Edwards-Stromanschlusssatz zur Herstellung von Stromkabeln für iXH-Vakuumpumpen. Dies ist ein Edwards iXH-Trocken-Halbleiterpumpen-Steckersatz zur Herstellung eines Eingangsnetzkabels für Halbleiter-Vakuumpumpen der Edwards iXH-Serie. Funktioniert mit iXH100, iXH610, iXH1210H, iXH1220H und anderen Modellen.

Edwards QDP-, iQDP-, iH- und iL-Wasseranschlussstecker/Staubkappe, Schnellkupplung mit Innengewinde. Entwickelt für ISO B, 3/8 NPT (nationales Rohrgewinde). Dies ist nur der Gummistopfen, KEINE MONTAGE. Diese Schnellkupplungs-Schutzabdeckungen sind für die männlichen Steckerkappen der Edwards QDP-, iQDP-, iH- und iL-Wasseranschlüsse konzipiert.

Edwards QDP-, iQDP-, iH- und iL-Wasseranschluss, Schnellkupplung mit Außengewinde, ISO B, Messing, 3/8-Kupplungskörper x 3/8-Außengewinde NPT. Edwards QDP-, iQDP-, iH- und iL-Wasseranschluss, Schnellkupplung mit Außengewinde, ISO B, Messing, 3/8-Kupplungskörper x 3/8-Außengewinde NPT (National Pipe Thread).

Edwards QDP-, iQDP-, iH- und iL-Wasseranschluss, Schnellkupplung mit Innengewinde, ISO B, Messing, 3/8-Kupplungskörper x 3/8. Edwards QDP-, iQDP-, iH- und iL-Wasseranschluss, Schnellkupplung mit Innengewinde, ISO B, Messing, 3/8-Kupplungskörper x 3/8-Innengewinde NPT (National Pipe Thread).

M8x1,25, 30 mm metrische Innensechskantschrauben, 100er-Box, LF63-100-Anschlüsse und Einlassschrauben für Edwards iH600, iH1000 und iH1800 Trockenhalbleiterpumpen. Dies ist eine Box mit jeweils 100 M8x1,25, 30 mm langen metrischen Innensechskantschrauben , legierter Stahl der Klasse 12.9, schwarz oxidiert. Diese Schrauben passen auf ISO LF NW63-, NW80- und NW100-Fittings mit Gewindebohrung. Diese Schrauben passen auch auf den Einlass von Edwards Dry Semiconductor Vakuumpumpen, Modellen iH600, iH1000 und iH1800.

Edwards iQ System-Abschlussstecker, für iQDP- und iH-Trockenhalbleiter-VakuumpumpenEdwards iQ-System-Abschlussstecker, für iQDP-40 und iQDP-80 Trockenhalbleiter-Vakuumpumpen. Ohne diesen Stecker kann das System nicht mit Strom versorgt werden.

Edwards Transit Seal Big für Halbleiterpumpen iL70, IH600, IH600MK, IH600MK2 Edwards Transit Seal Big für Halbleiterpumpen iL70, IH600, IH600MK, IH600MK2. iH600 PTFE-DICHTUNG-B.

Edwards Rotorklaue der zweiten Stufe für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160. Edwards Vacuum Teilenummer 40801724. Diese Rotoren der zweiten Stufe von Edwards sind für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160 von Edwards. Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Edwards Third Stage X Rotorklaue für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160Edwards Vacuum Teilenummer 40801726 Diese Edwards Third Stage Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Edwards Rotorklaue der vierten Stufe Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Y-Rotorklaue der zweiten Stufe von Edwards für die Trockenvakuumpumpen Edwards IH 80 und IH 160. Edwards Vacuum Teilenummer 40801725 Diese Rotoren der zweiten Stufe von Edwards sind für die Trockenvakuumpumpen Edwards IH 80 und IH 160 bestimmt. Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Edwards Y-Rotorklaue der dritten Stufe für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160. Edwards Vacuum Teilenummer 40801727 Diese Y-Rotoren der dritten Stufe von Edwards sind für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160 von Edwards. Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Y-Rotorklaue der vierten Stufe von Edwards für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160. Edwards Vacuum Teilenummer 40801729 Diese Y-Rotoren der vierten Stufe von Edwards sind für die Vakuumpumpen IH 80 und IH 160 von Edwards. Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Edwards HV-Rotorklaue für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160Edwards Vacuum Teilenummer 40801723 Diese Edwards HV-Rotoren sind für die Trockenvakuumpumpen Edwards IH 80 und IH 160. Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei unten unter VERFÜGBARE DOWNLOADS herunterladen.

Edwards LV-Rotor für die Trockenvakuumpumpen IH 80 und IH 160 Edwards Vacuum Teilenummer 40801730 Diese Edwards LV-Rotoren sind für die Vakuumpumpen Edwards IH 80 und IH 160. Eine Explosionsansicht des Teils ist verfügbar, indem Sie die PDF-Datei auf der Seite unter „Downloads“ herunterladen.

NEUES Abgasrückschlagventil von Edwards für IH-, QDP- und IQDP-Trockenpumpen, KF 40-Verbindungsflansche. Diese Abgasrückschlagventile von Edwards-Vakuumpumpen werden normalerweise verwendet, um zu verhindern, dass beim Herunterfahren Luft durch die Pumpe zurückströmt. Es handelt sich lediglich um ein Einwegventil, das den Luftstrom nach hinten verhindert. Selbst wenn eines dieser Rückschlagventile installiert ist, steigt die Pumpe irgendwann auf Atmosphärendruck an. Diese Rückschlagventile sind hilfreich, um zu verhindern, dass Prozesspulver mit einem großen Luftstrom nach hinten gespült wird. Sie werden typischerweise bei trockenen Halbleiterpumpen, iH-, QDP- und iQDP-Trockenpumpen von Edwards verwendet.

NEU Edwards Abgasrückschlagventil-KIT für IH-, QDP-, IQDP-Trockenpumpen, KF 40-AnschlussflanscheDies ist ein Abgasrückschlagventil-Kit von Edwards Vakuumpumpen. Es wird normalerweise verwendet, um zu verhindern, dass Luft beim Herunterfahren durch die Pumpe zurückströmt. Es handelt sich lediglich um ein Einwegventil, das den Luftstrom nach hinten verhindert. Selbst wenn eines dieser Rückschlagventile installiert ist, wird die Pumpe irgendwann auf Atmosphärendruck ansteigen. Diese Rückschlagventile sind hilfreich, um zu verhindern, dass Prozesspulver mit einem großen Luftstrom nach hinten gespült wird. Sie werden typischerweise auf trockenen Halbleiterpumpen, iH-, QDP- und iQDP-Trockenpumpen von Edwards verwendet. Das Abgasrückschlagventil-Set beinhaltet: (2) KF-40-Scharnierklemmen (2) KF-40-Überdruck-Zentrierringe (1) KF-40-Abgaskontrolle Ventil (1) KF-40 90-Grad-Winkelstück aus Edelstahl

Edwards iXL-Trockenhalbleiterpumpenstecker zur Herstellung von Stromkabeln für Vakuumpumpen der iXL-Serie. Dies ist ein Edwards iXL-Trocken-Halbleiterpumpen-Steckersatz zur Herstellung eines Eingangsnetzkabels für Halbleiter-Vakuumpumpen der Edwards iXL-Serie. Funktioniert mit iXL120 und anderen Modellen.

Edwards EMO-Kabel für die Installation einer Trockenhalbleiterpumpe der iXL- oder iXH-Serie neuer Bauart an einem Werkzeug mit vorhandenen Pumpen der iH-Serie alter Bauart. Ideal Vacuum liefert unser eigenes Schnittstellenkabel, das den Austausch einer älteren Pumpe der iH-Serie durch die Modelle IXL120N, iXH100 oder iXH610 ermöglicht. Diese EMO-Verkabelung ist nützlich für Anwendungen, bei denen an einem Halbleiterwerkzeug mehrere iH-Pumpen alter Bauart in der Unterfertigung angeschlossen sind. Dieses Schnittstellenmodulkabel setzt die EMO-Schaltung über die verbleibenden iH-Pumpen des alten Stils und durch die iXL120N-Ersatzpumpe des neuen Stils fort. Im Folgenden werden die Anschlüsse und die verschiedenen Schnittstellenmodule ausführlich beschrieben. Dieses Kabel wird normalerweise von P2 (Ausgang) des iTIM auf der linken Seite des iH mit dem Notaus-Anschluss (EMS) des iXL120N und J1 (Eingang) des iTIM auf der rechten Seite der iH-Pumpe verbunden (Details finden Sie in unserem Anwendungshinweis im PDF-Format). . Das Problem besteht darin, dass die Pumpen der Edwards iH-Serie inzwischen eingestellt wurden und nicht mehr erhältlich sind. Ideal Vacuum hat die Ersatzpumpen iXL120N für die Ladeschleuse, iXH100 (ersetzt iH80), iXH610 (ersetzt iH600) usw. auf Lager. Die neue iXL120N-Pumpe verfügt nicht über eine EMO-Taste an der Vorderseite wie die alten IH-Pumpen (siehe Details in unserem Anwendungshinweis). Das Edwards iTIM wurde häufig mit trockenen Halbleitervakuumpumpen der Edwards iH-Serie älterer Bauart konfiguriert, bei denen mehrere Pumpen an ein einziges Halbleiterwerkzeug in der Unterfabrik angeschlossen sind. Die EMO-Verkabelung ist so eingerichtet, dass das Werkzeug abgeschaltet wird, wenn eine EMO an einer der Pumpen der iH-Serie gedrückt wird. Sie sind normalerweise in Reihe in einer Daisy-Chain-Konfiguration verkabelt.

Edwards iTIM E73 & Al & T1 & Gate Valve Control für iH-Pumpen. PN: D37420000. Ein iTIM kann zur Steuerung und Überwachung der IH-Pumpe durch Ihr Prozesstool über eine parallele digitale Schnittstelle verwendet werden. Das iTIM verfügt über eine Reihe erweiterter Funktionen. • Digitale Anschlüsse für bis zu drei verschiedene Arten von Werkzeugschnittstellen an jedem iTIM. • Bequeme Montage auf der Rückseite der Pumpe, schnelle Zweipunktbefestigung. • Konfigurierbare Konnektivität, um eine einfache Anpassung der AUC-Funktionalität zu ermöglichen. • Die Absperrschiebersteuerung ist im Lieferumfang enthalten Dieses Modul ist standardmäßig vorhanden.• Das iTIM verfügt über einen Sollwertspeicher, mit dem Pumpensollwerte für einen bestimmten Prozess oder ein bestimmtes Rezept gespeichert werden können. Diese Sollwerte werden beim Einschalten automatisch in die Pumpe geladen, auch bei neuen Pumpen, wenn eine ersetzt wird. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Beispielsweise kann eine Pumpe von einer iH auf eine iHs aufgerüstet werden, ohne dass das Schnittstellenmodul geändert werden muss. Allerdings bietet das iTIM gegenüber den iM-Modulen eine verbesserte Leistung, so ist beispielsweise die volle AUC-Funktionalität nur mit dem iTIM verfügbar. Das iTIM wird bei allen Neuinstallationen empfohlen. Für weitere Anweisungen rufen Sie uns unter 505-872-0037 an.