Edwards 电源连接器套件用于制作 iXH 真空泵的电源线。这是 Edwards iXH 干式半导体泵插头套件，用于制作 Edwards iXH 系列半导体真空泵的输入电源线。适用于 iXH100、iXH610、iXH1210H、iXH1220H 和其他型号。

Edwards QDP、iQDP、iH 和 iL 水连接器插头/防尘盖、内螺纹快速接头专为 ISO B、3/8 NPT（国家管螺纹）设计。这是仅橡胶塞，无需配件。这些快速连接保护盖设计用于安装 Edwards QDP、iQDP、iH 和 iL 水连接器公插头盖。

Edwards QDP、iQDP、iH 和 iL 水连接器、外螺纹快速接头、ISO B、黄铜、3/8 接头主体 X 3/8 外螺纹 NPT。 Edwards QDP、iQDP、iH 和 iL 水连接器、外螺纹快速接头、ISO B、黄铜、3/8 接头主体 X 3/8 外螺纹 NPT（国家管螺纹）。

Edwards QDP、iQDP、iH 和 iL 水连接器、内螺纹快速接头、ISO B、黄铜、3/8 接头主体 X 3/8。 Edwards QDP、iQDP、iH 和 iL 水连接器、内螺纹快速接头、ISO B、黄铜、3/8 接头主体 X 3/8 内螺纹 NPT（国家管螺纹）。

M8x1.25、30mm 公制内六角螺钉，每盒 100 个，LF63-100 用于 Edwards iH600、iH1000 和 iH1800 干式半导体泵的接头和进气螺钉 这是一盒 100 个 的 M8x1.25、30mm 长公制内六角螺钉，12.9 级合金钢，黑色氧化处理。这些螺钉适合攻丝螺纹孔 ISO LF NW63、NW80 和 NW100 接头。这些螺钉还适合 Edwards 干式半导体真空泵 iH600、iH1000 和 iH1800 型号的入口。

Edwards iQ 系统终端插头，适用于 iQDP 和 iH 干式半导体真空泵Edwards iQ 系统终端插头，适用于 iQDP-40 和 iQDP-80 干式半导体真空泵。如果没有此插头，则无法为系统供电。

适用于半导体泵 iL70、IH600、IH600MK、IH600MK2 的 Edwards Transit Seal Big 适用于半导体泵 iL70、IH600、IH600MK、IH600MK2。 iH600 PTFE 密封件-B。

适用于 IH 80 和 IH 160 干真空泵的 Edwards 第二级转子爪 Edwards Vacuum 零件号 40801724 这些 Edwards 第二级转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 干真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获取。 可用下载。

适用于 IH 80 和 IH 160 干式真空泵的 Edwards Third Stage X 转子爪Edwards Vacuum 零件号 40801726 这些 Edwards Third Stage X 转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获得。 可用下载。

适用于 IH 80 和 IH 160 干式真空泵的 Edwards Fourth Stage X 转子爪Edwards Vacuum 零件号 40801728 这些 Edwards Fourth Stage X 转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 干式真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获得。 可用下载。

Edwards 第二级 Y 转子爪，适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 干式真空泵 Edwards 真空零件号 40801725 这些 Edwards 第二级转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 干式真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获取。

适用于 IH 80 和 IH 160 干真空泵的 Edwards 第三级 Y 转子爪 Edwards Vacuum 零件号 40801727 这些 Edwards 第三级 Y 转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 干真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获取。

适用于 IH 80 和 IH 160 干式真空泵的 Edwards 第四级 Y 型转子爪 Edwards 真空零件号 40801729 这些 Edwards 第四级 Y 型转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获得。 可用下载。

适用于 IH 80 和 IH 160 干式真空泵的 Edwards HV 转子爪Edwards Vacuum 零件号 40801723 这些 Edwards HV 转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 干式真空泵。零件分解图可通过下载下面的 .pdf 来获得。 可用下载。

适用于 IH 80 和 IH 160 干式真空泵的 Edwards LV 转子 Edwards Vacuum 零件号 40801730 这些 Edwards LV 转子适用于 Edwards IH 80 和 IH 160 真空泵。可通过下载旁边的 .pdf 来获取零件的分解视图。

适用于 IH、QDP、IQDP 干泵、KF 40 连接法兰的新型 Edwards 排气止回阀这些 Edwards 真空泵排气止回阀通常用于帮助防止空气在断电期间通过泵回流。它们只是一个单向阀，旨在抑制向后的气流。即使安装了这些止回阀之一，泵最终也会增加到大气压力。这些止回阀有助于防止工艺粉末因大气流而向后扫除。它们通常用于 Edwards 干式半导体泵、iH、QDP 和 iQDP 干泵。

全新 Edwards 排气止回阀套件，适用于 IH、QDP、IQDP 干泵，KF 40 连接法兰这是 Edwards 真空泵排气止回阀套件。它通常用于帮助防止空气在断电期间通过泵向后冲。它们只是一种单向阀，旨在抑制向后的气流。即使安装了这些止回阀之一，泵最终也会增加到大气压力。这些止回阀有助于防止工艺粉末因大气流而向后冲走。它们通常用于 Edwards 干式半导体泵、iH、QDP 和 iQDP 干泵。排气止回阀套件包括：(2) KF-40 铰链夹(2) KF-40 过压定心环(1) KF-40 排气止回阀阀门(1) KF-40 90度不锈钢弯头

Edwards iXL 干式半导体泵插头用于制作 iXL 系列真空泵的电源线。这是 Edwards iXL 干式半导体泵插头套件，用于制作 Edwards iXL 系列半导体真空泵的输入电源线。适用于 iXL120 和其他型号。

Edwards EMO 电缆，用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵。 Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆，可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替换旧型 iH 系列泵。这种 EMO 布线对于半导体工具在子晶圆厂中连接有多个旧式 iH 泵的应用非常有用。该接口模块电缆延续了 EMO 电路，穿过剩余的旧式 iH 泵和新型 iXL120N 替换泵。下面详细描述连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上 iTIM 的 P2（输出）连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器，再连接到右侧 iH 泵上 iTIM 的 J1（输入）（详细信息请参阅 pdf 格式的应用说明） 。问题是 Edwards iH 系列泵现已停产且不再可用。 Ideal Vacuum 备有替换泵、用于负载锁定的 iXL120N、iXH100（替换 iH80）、iXH610（替换 iH600）等。与旧式 IH 泵不同，新型 iXL120N 泵的正面没有 EMO 按钮（请参阅我们的应用说明中的详细信息）。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列干式半导体真空泵，其中多个泵连接到子晶圆厂中的单个半导体工具。 EMO 布线设置为在任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具，它们通常采用菊花链配置串联布线。

Edwards iTIM E73 和 Al 和 T1 以及 iH 泵的闸阀控制。 PN：D37420000。 iTIM 可用于通过您的工艺工具使用并行数字接口来控制和监视 IH 泵。 iTIM 具有许多高级功能。 • 每个 iTIM 上最多可连接 3 种不同类型的工具接口。• 方便地安装在泵后部，快速两点固定。• 可配置的连接，可轻松定制 AUC 功能。• 闸阀控制包含在此模块为标准配置。• iTIM 具有设定点存储，允许保存与特定过程或配方相关的泵设定点。这些设定点会在加电时自动加载到泵中，包括更换泵时的新泵。如果这些模块已经存在，则您的工艺工具或其他控制设备可以利用它们来提供对泵的控制和监控。例如，泵可以从 iH 升级到 iH，而无需更改接口模块。然而，iTIM 提供了比 iM 模块更高的性能，例如，只有使用 iTIM 才能使用完整的 AUC 功能。建议在所有新安装中使用 iTIM。如需进一步说明，请致电 505-872-0037。