阀组件，使用高压针阀（高达 6000 PSI）来帮助精确控制进入混合气瓶的气体流量。该系统配备的气缸为 304L 不锈钢，壁厚为 2.4mm，可加压至建议的最大压力 1800 PSI（@ 37°C）。本网站还提供带有内部 PTFE 涂层或内部电抛光表面处理的气缸。气缸最大压力额定值因温度而异。请勿对钢瓶加压超过其各自的温度限制 吹扫系统对于在钢瓶不使用时保持调节器清洁至关重要。混合的腐蚀性气体最终会腐蚀调节器的密封件，导致其随着时间的推移而失效。为了避免这种情况，吹扫装配线可以连接到惰性气体钢瓶和真空泵。建议在将混合组件与任何数量的腐蚀剂一起使用后，用惰性气体对调节器进行抽真空和吹扫几次，以大大延长调节器的使用寿命。潜在应用包括： 质谱仪 残余气体分析仪 (RGA) 测试 气相色谱仪 培养箱 气体混合物存储 半导体气体采样 激光光谱学 前体输送 大气层外样品存储 化学气体的填充气体 激光 一般气体混合和存储应用

理想真空气瓶混合组件，304L 不锈钢气瓶，Matheson 3530A 单级调节气瓶等级：DOT-3E-1800 理想真空气瓶混合组件旨在简化各种应用中工艺气体的混合。该系统配有气体调节器和气体调节器吹扫阀组件，使用高压针阀（高达 6000 PSI）来帮助精确控制进入混合气瓶的气体流量。该系统配备的气缸为 304L 不锈钢，壁厚为 2.4mm，可加压至建议的最大压力 1800 PSI（@ 37°C）。本网站还提供带有内部 PTFE 涂层或内部电抛光表面处理的气缸。气缸最大压力额定值因温度而异。请勿对钢瓶加压超过其各自的温度限制 吹扫系统对于在钢瓶不使用时保持调节器清洁至关重要。混合的腐蚀性气体最终会腐蚀调节器的密封件，导致其随着时间的推移而失效。为了避免这种情况，吹扫装配线可以连接到惰性气体钢瓶和真空泵。建议在将混合组件与任何数量的腐蚀剂一起使用后，用惰性气体对调节器进行抽真空和吹扫几次，以大大延长调节器的使用寿命。潜在应用包括： 质谱仪 残余气体分析仪 (RGA) 测试 气相色谱仪 培养箱 气体混合物存储 半导体气体采样 激光光谱学 前体输送 大气层外样品存储 化学气体的填充气体 激光 一般气体混合和存储应用

原子层沉积 (ALD) 液体前驱体蒸气输送钢瓶系统 钢瓶容积：150cm3 钢瓶等级：DOT-3E-1800 化学气相沉积 (CVD)、金属有机过程中需要从液体前驱体控制气相蒸气的输送化学气相沉积 (MOCVD) 和原子层沉积 (ALD)。这些液体蒸汽气体输送瓶包含一个集成的起泡器，以帮助将前体蒸汽包含在缓冲气体流中。这些蒸汽输送钢瓶由耐化学腐蚀的 316 不锈钢制成，在入口和排气口处配有 1/4 转球阀。该气缸的额定承受压力高达 1800 PSI (@ 37°C)。气缸最大压力额定值随温度变化。请勿将气瓶加压超过其各自的温度限制 每个阀门上都印有流动方向，当缓冲气体以正确的方向流向沉积过程时，气瓶底部会形成气泡，气泡会通过前体液体上升。这使得缓冲气体（通常是氦气、氖气或氩气）中的稀释前体蒸气能够持续稳定地流动。这些液体前体蒸汽输送气瓶可以是加热器或冷的，以控制前体的蒸汽压力和浓度。这允许生成准确的流量浓度。入口阀和出口阀是 1/4 英寸 Swagelok® 接头球阀，不适用于自燃液体。对于高度易燃自燃液体的 ALD 应用，我们的输送缸升级为隔膜阀，以提高安全性，适用于自燃液体，例如三甲基铝 (TMA)、三乙基铝 (TEA)、二乙基锌 (DEZn) 和三甲基镓（TMGa）。 Swagelok-TM 世伟洛克公司