NEUES Edwards-Auslassrückschlagventil für IH-, QDP- und IQDP-Trockenpumpen, KF 40-Anschlussflansche
Diese Abluft-Rückschlagventile von Edwards-Vakuumpumpen werden typischerweise verwendet, um zu verhindern, dass beim Herunterfahren Luft durch die Pumpe zurückströmt. Es handelt sich lediglich um ein Einwegventil, das den Luftstrom nach hinten verhindert. Selbst wenn eines dieser Rückschlagventile installiert ist, steigt die Pumpe irgendwann auf Atmosphärendruck an. Diese Rückschlagventile sind hilfreich, um zu verhindern, dass Prozesspulver mit einem großen Luftstrom nach hinten gespült wird. Sie werden typischerweise bei trockenen Halbleiterpumpen, iH-, QDP- und iQDP-Trockenpumpen von Edwards verwendet.