MKS Instruments MFM, LUFT, 400 SCCM, 9 PIN ANALOG, MFM, LCMA52CS3A310, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler, Mit Metall und Elastomer abgedichtete Massendurchflussregler,  PN  GM50A008402SA3010

Diese MKS Instruments MFM, LUFT, 400 SCCM, 9 PIN ANALOG, MFM, LCMA52CS3A310  Teilenummer haben GM50A008402SA3010, sind neu und werden komplett geliefert MKS Instruments Garantie. Die Massendurchflussregler GE250A und GE300A sind Allzweck-MGCs mit Elastomerdichtung, die für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet sind. Beim GE250A kann der Bereich zwischen 100 und 250 slm (N2-Äquivalent) liegen, während beim GE300A der Bereich zwischen 150 und 300 slm (N2-Äquivalent) liegen kann. Beide sind entweder mit analogem E/A oder digitalem E/A erhältlich und nutzen die neuesten Steueralgorithmen für Gas und eine wiederholbare Reaktion auf den Sollwert. Einschwingzeiten von 1 bis 2 Sekunden und Sollwertgenauigkeiten unter 1 % des Sollwerts übertreffen typische Massenregler mit hohem Durchfluss. Die präzise Steuerung bleibt bis zu 2 % des konfigurierten vollen Durchflussbereichs erhalten. Die Multigas-/Mehrbereichsfähigkeit und Leistungsspezifikationen für Genauigkeit, Regelbereich und Einschwingverhalten minimieren den Bestandsbedarf an Durchflussreglern. Der Zugriff auf die Mehrgas-/Mehrbereichsfunktion und andere benutzerdefinierte Steuerungen erfolgt über die integrierte Diagnoseschnittstelle. Ein Standard-Ethernet-Kabel und ein JAVA-fähiger HTML-Browser sind die einzigen benötigten Werkzeuge. Kritische Gasparameter für typische Gase mit hoher Durchflussrate sind bereits auf dem MFC gespeichert. Konfigurieren Sie einen Massendurchflussregler der G-Serie, indem Sie das Gas aus einem Dropdown-Menü auswählen und den gewünschten Full-Scale-Durchflussbereich angeben. Führen Sie mithilfe der MFC-Diagnoseschnittstelle der G-Serie routinemäßige Gerätezustandsprüfungen durch, zeichnen Sie die Durchflussreaktion auf und speichern Sie Betriebsdaten für die Offline-Analyse.

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