Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultrahochvakuum-Halbleiter-Kryopumpe, nicht an Bord, LF ISO 250, drei 3 Phasen, überholt

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Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultrahochvakuum-Halbleiter-Kryopumpe, LF ISO 250, dreiphasig, überholt, 6500 l/s Wasser, 2200 l/s Luft, 1800 l/s Argon, überholt. Edwards CTI Brooks Teilenummer: 8116086G002. Die dreiphasige Kryopumpe Cryo-Torr OB250F von Edwards CTI-Cryogenics (jetzt Edwards) wurde speziell für die erhöhte Leistung und die engen Platzanforderungen für den Einsatz in der Halbleiterindustrie entwickelt und konstruiert. Diese Kryopumpe verfügt über einen ISO 250-Einlassflansch und einen standardmäßigen KF-25-Vorpumpenflansch. Es ist für ein Ultrahochvakuum (UHV) von 10-8 Torr geeignet und verfügt über folgende Nennpumpgeschwindigkeiten: Wasser ………. 6500 l/Sek. Luft ………..…. 2200 l/s Wasserstoff ..…. 3200 l/s Argon ………. 1800 l/s Diese Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F Dreiphasenpumpe läuft NUR mit Dreiphasenstrom. Die Stromversorgung erfolgt über einen speziellen CTI-Drehstrommotorcontroller. Die dreiphasige Kryopumpe Cryo-Torr 250F von CTI setzt keine beweglichen Teile, Betriebsflüssigkeiten oder Vorpumpen dem Vakuum aus, wodurch die Möglichkeit einer Rückströmung des Systems oder einer Prozessverunreinigung durch die Kryopumpe selbst ausgeschlossen ist.