Diese kleinen Ideal Vacuum Super-Seal-Pneumatikbalgventile mit 90°-Winkel haben CF 1-1/3"-Einlass- und Auslassanschlüsse mit drehbaren Flanschen. Sie sind in erster Linie für den Einsatz im Ultrahochvakuumbereich (10 ^-10 Torr) konzipiert Leckraten von ^10–11 Torr l/s (He), können aber bis zu Überdrücken von 60–80 psi verwendet werden. Diese Ventile bestehen aus einem Ventilkörper und -mechanismus aus Edelstahl 304L, einem Stellantrieb aus Aluminium und verfügen über Ventildeckeldichtungen aus Kupfer . Super-Seal-Ventile sind bis zu 100 °C ausheizbar (nur Ventilkörper). Diese Ventile können in jeder Ausrichtung montiert werden.

Diese kleinen Super-Seal-Ventile benötigen zum Öffnen Luft und verfügen über einen Federschließmechanismus. Es wird trockene Druckluft mit geringem Volumen im Bereich von 60 bis 80 psi benötigt. Da sie automatisch schließen, eignen sie sich als Sicherheitsventile und bieten Ausfallschutz, um das Kammervakuum bei Strom- oder Luftausfall aufrechtzuerhalten.

Der Luftstrom zum Öffnen des Ventils wird durch ein einfachwirkendes, elektrisch betriebenes Magnetventil gesteuert. Es stehen vier Magnetspannungen zur Auswahl: 12 VDC, 24 VDC, 110 VAC und 220 VAC.

Für Super-Seal-Ventile stehen drei Positionsanzeigesensoren zur Verfügung, darunter ein mechanischer Reed-Schalter und zwei Transistortypen (NPN und PNP). Jeder Sensor verfügt über eine LED, die den Zustand des Ventils visuell bestätigt (ob es offen oder geschlossen ist). Mit diesen Sensoren können auch Zusatzgeräte geschaltet oder angesteuert werden.

Die Super-Seal-Ventilfamilie umfasst Optionen für schweißbare Rohre, KF-, ISO-K- und Conflat-Flansche (CF), von Rohren mit 3/4 Zoll Außendurchmesser (KF-16) bis zu Rohren mit 10 Zoll Außendurchmesser (ISO-K 250). und viele sind in rechtwinkliger (90°) und Inline-Version erhältlich.

Diese Ventile bieten ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis und sind äußerst zuverlässig, was sie für Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, die Plasmaphysikforschung und Kernbeschleuniger nützlich macht. Sie sind ein Hauptbestandteil der Vakuumprozessautomatisierung und haben eine mittlere Ausfallrate (MTTF) von mehr als einer Million Zyklen.

Magnetventile und Positionsanzeigesensoren sind separat erhältlich.

Nachfolgend finden Sie die technischen Spezifikationen. Laden Sie das Benutzerhandbuch herunter, um vollständige Informationen über die pneumatischen Balgventile und das Zubehör der Ideal Vacuum Super-Seal-Familie zu erhalten.