MKS Granville Phillips 355 Micro-Ion ATM Modularer Vakuum-Druckwandler, Digitalanzeige, DeviceNet, Yttrium-beschichtetes Iridiumfilament, 2,75 CF

Das MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM-Modul kombiniert die bewährte Micro-Ion-Ionisationsmesstechnologie mit einem Miniatur-Conductron-Wärmeverlustsensor, um eine genaue, kontinuierliche Druckmessung vom Hochvakuum bis zur Atmosphäre zu ermöglichen. Mithilfe seiner Membransensoren ist dieses Produkt in der Lage, einen genauen Absolutdruck bis zur Atmosphäre sowie eine präzise Anzeige des Differenzdrucks der Vakuumkammer gegenüber der Umgebung zu liefern. Das einzigartige Sensordesign eliminiert thermische Effekte, die die Leistung des Wärmeverlustsensors bei höheren Drücken beeinflussen können. Dieses kleine Modul vereint alle vier Sensoren und Steuerelektronik in einem kompakten modularen Design, wodurch die Anzahl der in einer Kammer erforderlichen Messgeräte reduziert und der benötigte Platz minimiert wird. Die Druckmessung über den gesamten Bereich erfolgt als Ausgangssignal über die digitale DeviceNet-Schnittstelle. Hierbei handelt es sich um eine DeviceNet-Version mit konfigurierbaren Sollwerten für die Prozesssteuerung und der Möglichkeit, die Relais jedem Druck im gesamten Vakuumdruckbereich oder einem bestimmten Differenzdruckwert zuzuweisen.

Zu den Vorteilen gehören:
•Kontinuierliche Druckmessung von 1 x 10-9 Hochvakuum bis Atmosphäre.
• Präzise Differenzdruckmessung bei Atmosphäre.
• Macht diskrete atmosphärische Schalter überflüssig.
• Macht drei separate Sensoren überflüssig.
• Ionisationsmesser mit Yttriumoxid-beschichtetem Iridium und Filamenten erhöhen die Betriebszeit der Ausrüstung.
• Automatisierung der Aktivierung und Deaktivierung des Ionisationsmessgeräts.
• Sollwertrelais zur Prozesssteuerung.
• Vor Ort austauschbare Messgerätebaugruppe.
• DeviceNet-Ausgang.


Modulare Vakuummessgeräte sind eine ideale Lösung für Anwendungen, die keine Anzeigen und Bedienelemente auf der Vorderseite erfordern. Bei diesen kompakten, praktischen, zuverlässigen und kostensparenden Modulen ist die Steuerelektronik direkt am Messgerät montiert. Das Ganzmetallgehäuse bietet ein robustes Gehäuse und ein hohes Maß an Immunität gegen elektrische Störungen. Mini-Convectron-Module nutzen die neueste Elektroniktechnologie zum Betrieb des Granville-Phillips®Convectron®Gauge. Das Konvektron-Messgerät ist zu einem Industriestandard geworden. Es handelt sich um eine einzigartige Variante von Wärmeleitfähigkeitsmessgeräten, bei denen die Druckmessung auf der Wärmeverlustrate eines Sensordrahts basiert. Im Gegensatz zu herkömmlichen Thermoelement- und Pirani-Messgeräten, die nur den Wärmeverlust durch Leitung nutzen, nutzen Konvektron-Messgeräte den Wärmeverlust aufgrund der Konvektion bei höheren Drücken. Dies erweitert den Bereich genauer, wiederholbarer Messungen auf die Atmosphäre.