理想真空小型超级密封 Conflat 3.38 英寸 UHV 气动波纹管直通阀,通孔可旋转法兰,铜阀盖密封。这些小型理想真空超级密封气动波纹管直通阀具有 CF 3-3/8" 入口和出口,带有可旋转法兰。它们主要设计用于超高真空范围 (10 -10 Torr),泄漏率为 10 -11 Torr l/s (He),但可用于高达 60-80 psi 的正压。这些阀门由 304L 不锈钢阀体和机构、铝制执行器和铜阀盖密封件构成. Super-Seal 阀门可在高达 100°C 的温度下烘烤(仅限阀体)。这些阀门可以以任何方向安装。
这些小型超级密封阀门需要空气才能打开,并具有弹簧关闭机构。需要 60 至 80 psi 范围内的少量干燥压缩空气。由于它们会自动关闭,因此可用作安全阀,在断电或气源丢失时提供故障保护以保持腔室真空。
打开阀门的气流由单作用电动电磁阀控制。提供四种电磁阀电压选择:12 VDC、24 VDC、110 VAC 和 220 VAC。
Super-Seal 阀门可使用三种位置指示器传感器,包括机械簧片开关和两种晶体管类型(NPN 和 PNP)。每个传感器都有一个 LED,可以直观地确认阀门的状态(无论是打开还是关闭)。这些传感器还可用于开关或触发辅助设备。
Super-Seal 系列阀门包括可焊接管、KF、ISO-K 和 Conflat (CF) 法兰选项,从 3/4" 外径管 (KF-16) 到 10" 外径管 (ISO-K 250),许多产品都有直角 (90°) 和直列版本。
这些阀门具有巨大的价值并且极其可靠,使其可用于半导体制造、等离子体物理研究和核加速器等应用。它们是真空过程自动化的主要组件,平均无故障时间 (MTTF) 超过一百万个周期。
电磁阀和位置指示器传感器单独出售。
请参阅下文了解技术规格,并下载用户手册,了解有关 Ideal Vacuum Super-Seal 系列气动波纹管阀和配件的完整信息。