为 iQDP、iH 和 iL 半导体真空泵重建 Edwards im 接口模块。部件号:A528-44-463
接口模块允许您使用自己的控制设备来控制 iH、iL 或 iQ 干泵系统的运行和监控其状态。
Edwards 接口模块设计用于与 Edwards iQ、iH 和 iL 干泵系统配合使用,并允许您将泵系统连接到其他设备。例如,您的工艺工具或其他控制设备。该模块有2个接口卡,工具接口卡和辅助接口卡。这是型号 A528-44-463R。有关安装、操作和维护说明,请参阅下面可下载的 .pdf 说明手册。