ExploraVAC™ MAX系列是 Ideal Vacuum 首屈一指的 TVAC 热测试室产品系列，与我们的标准ExploraVac仪器相比，它包含许多附加功能。

这是我们的高级高真空ExploraVAC MAX TVAC 热真空测试室系统，非常适合高真空工艺，并针对稳定性和易用性进行了优化。它是一个完全集成的交钥匙高真空系统，具有全封闭、照明、立方 24 英寸、焊接、6061-T6 铝制真空室和带观察口的门、双 ISO LF-200 侧端口，体积为 8.0 立方脚。该系统包括一台 Pfeiffer HiPace 300 涡轮分子高真空泵和一台 Edwards nXDS20i 干式涡旋低真空/前级泵。该室配有壁式加热器，可烘烤并自清洁室内可能积聚的任何残留物。壁式加热器可产生每分钟 2 度的最大壁加热速率，最高温度可达 140°C，精确度为 ± 1.5°C，与压板温度无关。该系统包括两个 Convectron、一个微离子和一个压电真空压力计，为用户和逻辑控制器提供反馈。可以添加内部调节的吹扫气体管线，将用户选择的高纯度氧气或无水气体引入腔室。还可以使用其他选项（请参阅下面的配置选项）。

该系统包括一个内置触摸屏显示器，配备AutoExplor ™ 软件，可以控制所有腔室功能。该系统包括我们的AutoExplor软件的未过期基本版本，由板载 Windows 计算机和触摸屏显示器运行。这款易于使用的软件可以控制和自动化所有ExploraVAC MAX功能。还包括一年期、可续订的AutoExplor高级版许可证，具有许多附加功能（见下文）。

该高级高真空ExploraVAC MAX系统可达到 1 x 10 ^-7 Torr 的极限压力，重 1083 磅，需要单相 208-240 VAC、50/60 Hz、46 安培。

ExploraVAC MAX 高级高真空系统配置：

• 全封闭 24” 焊接铝真空室
• 带大视口的铝制室门
• 快速闩锁前门关闭
• 透过视口 LED 室内照明
• 室壁加热
• 15.5” 液晶触摸屏显示器
• 普发 HiPace 300 涡轮泵
• Edwards nXDS20i 干式涡旋真空泵（极限压力 20 mTorr）
• 两个 ISO LF-200 侧端口（允许添加各种馈通）

ExploraVAC MAX系列 TVAC 热真空室工艺和测试仪器创造了精确的环境，使操作员能够完全控制内部室压力和温度。它们在构建时就考虑到了创新。它们允许在产品研发阶段在真空中进行原型设备探索，并在小批量加工中进行精确的过程控制。这些热真空测试室仪器旨在允许用户快速定制实验，以在产品受到真空和温度的极端应力因素时收集产品分析和诊断数据。 ExploraVAC MAX TVAC 热真空测试室可通过许多可用的系统选项进行完全配置。

ExploraVAC MAX 系统配置选项：

• 低真空泵（干式涡旋或干式多级罗茨，各种速度）
• 高真空涡轮分子泵（各种速度）
• 全真空压力控制
• 加热和冷却压板
• 室壁加热
• 闭环制冷或 LN ₂低温冷却系统
• 自动化软件控制
• 远程控制操作
• 吹扫端口、室架等

Explora VAC MAX系统配置有全封闭的 24 英寸立方铝制腔室和门，带有视口和腔室照明。

ExploraVAC MAX TVAC 系统柜具有方便的角度前面板，带有计算机控制的触摸屏界面，可控制所有腔室功能。 PID 控制器和仪表根据用户选择的选项安装。 PLC 管理系统功能，包括用于高效抽空循环的泵和阀门排序以及用于防止设备损坏的安全联锁。正面可操作的内置 NEMA 型外壳容纳了系统操作所需的电子设备。

两个宽敞的 LF-200 侧端口可用于用户选择或设计的附件，例如用于设备监控的电子馈通或用于冲击测试的振动垫、用于辐射加热或温差测试的红外灯阵列、紫外线灯阵列用于电离辐射测试，或电子束安装座。还可以定制系统，通过添加安装在柜外的额外真空泵来获得任何所需的上升率。

柜体背面有一个隔板馈通面板，用于室通风、泵排气和吹扫气体选项。数字馈通后面板具有多个端口，包括 DB9 连接器，用于通过我们的AutoExplor软件从运行 Microsoft Windows10 或 11 的工作站或笔记本电脑远程运行系统。

AutoExplor (P1012102) 的（未过期）基本版本允许用户在保护系统的同时手动控制设备。 AutoExplor 可以根据给定的要求正确排序泵并自动操作正确的阀门。用户可以对压力和温度设定值、升温速率、浸泡时间和排气进行编程（如果系统配备了这些硬件选项）。该软件提供实时图形数据流，以便用户可以可视化系统行为。 AutoExplor维护内部预防性维护计划，并在系统服务到期时通知用户。例如，它会通知何时需要更换涡旋泵顶部密封件以及何时需要进行传感器校准。这有助于使系统保持最佳运行性能。它还提供故障和错误消息以及设备出现故障时的具体故障排除信息，以便尽快纠正问题。

AutoExplor (P1012100) 的高级版本包括基本软件包（上述）的所有功能，并添加了自动配方控制、数据记录和日志导出功能。复杂的测试配方可以创建为分步过程，其中每个步骤都可以控制多个设备的开/关状态、设定点和斜坡率。可以使用逻辑运算符来设置每个配方步骤的一个或多个结束条件。高级版本允许用户从配方数据日志文件快速生成环境 TVAC 测试报告。可以查看日志以确保实现目标工艺参数。高级版本还包括AutoExplor IP 客户端（它使该软件能够用作可以管理多个外部网络客户端的主机）和AutoExplor API （应用程序编程接口），它允许科学家或程序员将ExploraVac仪器集成到他们现有的软件测试套件，而不使用AutoExplor 的软件界面。高级版本必须每年更新，否则将恢复为基本版本。

ExploraVAC MAX系列 TVAC 压力和温度控制测试箱是满足许多产品测试要求的完美解决方案。

示例应用程序

• 环境试验室
• 海拔试验室
• 空间模拟试验箱
• 热冲击试验箱
• 航空航天工程试验室
• 高空飞行部件测试
• 真空烘箱
• 真空冷冻干燥
• 塑料和环氧树脂固化和除气

关于高真空室用途：

高真空室用于许多科学和工业过程。许多科学仪器都是在真空下完成的，特别是在使用电子束或其他带电粒子束时。真空溅射、物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD) 等精密真空镀膜工艺用于在半导体或精密研磨光学基板上涂覆非常薄的光学或保护涂层。高真空对于精密半导体蚀刻工艺也是必要的。高真空可用于从极冷的样品中去除水或其他残留蒸汽，而不会使它们变形，例如用于成像目的的冷冻干燥生物样品。高真空对于测试太空组件或设备是必要的，以确定它们在暴露于外太空的极低压时不会释气。