Edwards APG200-XM Aktives Pirani-Vakuummessgerät, kein Sollwert, NW16, KF16-Flansch, Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr, Analogausgang 0–10 V. Edwards Teilenummer D1G1011100, (ersetzt APG100-XM Teilenummer: D02601000). Das aktive lineare Pirani-Vakuummessgerät APG200-XM von Edwards enthält einen NW16- und KF16-Vakuumflansch, ist kompakt für eine einfache Installation, verfügt über einen linearen Ausgang und einen vom Benutzer austauschbaren Rohrsensor. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen den Druck von der Atmosphäre bis hinunter zu 3,75 x 10-4 Torr. Die Signalkabel und TIC-Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte APG200-XM von Edwards mit Standard-Wolfram/Rhenium-Filamenten und NW16-Vakuumflansch mit der Edwards-Teilenummer D1G1011100. Der APG200 ist in drei Versionen erhältlich: M-, LC- und MP-Serie. Die M-Serie enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die LC-Version enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Die MP-Serie enthält Platin/Rhodium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG200 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Der APG200 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG200 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Druckbereich 10–4 Torr Hintergrund bei Pirani und Konvektion Verbesserte Pirani-MessgerätePirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies stellt einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht dar. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt handelt es sich bei dem konvektionsverstärkten Pirani um ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards APG200-XM Aktives Pirani-Vakuummessgerät NW25, KF25 Flansch. 10-3 Torr. Edwards Teilenummer D1G1021100. (APG200-XM PN: D1G1021100 ersetzt APG100-XM PN: D02602000). Das Edwards APG200-XM Aktive Pirani-Vakuummessgerät enthält einen NW25, KF25 Vakuumflansch, ist kompakt für einfache Installation, hat einen linearen Ausgang und einen vom Benutzer austauschbaren Rohrsensor. Die neuen Edwards-Messgeräte sind mit allen Edwards TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen Druck von 1000 bis 10-3 Torr. Die Signalkabel und TIC-Vakuummessgerätesteuerungen sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Edwards APG200-Serie ist unten im PDF-Format verfügbar. Das APG200 ist in zwei Versionen erhältlich: Die Version „M“ (enthält standardmäßige Wolfram-/Rheniumfilamente) kann Drücke bis zu 10-3 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet; die Version „LC“ (enthält korrosionsbeständige Platin-/Iridiumfilamente) kann Drücke bis zu 10-4 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte Edwards APG200-XM mit standardmäßigen Wolfram-/Rheniumfilamenten und NW16-Vakuumflansch. Das APG200 kann in jeder beliebigen Ausrichtung montiert werden, die Messrohre werden jedoch einzeln im Werk in Stickstoff kalibriert, während sie vertikal sind. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgeräteausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt, das Messrohr vertikal zu montieren, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG200 ist für die Verwendung mit Stickstoff kalibriert und zeigt korrekte Werte bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid an. Für alle anderen Gasarten ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Gängige Gase: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Funktionen: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Sensor bis 150 °C (300 °F) backbar und vom Benutzer austauschbar. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Druckbereich 10-3 Torr. Hintergrundinformationen zu Pirani- und konvektionsoptimierten Pirani-Messgeräten. Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät ist dafür ausgelegt, das Widerstandsungleichgewicht zu messen, bei dem der erhitzte Glühfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Glühfaden weg, und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht im Wheatstone-Brückenkreis berechnet. Genau wie bei den Thermoelementmessgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr an. Die Wärmeabfuhr wird jedoch nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, in dem Gas-Gas-Kollisionen die Moleküle zurück zum erhitzten Draht umorientieren können. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen den Konvektionsstrom im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis zum atmosphärischen Druck auszudehnen. Das Pirani-Messgerät ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die Messwerte vom Gastyp abhängen. Es ist Vorsicht geboten, da schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte auf N2 kalibriert sind (im Grunde dieselbe Kalibrierung wie Luft). Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon nachgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems die Anzeige des Messgeräts nicht auf den richtigen Gastyp korrigiert. Beispielsweise zeigt ein auf N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn in der Kammer 760 Torr Argon herrschen. Der Bediener würde dann denken, dass in der Kammer noch Vakuum herrscht, und das System weiter in einen kritischen Überdruckzustand bringen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht richtig montiert ist. Die meisten handelsüblichen Sensoren müssen parallel zum Boden montiert werden. Dadurch fließt der Konvektionsstrom im Sensor in die vorgesehene Richtung (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konvektionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert ist). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, ist die Wärmeabfuhr vom Glühfaden des Drucksensors kein normaler Konvektionsstrom, sondern wird durch erzwungene Konvektion angetrieben. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen zweiten Weg, um Wärme vom heißen Sensordraht abzuleiten. Das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät kann während der Systemevakuumierung fälschlicherweise hohe Drücke von bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich die Druckanzeige wieder auf einen realistischen Messwert. Aus diesen Gründen sind konvektionsverstärkte Pirani-Messgeräte nicht gut geeignet, um Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen zu messen. Insgesamt ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr messen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards APG200-MP Aktives Pirani-Vakuummessgerät, korrosionsbeständig, kein Sollwert, NW16, KF16, RJ45, Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr, Analogausgang 0–10 V. Edwards-Teilenummer: D1G3011150 (ersetzt APG-MP, PN: D02185000). Das aktive Pirani-Vakuummessgerät APG200-MP von Edwards mit einem NW16- und KF16-Vakuumflansch ist kompakt für eine einfache Installation und verfügt über einen linearen Ausgang. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen den Druck von der Atmosphäre bis hinunter zu 3,75 x 10-4 Torr. Die Signalkabel und TIC-Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG200-MP von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Diese Messgeräte enthalten ein Filament aus Platin/Rhodium (90/10), Edelstahl 316L und 304L, Glas, Ni und NiFe. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte APG200-MP von Edwards verfügen über einen KF16- und NW16-Vakuumflansch und sind neu mit der Edwards-Teilenummer D1G3011150. Der APG200 ist in drei Versionen erhältlich: M-, LC- und MP-Serie. Die M-Serie enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die LC-Version enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Die MP-Serie enthält Platin/Rhodium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG200 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Der APG200 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG200 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und ineinandergreifende Sollwerte. Fernkalibrierung möglich. Druckbereich 10–4 Torr. Hintergrund zu Pirani- und Konvektions-verstärkten Pirani-Messgeräten. Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden Sehr ähnlich dem Thermoelement-Messgerät, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiter auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies stellt einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht dar. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt handelt es sich bei dem konvektionsverstärkten Pirani um ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von der Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards aktives Pirani-Vakuummessgerät APG200-MP-NW25 Edelstahl, KF25, Flansch. 10-3 Torr. Edwards APG200-MP Teilenummer D1G3021150, (ersetzt APG100-MP Teilenummer D02182000). Edwards aktives Pirani-Vakuummessgerät APG-MP aktives Pirani-Vakuummessgerät enthält einen NW25, KF25 Vakuumflansch, ist kompakt für einfache Installation, hat einen linearen Ausgang. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen Edwards TIC, ADC, TAG Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen Drücke von 1000 bis 10-3 Torr. Die Signalkabel und TIC-Vakuummessgerätesteuerungen sind separat erhältlich. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Edwards APG200-MP-Serie ist unten im PDF-Format verfügbar. Dieses Messgerät enthält einen Platin-/Rhodium-Filament (90/10), kann Drücke bis zu 10-3 Torr messen und ist aus Edelstahl. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte Edwards APG200-MP haben einen KF25 NW25-Vakuumflansch und sind neu mit der Edwards-Teilenummer D1G3021150. Wenn Sie das APG an einen AGC-Controller oder ein AGD-Display von Edwards angeschlossen haben, verwenden Sie das Verfahren zur Sollwertanpassung, das in der mit dem Gerät mitgelieferten Bedienungsanleitung beschrieben ist. Wenn Sie das APG an Ihre eigene Steuerausrüstung angeschlossen haben, verwenden Sie das Verfahren auf Seite 22 des unten stehenden PDF-Handbuchs. Das APG200-MP kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Messrohre werden jedoch einzeln im Werk vertikal in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgeräteausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt, das Messrohr vertikal zu montieren, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Das APG200 MP ist für die Verwendung in Stickstoff kalibriert und zeigt korrekte Werte bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid an. Für alle anderen Gasarten ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Gängige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Funktionen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und verriegelnde Sollwerte Fernkalibrierung möglich Druckbereich 10-3 Torr Hintergrund zu Pirani- und konvektionsoptimierten Pirani-MessgerätenPirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgerät klassifiziert werden, das dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich ist, bei dem der Widerstand des beheizten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät ist dafür ausgelegt, das Widerstandsungleichgewicht zu messen, bei dem der beheizte Glühfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Glühfaden weg, und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was die Schaltung aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem durch den Druck induzierten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei Thermoelementmessgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Die Wärmeabfuhr wird jedoch nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, in dem Gas-Gas-Kollisionen die Moleküle zurück zum erhitzten Draht umorientieren können. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen den Konvektionsstrom im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis zum atmosphärischen Druck auszudehnen. Das Pirani-Messgerät ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die Messwerte vom Gastyp abhängen. Es ist Vorsicht geboten, da schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte auf N2 kalibriert sind (im Grunde dieselbe Kalibrierung wie bei Luft). Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon nachgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems die Anzeige des Messgeräts nicht auf den richtigen Gastyp korrigiert. Beispielsweise zeigt ein auf N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn in der Kammer 760 Torr Argon herrschen. Der Bediener würde dann denken, dass in der Kammer noch Vakuum herrscht, und das System weiter in einen kritischen Überdruckzustand bringen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht richtig montiert ist. Die meisten handelsüblichen Sensoren müssen parallel zum Boden montiert werden. Dadurch fließt der Konvektionsstrom im Sensor in die vorgesehene Richtung (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konvektionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert ist). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, ist die Wärmeabfuhr vom Glühfaden des Drucksensors kein normaler Konvektionsstrom, sondern wird durch erzwungene Konvektion angetrieben. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen zweiten Weg, um Wärme vom heißen Sensordraht abzuleiten. Das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät kann während der Systemevakuumierung fälschlicherweise hohe Drücke von bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich die Druckanzeige wieder auf einen realistischen Messwert. Aus diesen Gründen sind konvektionsverstärkte Pirani-Messgeräte nicht gut geeignet, um Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen zu messen. Insgesamt ist das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr messen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards APG200-XLC Aktives Pirani-Vakuummessgerät, korrosionsbeständig, kein Sollwert, NW16, KF16-Flansch, Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr, Analogausgang 0–10 V. Edwards Teilenummer D1G2011100, (ersetzt APG100-XLC D02603000). Das aktive Pirani-Vakuummessgerät APG200-XLC von Edwards (korrosionsbeständiges Platin/Iridium-Filament) enthält einen NW16-KF16-Flansch, ist kompakt für eine einfache Installation, verfügt über einen linearen Ausgang und ein vom Benutzer austauschbares Sensorrohr. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen den Druck von der Atmosphäre bis hinunter zu 7,5 x 10-5 Torr. Signalkabel und Controller nicht im Lieferumfang enthalten. Das Signalkabel und der Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte APG200-XLC von Edwards mit korrosionsbeständigem Platin/Iridium-Filament und NW16-Vakuumflansch sind neu und haben die Edwards-Teilenummer D1G2011100. Der APG200 ist in drei Versionen erhältlich: M-, LC- und MP-Serie. Die M-Serie enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die LC-Version enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Die MP-Serie enthält Platin/Rhodium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG200 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Der APG200 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG200 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Korrosionsbeständig. Druckbereich 10–5 Torr. Hintergrund auf Pirani und Konvektionsverstärkte Pirani-MessgerätePirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiterhin auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards APG 200-XLC Aktives Pirani-Vakuummessgerät NW25, KF25-Flansch, kein Sollwert, korrosionsbeständig, Atmosphäre bis 7,5 x 10-5 Torr, Analogausgang 0–10 V. Edwards Teilenummer D1G2021100, (ersetzt APG100-XLC Teilenummer D02604000). Das aktive Pirani-Vakuummessgerät APG 200-XLC von Edwards (korrosionsbeständiges Platin/Iridium-Filament) enthält einen NW25- und KF25-Vakuumflansch, ist kompakt für eine einfache Installation, verfügt über einen linearen Ausgang und einen vom Benutzer austauschbaren Rohrsensor. Die Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen von der Atmosphäre bis hinunter zu 7,5 x 10-5. Die Signalkabel und TIC-Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte APG200-XLC von Edwards mit korrosionsbeständigem Platin/Iridium-Filament und NW25-Vakuumflansch sind neu und haben die Edwards-Teilenummer D1G2021100. Der APG200 ist in drei Versionen erhältlich: M-, LC- und MP-Serie. Die M-Serie enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die LC-Version enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Die MP-Serie enthält Platin/Rhodium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG200 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Der APG200 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG200 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Korrosionsbeständig. Druckbereich 10–5 Torr. Hintergrund auf Pirani und Konvektionsverstärkte Pirani-MessgerätePirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden, die dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich sind, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiterhin auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.

Edwards APG200-M Aktives Pirani-Vakuummessgerät NW25, KF25, S-abgestimmt, nichtlinearer Ausgang, Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4. Edwards Teilenummer D1G1021150, (ersetzt APG100-M PN: D02606000). Das aktive Pirani-Vakuummessgerät APG200-M von Edwards enthält einen NW25- und KF25-Vakuumflansch, ist kompakt für eine einfache Installation, verfügt über einen NICHTLINEAREN AUSGANG und einen vom Benutzer austauschbaren Rohrsensor. Die neuen Messgeräte von Edwards sind mit allen TIC-, ADC-, TAG-Instrumentensteuerungen und anderen aktiven Messgerätesteuerungen und -anzeigen von Edwards kompatibel. Sie sind außerdem CSA-, C/US-zugelassen und aufgrund ihrer bleifreien Konstruktion vollständig RoHS-konform. Sie messen den Druck von der Atmosphäre bis hinunter zu 3,75 x 10-4. Die Signalkabel und TIC-Vakuummeter-Controller sind separat erhältlich. Diese aktiven Pirani-Vakuummessgeräte APG200-M von Edwards mit Standard-Wolfram-/Rhenium-Filamenten und NW25-Vakuumflansch mit der Edwards-Teilenummer D1G1021150. Der APG200 ist in drei Versionen erhältlich: M-, LC- und MP-Serie. Die M-Serie enthält Standard-Wolfram/Rhenium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die LC-Version enthält korrosionsbeständige Platin/Iridium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 7,5 x 10-5 Torr messen und ist auch für den Einsatz in korrosiven Anwendungen geeignet. Die MP-Serie enthält Platin/Rhodium-Filamente, kann Druck von der Atmosphäre bis zu 3,75 x 10-4 Torr messen und ist für allgemeine Anwendungen geeignet. Die Bedienungsanleitung für diese Messgeräte der Serie APG200 von Edwards ist unten im PDF-Format verfügbar. Der APG200 kann in jeder Ausrichtung montiert werden, die Manometerrohre sind jedoch im vertikalen Zustand einzeln werkseitig in Stickstoff kalibriert. Für eine korrekte Druckanzeige in der von Ihnen gewählten Messgerätausrichtung sollte das Messgerät bei atmosphärischem Druck neu kalibriert werden. Edwards empfiehlt die vertikale Montage des Messrohrs, um die Ansammlung von Prozesspartikeln und kondensierbaren Dämpfen im Messgerät zu minimieren. Der APG200 ist für den Einsatz in Stickstoff kalibriert und zeigt bei trockener Luft, Sauerstoff und Kohlenmonoxid korrekte Werte an. Für jede andere Gasart ist eine Umrechnung erforderlich, um den korrekten Druckwert zu erhalten. Häufige Gase sind: Stickstoff, Argon, Kohlendioxid, Helium, Krypton und Neon. Zu den Merkmalen gehören: Einfacher Zugang zum Signalkabel mit kompaktem Gehäuse. Der Sensor kann auf 150 °C (300 °F) erhitzt werden und der Sensor kann vom Benutzer ausgetauscht werden. Einstellbarer Sollwert für einfache Prozesssteuerung und Verriegelung. Fernkalibrierung möglich. Druckbereich 10–4 Torr. Hintergrund auf Pirani und Konvektion verbessert Pirani-Vakuummessgeräte können als Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte klassifiziert werden und sind dem Thermoelementmessgerät sehr ähnlich, bei dem der Widerstand des erhitzten Drahtes gemessen wird, um den Vakuumdruck zu bestimmen. Ein Pirani-Messgerät dient zur Messung des Widerstandsungleichgewichts dort, wo der erhitzte Heizfaden einen der Arme einer Wheatstone-Brückenschaltung bildet. Wenn der Vakuumdruck steigt, transportieren Gasmoleküle Wärme vom Filament weg und der Widerstand des Drucksensors sinkt auf einen niedrigeren Wert, was den Schaltkreis aus dem Gleichgewicht bringt. Der Vakuumdruck wird daher aus dem druckbedingten Ungleichgewicht in der Wheatstone-Brückenschaltung berechnet. Genau wie bei den Thermoelement-Messgeräten steigt die Wärmeleitfähigkeit durch molekulare Kollisionen linear mit dem Druck im Druckbereich von 0,001 bis 1 Torr. Allerdings wird die Wärmeabfuhr nichtlinear, wenn der Druck weiter in den viskosen Strömungsbereich erhöht wird, wo die Gas-Gas-Kollision die Moleküle wieder zurück in Richtung des erhitzten Drahtes ausrichten kann. Moleküle müssen viele Male kollidieren, bevor sie den äußeren Körper des Sensors (die Wärmesenke) erreichen. Die konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte nutzen die Konventionsströmung im Inneren des Sensors, um seinen Druckmessbereich bis hin zum Atmosphärendruck zu erweitern. Das Pirani-Manometer ist ein indirekter Druckmesssensor, bei dem die gemessenen Messwerte vom Gastyp abhängig sind. Aufgrund der Tatsache, dass schwerere Gase schlechte Wärmeübertragungsraten aufweisen und die standardmäßigen, durch die Konvention erweiterten Pirani-Messgeräte für N2 kalibriert sind (im Grunde die gleiche Kalibrierung wie Luft), ist Vorsicht geboten. Dies könnte zu gefährlichen Überdruckbedingungen führen, wenn ein Vakuumsystem mit einem schwereren Gas wie Argon rückgefüllt wird. Die Gefahr entsteht, wenn der Bediener des Vakuumsystems den Anzeigewert des Messgeräts nicht für den richtigen Gastyp korrigiert, z. B. zeigt ein für N2 kalibriertes Standardmessgerät 24 Torr an, wenn die Kammer 760 Torr Argon hat. Der Bediener würde zu der Annahme verleitet, dass die Kammer immer noch unter Vakuum stünde, und das System weiterhin auf einen kritischen Überdruckzustand erhöhen. Eine weitere Fehlerquelle kann entstehen, wenn das konvektionsverstärkte Pirani-Messgerät nicht korrekt montiert wird. Die meisten kommerziellen Sensoren erfordern eine parallele Montage zum Boden. Dadurch bleibt der Konventionsstrom im Inneren des Sensors in der vorgesehenen Richtung fließen (Fehler von 20 % oder mehr können leicht auftreten, wenn der konventionsverstärkte Pirani-Sensor nicht horizontal montiert wird). Eine schnelle Evakuierung dieser konvektionsverstärkten Pirani-Sensoren führt für einen kurzen Zeitraum von mehreren Sekunden zu erheblichen Messfehlern. Da sich die schnell gepumpten Gase ausdehnen, erfolgt die Wärmeabfuhr vom Drucksensorfaden nicht durch einen normalen Konvektionsstrom, sondern durch erzwungene Konvektion. Während der Vakuumdruck schnell abfällt, dehnen sich die Gase aus und kühlen ab. Dies bietet einen sekundären Weg zur Wärmeableitung vom heißen Sensordraht. Das konvektionsverstärkte Pirani-Manometer kann während der Evakuierung des Systems fälschlicherweise hohe Drücke bis zu 1000 Torr anzeigen. Sobald der Gasfluss gestoppt wird, stabilisiert sich der Druckwert wieder auf einem realistischen Messwert. Aus diesen Gründen eignen sich konvektionsverstärkte Pirani-Manometer nicht gut zur Messung von Druckänderungen unter dynamischen Pumpbedingungen. Insgesamt ist der konvektionsverstärkte Pirani ein beliebtes, kostengünstiges Grobvakuum-Druckmessgerät, das Messungen von Atmosphäre bis 1x10-4 Torr durchführen kann, wobei Messungen unter 1 Torr am genauesten sind.