描述

这是我们的高真空ExploraVAC TVAC 真空测试室系统，非常适合高真空工艺，并且针对稳定性和易用性进行了优化。这是一个完全集成的交钥匙高真空系统，具有一个大型 20 英寸立方体焊接不锈钢真空室、一个带观察口的铰链不锈钢门，体积为 4.6 立方英尺。该系统包括一台 Pfeiffer HiPace 300 涡轮分子泵、一台 Edwards nXDS20i 干式涡旋真空泵以及一个集成的微离子和 Convectron 仪表控制器，可提供粗加工和高真空室压力测量。这款高真空ExploraVAC TVAC 系统的极限压力可达 1x10 ^-7 Torr，重 862 磅，需要单相 208-240 VAC、50/60 Hz、19 安培。

高真空室用于许多科学和工业过程。许多科学仪器都是在真空下进行的，尤其是在使用电子或其他带电粒子束时。精密真空镀膜工艺，如真空溅射、物理气相沉积 (PVD) 和化学气相沉积 (CVD)，用于将非常薄的光学或保护涂层应用于半导体或精密研磨光学基板。高真空对于精密半导体蚀刻工艺也是必需的。高真空可用于去除极冷样品中的水或其他残留蒸汽而不会使其变形，例如用于冷冻干燥生物样品以进行成像。高真空对于测试太空就绪组件或设备是必需的，以确定它们在暴露于外层空间的极低压力时不会排气。请参阅下面的性能图表 PDF 下载，了解所有选项的性能数据。

ExploraVAC高真空系统配置：

20 英寸立方体焊接不锈钢腔体
带视口的不锈钢前室门
Pfeiffer HiPace 300 涡轮分子泵
Edwards nXDS20i 干式涡旋真空泵
QTY2 LF-200 侧端口（允许从腔室的任一侧添加各种馈通）

TVAC ExploraVAC系列热真空室工艺和测试仪器可创造精确的环境，使操作员能够完全控制室内压力和温度。它们以创新为理念。它们允许在产品研发阶段在真空中探索原型设备，并在小批量处理中实现精确的工艺控制。这些热真空测试室仪器旨在让用户快速定制实验，以在产品受到真空和温度的极端压力因素时收集产品分析和诊断数据。

ExploraVAC TVAC 热真空测试室完全可配置，具有许多可用的系统选项（请参阅上面的产品配置器）。

ExploraVAC系统配置选项：

低真空泵（干式涡旋泵或干式多级罗茨泵，各种速度）
高真空（各种速度）
全真空压力控制
加热和冷却压板
室壁加热
集成室内照明
闭环制冷或_LN2低温冷却系统
自动化软件控制
远程控制操作
清洗口、室搁架等

ExploraVAC提供多种真空腔体供您选择，包括内部立方体尺寸（12、16、20 或 24 英寸）的焊接不锈钢腔体或内部立方体尺寸（9、12 或 24 英寸）的 Ideal Vacuum Cube™ 模块化腔体。腔体可配置铝制或不锈钢门，带或不带视窗。

ExploraVAC TVAC 系统机柜具有方便倾斜的前面板控制表面，带有彩色 LED 按钮界面，可控制所有腔室功能。PID 控制器和仪表根据用户选择的选项进行安装。PLC 管理系统功能，包括泵和阀门排序以实现高效的抽气循环以及安全联锁以防止设备损坏。前部可访问的内置 NEMA 风格外壳容纳系统运行所需的电子设备。

LF-200 侧面端口空间宽敞，可供用户选择或设计配件，例如用于设备监控或冲击测试的电子馈通、用于辐射加热或温差测试的红外灯阵列或用于电离辐射测试的紫外线灯阵列。该系统可通过在机柜外部安装额外的真空泵来定制，以获得任何所需的上升速率。

机柜背面装有隔板馈通面板，用于腔室通风、泵排气和吹扫气体选项。数字馈通后面板有多个端口，包括一个 DB9 连接器，用于使用我们的Auto Explor ™ 软件从运行 Microsoft Windows 10 或 11 的工作站或笔记本电脑远程运行系统。

AutoExplor基本版 (P1012102) (永不过期) 允许用户在保护系统的同时手动控制设备。AutoExplor 可正确对泵进行排序，并根据给定请求自动操作正确的阀门。用户可以对压力和温度设定值、升温速率、浸泡时间和排气进行编程（如果系统配备了这些硬件选项）。该软件提供实时图形数据流，以便用户可以直观地看到系统行为。AutoExplor 维护内部预防性维护计划，并在系统需要维护时通知用户。例如，它会通知何时需要更换涡旋泵尖端密封件以及何时需要校准传感器。这有助于使系统保持最佳运行性能。如果设备发生故障，它还会提供故障和错误消息以及特定的故障排除信息，以便尽快纠正问题。

AutoExplor (P1012100) 的高级版本包含基本软件包 (上文) 的所有功能，并添加了自动配方控制、数据记录和日志导出功能。复杂的测试配方可以创建为分步过程，其中每个步骤可以控制多个设备的开/关状态、设定点和升温速率。可以使用逻辑运算符为每个配方步骤设置一个或多个结束条件。高级版本允许用户从配方数据日志文件快速生成环境 TVAC 测试报告。可以查看日志以确保实现目标过程参数。高级版本还包括AutoExplor IP Client ，使软件能够用作可以管理多个外部网络客户端的主机，以及AutoExplor API （应用程序编程接口），允许科学家或程序员将ExploraVac仪器集成到他们现有的软件测试套件中，而无需使用AutoExplor 的软件界面。高级版本必须每年续订，否则将恢复为基本版本。

ExploraVAC系列 TVAC 压力和温度控制测试室是许多产品测试要求的完美解决方案。

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