Edwards EPX 180LE Hochvakuum-Primär-Trockenvakuumpumpe 400 VAC 3PH. 3/8 Zoll Wasseranschluss ISO 63 Einlass – Teilenummer A41943014 – ohne TIM

Die kompakte Hochvakuum-Trockenpumpe EPX180LE ohne Tool Interface Module (TIM) bietet verbesserte Leistung bei reduzierten Betriebskosten. Mithilfe eines einzigartigen, patentgeschützten Mechanismus ist der EPX180LE in der Lage, aus der Atmosphäre auf Enddrücke von weniger als 7 x 10-5 Torr zu pumpen. Das sind wirklich erstaunliche Pumpen; Die EPX-Pumpe von Edwards kann von der Atmosphäre in den Turbomolekulardruckbereich pumpen und bei allen Einlassdrücken kontinuierlich arbeiten. Basierend auf der erfolgreichen, preisgekrönten IPX-Reihe bietet der modulare EPX180 herausragende Leistung in einem Paket, das 20 % leichter und 30 % kleiner ist und 40 % weniger Strom benötigt als der IPX. Die Pumpen der EPX LE-Serie verfügen über einen End User Controller (EUC). Der End User Controller ermöglicht die lokale Steuerung für den eigenständigen Einsatz sowie die Möglichkeit, sich zur Fernsteuerung und -überwachung mit einem fabrikweiten Netzwerk zu verbinden. Das EPX-Pumpensystem arbeitet bei Drücken zwischen Atmosphären- und Endvakuum, ohne Schmier- oder Dichtungsflüssigkeit in der Pumpkammer. Dies gewährleistet ein sauberes Pumpsystem ohne Rückwanderung von Öl oder Flüssigkeit in das zu evakuierende System.

Der Stator der Pumpe und der gekapselte Motor werden durch einen integrierten Wasserkühlkreislauf gekühlt. Die EPX-Pumpe eignet sich daher für Anwendungen in Reinraumumgebungen, in denen eine Lüfterkühlung nicht akzeptabel ist. Die Kühlwasservorlauf- und -rücklaufleitungen werden über Wasseranschlüsse (vom Kunden angegeben) mit der Pumpe verbunden. Kühlwasser muss den Umgebungsbedingungen (Luftfeuchtigkeit und Temperatur) so angepasst sein, dass der Taupunkt nicht erreicht wird. Die Pumpe verfügt über einen EMV-Versorgungsfilter und einen Wechselrichterantrieb, der die Stromversorgung des Pumpenmotors bereitstellt und steuert. LEDs auf der Frontabdeckung zeigen den Status der EPX-Pumpe an. Die Motorgeschwindigkeit hängt vom Druck am Pumpeneinlass ab. Wenn die Pumpe gestartet wird, während der Einlassdruck dem atmosphärischen Druck entspricht oder diesem nahe kommt, beschleunigt der Motor auf eine Drehzahl, die durch den Strom begrenzt wird, der vom Wechselrichterantrieb geliefert werden kann. Wenn der Druck am Einlass verringert wird, erhöht sich die Motorgeschwindigkeit, bis schließlich die voreingestellte Maximalgeschwindigkeit erreicht wird. Steigt der Druck am Einlass, wird der Motor wieder langsamer.

Die Pumpen der EPX LE-Serie können manuell über das lokale Display und die Tastatur der End User Control (EUC) oder ferngesteuert über ein Pump Display Terminal (PDT) (sofern vorhanden) bedient werden; Es kann auch über das Netzwerk gesteuert und überwacht werden, das über den Netzwerkanschluss mit der EPX-Pumpe verbunden ist. Wenn die Pumpen der EPX LE-Serie über das Tool Interface Module (TIM) gesteuert werden, überwacht das EUC lediglich den Status der Pumpe. Die EPX-Pumpe ist mit Fabworks 32 kompatibel. Die EPX verfügt über vier Vibrationsisolatoren. Pumpenschutzsensoren schalten die Pumpe automatisch ab, wenn ein Fehlerzustand auftritt. Die EPX-Serie deckt ein breites Anwendungsspektrum ab, vom Wafer-Handling bis hin zu mittelschweren Prozessen. Die EPX „LE“-Serie wurde für den Einsatz in sauberen Anwendungen zum Pumpen von Inertgasgemischen entwickelt, beispielsweise in Ladeschleusen, wobei die Steuerung über die Prozesswerkzeugschnittstelle erfolgt. Laden Sie nebenbei eine Bedienungsanleitung herunter.