Edwards iXM 200 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相Edwards 零件号 A56106958 Edwards iXM 200 是专为绿色制造而打造的新型干泵系列。使用非常低的能源，开发出高效罗茨机构，可将输入功率大幅降低至 1.3 kW，比上一代干泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。气体阻隔技术和热设计改进使耐腐蚀性能比 iH 系列产品高出四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXM 将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性并延长泵的使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗。 Edwards iXM 200 系列泵结构紧凑、重量轻，加上极低的噪音和振动，使 iXM 成为 Edwards 系列中用途最广泛的干泵。 iXM 将改变您对干式真空泵技术的期望，提供真正的好处并增加正常运行时间，同时对环境影响最小。 iXM 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显着降低输入功率。有关完整的说明手册，请参阅侧面的下载。特性和优点： 主要适用于清洁到轻型、恶劣的化学应用（参见下面的应用范围） 峰值抽速 200 m3/h-1 (118 CFM) 极限压力 1.5 X 10-2 Torr 仅包含主泵 无需预防性维护 3/8英寸 快速连接 水填充 水和电源连接 配对半体 SS 水冷却系统 Varimode 气体模块 应用： 负载锁传递 气象光刻 物理气相沉积 PVD 工艺 物理气相沉积 PVD 预清洗 快速热退火 RTA 剥离/灰化 蚀刻 注入源 高密度等离子体化学气相沉积 HDP CVD 快速热处理 RTP 低于大气压化学气相沉积 SACVD 钨化学气相沉积 WCVD 改良化学气相沉积 MCVD 等离子体增强化学气相沉积 PECVD 低压化学气相沉积 LPCVD

Edwards iXM 600 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相Edwards 零件号 A56126958 Edwards iXM 600 是专为绿色制造而打造的全新干泵系列。使用非常低的能源，开发出高效罗茨机构，可将输入功率大幅降低至 1.3 kW，比上一代干泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。气体阻隔技术和热设计改进使耐腐蚀性能比 iH 系列产品高出四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXM 将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性并延长泵的使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗。 Edwards iXM 600 系列泵结构紧凑、重量轻，加上极低的噪音和振动，使 iXM 成为 Edwards 系列中用途最广泛的干泵。 iXM 将改变您对干式真空泵技术的期望，提供真正的好处并增加正常运行时间，同时对环境影响最小。 iXM 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显着降低输入功率。有关完整的说明手册，请参阅侧面的下载。特性和优点： 主要适用于清洁到轻型、恶劣的化学应用（参见下面的应用范围） 峰值抽速 600 m3/h-1 (353 CFM) 极限压力 3.75 X 10-3 Torr 无需预防性维护 3/8 英寸快速连接水填充物 水和电源连接 配对半体 SS 水冷却系统 Varimode 气体模块 应用： 负载锁传递 气象光刻 物理气相沉积 PVD 工艺 物理气相沉积 PVD 预清洗 快速热退火 RTA 剥离/灰化 蚀刻 植入源 高密度等离子化学气相沉积HDP CVD 快速热处理 RTP 低于大气压化学气相沉积 SACVD 钨化学气相沉积 WCVD 改良化学气相沉积 MCVD 等离子体增强化学气相沉积 PECVD 低压化学气相沉积 LPCVD

Edwards iXM 1200 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相Edwards 零件号 A56146958 Edwards iXM 1200 是专为绿色制造而打造的新型干泵系列。使用非常低的能源，开发出高效罗茨机构，可将输入功率大幅降低至 1.3 kW，比上一代干泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。气体阻隔技术和热设计改进使耐腐蚀性能比 iH 系列产品高出四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXM 将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性并延长泵的使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗。 Edwards iXM 1200 系列泵结构紧凑、重量轻，噪音和振动极低，使 iXM 成为 Edwards 系列中用途最广泛的干泵。 iXM 将改变您对干式真空泵技术的期望，提供真正的好处并增加正常运行时间，同时对环境影响最小。 iXM 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显着降低输入功率。有关完整的说明手册，请参阅侧面的下载。特性和优点： 主要适用于清洁到轻型、恶劣的化学应用（参见下面的应用范围） 峰值抽速 1030 m3/h-1 (606 CFM) 极限压力 5.0 X 10-3 Torr 无需预防性维护 3/8 英寸快速连接水填充物 水和电源连接 配对半体 SS 水冷却系统 Varimode 气体模块 应用： 负载锁传递 气象光刻 物理气相沉积 PVD 工艺 物理气相沉积 PVD 预清洗 快速热退火 RTA 剥离/灰化 蚀刻 植入源 高密度等离子化学气相沉积HDP CVD 快速热处理 RTP 低于大气压化学气相沉积 SACVD 钨化学气相沉积 WCVD 改良化学气相沉积 MCVD 等离子体增强化学气相沉积 PECVD 低压化学气相沉积 LPCVD

Edwards GX、iGX、iXH、iXM 和 iXL 泵显示终端、5Way、XLR 插头、手持式键盘显示模块。 Edwards 零件号：D37280700 Edwards GX、iGX、iXH、IXM 和 iXL 泵显示终端 5 路 XLR 插头。适用于 Edwards GX、iGX 和 iXL120 系列干泵系统的手持式显示器，具有 5 路 XLR 连接。 Edwards 真空零件号 D37280700。

Edwards SPI Micro TIM 模块D37360310SPI Micro TIM 模块为带有 Micro TIM 插槽的干泵提供 Edwards SPI 工具接口。 SPI Micro TIM 模块可用于通过您的处理工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 SPI Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards MCM Micro TIM 模块D37360320MCM MicroTIM 模块为带 MicroTIM 插槽的干泵提供 Edwards MCM 工具接口。 MCM Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 MCM Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 GXS 系列（仅限 MCM 版本） CXS 系列（仅限 MCM 版本） 如果这些模块已经存在，则它们可用于通过过程工具或其他控制设备提供对泵的控制和监视。例如，泵可以从 iH 升级到 iH，而无需更改接口模块。 MCM Micro TIM 与 GXS 和 CXS 系列泵具有 AUC 兼容性。相当于 iH iTIM D37422000 - MCM。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards TEL Micro TIM 模块D37360330TEL Micro TIM 模块为带有 Micro TIM 插槽的干泵提供 Edwards TEL 工具接口。 TEL Micro TIM 模块可用于通过您的过程工具使用并行数字接口来控制和监视各种 Edwards 泵。 TEL Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Semi E73 Micro TIM 模块D37360340Semi E73 Micro TIM 模块为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Semi E73 兼容工具接口。 Semi E73 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Semi E73 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards LAM Alliance Micro TIM 模块D37360350LAM Alliance MicroTIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了到 LAM Alliance 平台的工具接口。 LAM Alliance Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 LAM Alliance Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Novellus C3 Micro TIM 模块D37360360Novellus C3 Micro TIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供了 Novellus C3 平台的工具接口。 Novellus C3 Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Novellus C3 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards Hitachi Micro TIM 模块D37360370Hitachi MicroTIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Hitachi 工具接口。 Hitachi Micro TIM 模块可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监控各种 Edwards 泵。 Hitachi Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。 EPX 系列 iGX 系列 GX 系列 iXH 系列 iXL 系列 也可用于带有系统控制器的多泵系统。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。检查左侧下载部分的 Micro TIM 或 iTIM 手册.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

Edwards EMO 电缆，用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵。 Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆，可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替换旧型 iH 系列泵。这种 EMO 布线对于半导体工具在子晶圆厂中连接有多个旧式 iH 泵的应用非常有用。该接口模块电缆延续了 EMO 电路，穿过剩余的旧式 iH 泵和新型 iXL120N 替换泵。下面详细描述连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上 iTIM 的 P2（输出）连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器，再连接到右侧 iH 泵上 iTIM 的 J1（输入）（详细信息请参阅 pdf 格式的应用说明） 。问题是 Edwards iH 系列泵现已停产且不再可用。 Ideal Vacuum 备有替换泵、用于负载锁定的 iXL120N、iXH100（替换 iH80）、iXH610（替换 iH600）等。与旧式 IH 泵不同，新型 iXL120N 泵的正面没有 EMO 按钮（请参阅我们的应用说明中的详细信息）。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列干式半导体真空泵，其中多个泵连接到子晶圆厂中的单个半导体工具。 EMO 布线设置为在任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具，它们通常采用菊花链配置串联布线。