Ideale Vakuumwürfel-Sichtfensterplattenbaugruppe für 9x9 Vakuumkammer 3/8" Quarzglas

Diese Ideal Vacuum Cube 9x9-Zoll-Vakuumkammer-Sichtfensterplatte aus Quarzglas ist so konzipiert, dass sie zu unseren 9x9x9 modularen Cube-Kammern passt.

Die Quarzglasfenster-Sichtplattenanordnung wird häufig für Experimente ausgewählt, bei denen eine verbesserte optische Klarheit und eine erweiterte Wellenlängendurchlässigkeit über den sichtbaren Bereich hinaus erforderlich sind und bei denen die Kosten eine Rolle spielen.

Unsere Quarzglasfenster werden aus natürlichem Quarz höchster Qualität hergestellt, was zu höchster Reinheit und geringsten Einschlüssen und Blasen führt. Vergleichbar mit Heraeus TSC-3 verfügen diese Fenster über eine verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Merkmalen gehören geringe Schwankungen des Brechungsindex und ein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für Halbleiteranwendungen wie Plasmaätz- und Abscheidungssysteme verwendet und empfohlen, wenn ein niedriger Alkali- und Aluminiumgehalt erforderlich ist. Es wird häufig für transmissive Optiken im sichtbaren und nahen bis mittleren Infrarotbereich verwendet, wo eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas hat Absorptionsbanden im Bereich von 2600 bis 2900 nm, ähnlich wie Quarzglas, aber nicht so stark. Aufgrund der Absorption im 270-nm-Bereich ist es für UV-Arbeiten ungeeignet.

Beachten Sie, dass der Bestand an Quarzglas begrenzt ist, da Ideal Vacuum sein Premium-Fensterangebot auf Quarzglas umstellt. Beachten Sie auch, dass Quarzglasfenster möglicherweise fälschlicherweise mit Quarzglas-Teilenummern gekennzeichnet sind. Sie können Ihr Fenstermaterial überprüfen, indem Sie Ihre Verkaufsrechnung überprüfen.

Wir bieten auch Cube-Fensterplattenbaugruppen und Ersatzfensterscheiben aus gehärtetem Standardglas mit niedrigem Eisengehalt oder Quarzglas an. Gehärtetes Glas wird üblicherweise für die allgemeine, direkte Beobachtung von Schrupp- oder Hochvakuumkammerprozessen verwendet und kann zur Erleichterung der optischen Ausrichtung von Kammerkomponenten, zur Beobachtung der Entgasung von Flüssigkeiten oder zur Vermittlung von In-Vakuum-Prozessen durch direkte Beobachtung verwendet werden. Das Glasmaterial ist eisenarmes Standard-Floatglas. Die Oberflächenqualität und Ebenheit entspricht Q4 gemäß ASTM 1036-06 und 1048-04. Der geringe Eisengehalt des Glases führt zu einer leichten bläulichen Tönung. Dieses kostengünstige Glas ist für Laserexperimente unterhalb des sichtbaren oder nahen Infrarot (NIR)-Wellenlängenbereichs ungeeignet.

Unsere Ersatzfenster aus hochreinem Quarzglas werden auf beiden Seiten auf optische Qualität geschliffen und poliert, mit einer Gesamtdickenschwankung (TTV) von <10 µm, einer Oberflächenbeschaffenheit von S/D 40/20 und einer Oberflächenrauheit von Ra < 1 nm. Diese Fenster haben eine deutlich verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Merkmalen gehören außergewöhnlich geringe Brechungsindexschwankungen, niedrige Doppelbrechungswerte und ein extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für transmissive Optiken verwendet, bei denen eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas wird für Optiken verwendet, die im tiefen UV-, sichtbaren und nahen Infrarot-Wellenlängenbereich arbeiten.


Unsere Cube-Sichtfenster verfügen über ein innovatives Design ohne Metall-Glas-Kontakt, das die 3/8 Zoll dicke Fensterscheibe auf einer Aluminium-Montageplatte hält. Dieses gepolsterte Fenstermontagesystem gewährleistet die Sicherheit des Bedieners und ist selbst bei hohen Vakuumdrücken weniger anfällig für Leckagen als andere Sichtfensterkonfigurationen. Ideal Vacuum Cube-Fenster werden komplett montiert geliefert und verwenden Viton-O-Ringe und Teflon-Abstandshalter. Ausheiztemperaturen bis 150 °C sind zulässig.

Die Sichtfensterplattenbaugruppe ist mit anderen Cube-Platten austauschbar und kann jederzeit zu einem Ideal Vacuum Cube-System hinzugefügt werden. Das Sichtfenster kann als feste Seite oder als Tür (mit unserem optionalen Scharniermontage- und Hardware-Kit, P106868 ) an der Cube-Kammer implementiert werden.

Die Sichtfensterplattenbaugruppe ist, wie alle unsere anderen Cube-Platten, mit unserer patentierten Taper-Seal-Technologie ausgestattet, die abgeschrägte Dichtungsmerkmale umfasst, um Schäden an den Vakuumdichtungsflächen zu verhindern. Alle Ideal Vacuum Cube-Platten werden aus einem einzigen Block leichter 6061-T6-Aluminiumlegierung CNC-gefräst.

Vor dem Versand wird jede Sichtfensterplattenbaugruppe visuell auf Mängel im Fenstermedium überprüft, auf Heliumlecks getestet, gereinigt und versiegelt, um sicherzustellen, dass sie ordnungsgemäß und sicher funktioniert und bei Lieferung sofort für den Einbau bereit ist.

HINWEIS: Alle Sichtfenster oder Sichtfenster sind von Natur aus zerbrechlich, sollten vorsichtig gehandhabt und vor der Verwendung stets überprüft werden. Die Sichtfenster von Ideal Vacuum sind NUR für VAKUUM konzipiert und ausgelegt und können anfällig für Thermoschocks sein, wenn sie schnellen Temperaturänderungen (>10 °C/min) ausgesetzt werden. Wenn Sie einen Laserstrahl durch das Fenster richten, stellen Sie sicher, dass die Wellenlänge des Lasers angemessen durch das Material des Fensters übertragen werden kann. Bitte laden Sie alle Sicherheitshinweise im IVP Cube-Sichtfenster-Montagehandbuch herunter und lesen Sie es durch.

Einführung in den idealen Vakuumwürfel

Unser Ideal Vacuum Cube ist ein modulares Hochvakuumkammersystem, das entwickelt wurde, um Kreativität und Designflexibilität beim Bau von Vakuumkammersystemen zu ermöglichen. Würfel können in verschiedenen Formen und Konfigurationen gestapelt werden, wobei austauschbare Platten eine Vielzahl von Funktionen für Anschlüsse, Fenster und Durchführungen bieten. Die Platten verfügen über 1/4-Zoll-20-Montagegewinde auf einem standardmäßigen 1-Zoll-Optikmuster für den einfachen Anschluss von Scharnieren, Pfosten, Halterungen, Linsen, Polarisatoren und anderem Zubehör.

Haltbarkeit und Vielseitigkeit

Die großen Innenabmessungen und das offene Design der Ideal Vacuum Cubes machen sie perfekt für viele Vakuumkammeranwendungen und Experimente. Vakuumwürfel bestehen aus einer leichten 6061-T6-Aluminiumlegierung, sodass sie problemlos im Labor transportiert und auf optischen Tischen montiert werden können (im Gegensatz zu schweren Vakuumkammern aus Edelstahl). Ein zum Patent angemeldetes Dichtungsschutzdesign, Gewindeeinsätze aus Edelstahl und eine pulverbeschichtete Außenplattenoberfläche machen den Vacuum Cube zu einem langlebigen Werkzeug selbst für den anspruchsvollsten Einsatz.

Technische Details

Patentiertes Kammersystem

Unsere idealen Vakuumwürfel verfügen über ein patentiertes Design mit unserer Taper-Seal-Technologie. Im Gegensatz zu anderen Vakuumflanschdesigns wie Conflat CF, KF/NW oder ISO-LF (großer Flansch), die beim Aufsetzen auf Arbeitsflächen leicht beschädigt werden können, schützt unser Taper-Seal-Design kritische Dichtungskanten und O-Ringe Kontakt, der zu Schäden oder Verunreinigungen führen kann.

Innovative Kammerbausteine

Ideal Vacuum Cubes können problemlos zu einem komplexen und dennoch leichten Vakuumsystem gestapelt werden (siehe Grafik unten). Die Außenkanten jedes Vakuumwürfels verfügen über Hardware-Montagebuchsen für einfache Würfel-zu-Würfel-Verbindungen. Ein Cube-Kupplungssatz enthält die benötigte Hardware, um zwei Cubes miteinander zu verbinden. Dies ermöglicht es Wissenschaftlern, in einem Labor auf kreative Weise lange oder ungewöhnlich geformte Vakuumsysteme zu konstruieren.

Konfigurierbare Platten und Zubehör

Der Vakuumwürfel kann mit einer Vielzahl von Platten und Fenstern mit vielen Optionen konfiguriert werden. Ein Vakuumwürfel kann mit Durchführungen für Strom, Thermoelement-Temperaturmessungen, optischen Laserlicht- oder Bilddetektoren, Gasversorgung oder Flüssigkeitsfluss für Wärme-/Kühl-Rezirkulationsleitungen ausgestattet werden. Zu den kompatiblen Standardflanschtypen gehören KF-16, KF-25, KF-40, KF-50, ISO-63 sowie die Flanschanschlüsse conlfat CF 2,75, CF 3,375 und CF 4,5 Zoll. Sichtfenster sind ebenfalls erhältlich und auf Anfrage können kundenspezifische Platten hergestellt werden. Ein optionaler Scharniersatz kann bestellt werden, um jede Platte in eine bedienbare Tür umzuwandeln.

Anwendungen für ideale Vakuumwürfel

Unsere idealen Vakuumwürfel sind so konzipiert, dass sie sich gut in Optiklabors integrieren lassen und schnell in Laserforschungsanwendungen installiert werden können. Die folgende Grafik zeigt einen beispielhaften Aufbau eines Laserspektroskopie-Labors mit einem CRDS-Vakuumkammersystem (Cavity Ring Down Spectroscopy) unter Verwendung einer 6 x 6 x 18 Zoll großen Ideal Vacuum Cube-Kammer. Durch den modularen Aufbau unserer Ideal Vacuum Cubes eignen sie sich für viele Vakuumkammeranwendungen:

• Geräte und Experimente im Vakuum-Ultraviolett (VUV).
• Thermische Vakuumprüfung
• Höhentest
• Vakuum-Entgasungskammer
• Forschung und Entwicklung von Hochleistungs- und Ultrakurzpulslasern
• Ionenbeschleunigung
• RGA (Restgasanalysatoren)
• Helium-Dichtheitsprüfung von hermetisch abgedichteten Geräten mit eingeschweißter Heliumatmosphäre
• Leckerkennung von Pharmaverpackungen
• Spektroskopie
• Molekulare Ionenfalle
• Kryostat-Vakuumkammer
• Strahllinien

Pumpleistung des Vakuumwürfels

Die Abpumpkurven für mehrere Ideal Vacuum Cube-Konfigurationen sind in den folgenden Grafiken dargestellt. Ein einzelner 6x6x6 Zoll großer Würfel kann in 2,5 Minuten aus der Atmosphäre auf 1x10 ^-5 Torr und in etwa 15 Minuten auf unter 1x10 ^-6 Torr gepumpt werden. ( Kurvengrafik 1 anzeigen )
Dies wurde mit einer Turbomolekularpumpe mit 68 Litern/Sekunde erreicht, die von einer trockenen Scroll-Vakuumpumpe mit 110 Litern/Minute (3,3 cfm) unterstützt wurde.

Wir haben auch grobe Abpumpkurven für die beliebten Trockenscrollpumpen Agilent Varian IDP-3 und SH-110 bereitgestellt. Der 6x6x6 Cube erreicht einen Basisdruck von 300 mTorr für den IDP-3 (2,1 cfm) in weniger als 1 Minute Pumpzeit und 50 mTorr für den Agilent Varian SH-110 (3,3 cfm) in etwa 2 Minuten. ( Kurvengrafik 2 anzeigen )

Auf besonderen Wunsch können wir vollständig eloxierte Platten anbieten, um die Absorption von Streulicht in der Laserforschung und bei optischen Anwendungen zu unterstützen. Eloxierte Komponenten pumpen nicht so schnell ab wie blanke Aluminiummetalloberflächen. ( Kurvengrafik 3 anzeigen ) Ein einzelner 6x6x6 mit eloxierten Platten erforderte 1 Stunde Pumpen, um 1x10 ^-5 Torr zu erreichen.