Edwards nEXT85D 涡轮真空泵，带 NW40 KF-40 入口，抽速 61 l/s，风冷或水冷。爱德华兹零件编号：B8G210A01。配备 NW40 KF-40 入口法兰的 Edwards nEXT85D 涡轮分子高真空泵的抽速为 61 升每秒 (l/s)，极限压力为 8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr)。该 nEXT85D 泵配有入口滤网和 ISO KF-16 排气前级法兰。 nEXT85D 系列涡轮泵需要 24 至 48 VDC 输入功率，最大功率为 120 瓦（正常运行通常小于 80 瓦）。永久连接的 DB15 组合电源和控制电缆是泵的标准配置。所有 nEXT85D 涡轮泵均配有紧凑型板载控制器，带 RS232、RS485 和 USB 接口、五个状态 LED 以及一个用于控制空气冷却风扇或电磁通风阀的附件端口（“Y”连接器可用于连接两者）风扇和阀门）。所需要的只是合适的电源和启动/停止逻辑。对于实验室使用，我们建议使用 Edwards 涡轮仪器控制器 (TIC) 或涡轮主动测量仪 (TAG)，它们既可以充当较小尺寸 nEXT 泵的电源和远程控制器。我们还提供各种可选配件，包括 TIC 和 TAG、强制空气和水冷却套件以及电磁操作排气阀。此 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 部件号为 B8G210A01。Edwards nEXT85D 涡轮泵规格： 部件号：B8G210A01 入口法兰：NW40 KF-40 基本压力：8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr) 工作速度：90,000 RPM 工作位置：从水平到垂直（入口向上） 抽气速度：61 升/秒 冷却：强制通风或排水 法兰：KF-16 工作电压：24-48 VDC 最大功率：120 瓦（典型操作 < 80 瓦）通讯：DB15 串行 RS232/RS485 接口、USB 一个附件端口 推荐的低真空泵：nXDS6i nEXT 涡轮泵的转子旨在优化泵性能，同时保持高水平的可靠性。 nEXT 涡轮泵的“D”型号具有涡轮分子级和阻力级，可提高对更高背衬管线压力的耐受性，并且对所有气体种类都具有卓越的抽速和压缩能力。除了增强的性能外，所有 nEXT 涡轮泵还具有可现场维修的油盒和轴轴承，可大大减少停机时间。 nEXT D 涡轮泵受益于紧凑的板载控制器，该控制器具有用于控制泵运行和待机速度的驱动电子设备，以及操作电磁通风阀（TAV5、TAV6）和空气冷却装置（通过 24 VDC 附件端口）。集成控制器有一个 DB15 接口，用于 RS232 和 RS485 串行通信以及为泵供电。 USB 端口允许使用 Edwards nST2 PC 软件（从下面的链接免费下载）。该控制器还具有五个 LED 指示灯，用于指示泵的一般状态、操作和维修状态。可选的 TIC 涡轮仪表控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器可以为泵供电和控制。带 CF 法兰的 Edwards nEXT 泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力可达 10-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫片并且真空室经过彻底清洁和烘烤）。带有 ISO 或 KF 法兰的涡轮泵（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封件的渗透和除气）的极限压力被限制在 10-8 Torr 范围内。当涡轮机采用水冷时，Conflat 法兰 nEXT85D 泵的进气温度可高达 120 °C。 Conflat 泵的加热带单独出售。对于真空系统集成应用，nEXT85D 泵可由合适的用户提供 24 至 48 VDC 电源供电。对于实验室应用，我们推荐 Edwards TIC 涡轮仪器控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器，其中任何一个都可以供电并控制泵。 TIC 系列控制器是台式或机架式远程用户界面/电源，通过 RS232/RS485 与 Edwards nEXT 系列泵进行通信，并提供对涡轮泵的全面监控和控制，并可选择一个或多个真空计仪器。添加 Edwards 继电器盒后，它就成为 TIC 控制器与主前级泵、涡轮泵法兰加热器带和后级管线隔离阀之间的控制接口。 TAG 涡轮和主动真空计控制器可为 nEXT85D 涡轮泵和真空计供电，其大型 LED 显示屏可显示泵速或真空压力。泵说明手册和 Edwards nEXT 泵产品手册可在下载部分获取。典型的涡轮泵应用包括： 一般清洁泵应用 扫描电子显微镜 - SEM 光束线和高能物理 质谱分析 电子显微镜 样品制备 研究与开发 高能物理 工业半导体涂层 表面科学仪器

Edwards nEXT85D 涡轮真空泵，ISO-K 63 入口，84 l/s 抽速，风冷或水冷。爱德华兹零件编号：B8G210B01。 Edwards nEXT85D 涡轮分子高真空泵的抽速为 84 升每秒 (l/s)，极限压力为 8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr)。该 nEXT85D 泵具有 ISO-K 63 入口法兰（包括入口滤网）和 ISO KF-16 排气前级法兰。 nEXT85D 系列涡轮泵需要 24 至 48 VDC 输入功率，最大功率为 120 瓦（正常运行通常小于 80 瓦）。所有 nEXT85D 涡轮泵均配有紧凑型板载控制器，带 RS232、RS485 和 USB 接口、五个状态 LED 以及一个用于控制空气冷却风扇或电磁通风阀的附件端口（“Y”连接器可用于连接两者）风扇和阀门）。所需要的只是合适的电源和启动/停止逻辑。对于实验室使用，我们建议使用 Edwards 涡轮仪器控制器 (TIC) 或涡轮主动测量仪 (TAG)，它们既可以充当较小尺寸 nEXT 泵的电源和远程控制器。我们提供各种可选配件，包括 TIC 和 TAG 控制器、强制风冷和水冷套件以及电磁操作排气阀。此 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 部件号为 B8G210B01。Edwards nEXT85D 涡轮泵规格： 部件号：B8G210B01 入口法兰：ISO-K 63 基本压力：8 x 10-8 mbar (6 x 10-8 Torr) 工作速度：90,000 RPM 工作位置：从水平到垂直（入口向上） 抽气速度：84 l/s 冷却：强制通风或排水 法兰：KF-16 工作电压：24-48 VDC 最大功率：120 瓦（典型操作 < 80 瓦）通讯：DB15 串行 RS232/RS485 接口、USB 一个附件端口 推荐的低真空泵：nXDS6i nEXT 涡轮泵的转子旨在优化泵性能，同时保持高水平的可靠性。 nEXT 涡轮泵的“D”型号具有涡轮分子级和阻力级，可提高对更高背衬管线压力的耐受性，并且对所有气体种类都具有卓越的抽速和压缩能力。除了增强的性能外，nEXT85D 涡轮泵还具有可现场维修的油盒和轴轴承，可大大减少停机时间。 nEXT D 涡轮泵受益于紧凑的板载控制器，该控制器具有用于控制泵运行和待机速度的驱动电子设备，以及操作电磁通风阀（TAV5、TAV6）和空气冷却装置（通过 24 VDC 附件端口）。集成控制器有一个 DB15 接口，用于 RS232 和 RS485 串行通信以及为泵供电。 USB 端口允许使用 Edwards nST2 PC 软件（下面免费下载）。该控制器还具有五个 LED 指示灯，用于指示泵的一般状态、操作和维修状态。可选的 TIC 涡轮仪表控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器可以为泵供电和控制。带 CF 法兰的 Edwards nEXT 泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力可达 10-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫片并且真空室经过彻底清洁和烘烤）。带有 ISO 法兰的涡轮泵的极限压力（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封件的渗透和除气）限制在 10-8 Torr 范围内。当涡轮机采用水冷时，Conflat 法兰 nEXT85D 泵的进气温度可高达 120 °C。 Conflat 泵的加热带单独出售。对于真空系统集成应用，nEXT85D 泵可由合适的用户提供 24 至 48 VDC 电源供电。对于实验室应用，我们推荐 Edwards TIC 涡轮仪器控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器，其中任何一个都可以供电并控制泵。 TIC 系列控制器是台式或机架式远程用户界面/电源，通过 RS232/RS485 与 Edwards nEXT 系列泵进行通信，并提供对涡轮泵的全面监控和控制，并可选择一个或多个真空计仪器。添加 Edwards 继电器盒后，它成为 TIC 控制器与主前级泵、涡轮泵法兰加热器带和后级管线隔离阀之间的控制接口。 TAG 涡轮和主动真空计控制器可为 nEXT85D 涡轮泵和真空计供电，其大型 LED 显示屏可显示泵速或真空压力。泵说明手册和 Edwards nEXT 泵产品手册可在下载部分获取。典型的涡轮泵应用包括： 一般清洁泵应用 扫描电子显微镜 - SEM 光束线和高能物理 质谱分析 电子显微镜 样品制备 研究与开发 高能物理 工业半导体涂层 表面科学仪器

Edwards nEXT85D 涡轮分子高真空泵，带 Conflat CF 4.5" DN63 CF 入口，抽速 84 l/s，风冷或水冷。Edwards 零件号：B8G210C01。Edwards nEXT85D 涡轮分子高真空泵，带 DN63 CF、Conflat CF 4.5 英寸入口法兰抽速为 84 升每秒 (l/s)，极限压力为 5 x 10-10 mbar (3.7 x 10-10 Torr)。此 nEXT85D 泵配有入口滤网和 ISO KF-16 排气前级管道nEXT85D 系列涡轮泵需要 24 至 48 VDC 输入功率，最大功率为 120 瓦（正常运行通常小于 80 瓦）。永久连接的 DB15 组合电源和控制电缆是泵的标准配置。所有 nEXT85D 涡轮泵具有紧凑型板载控制器，带 RS232、RS485 和 USB 接口、五个状态 LED 以及一个附件端口，用于控制空气冷却风扇或电磁通风阀（“Y”连接器可用于连接风扇和阀门). 所需要的只是合适的电源和启动/停止逻辑。对于实验室使用，我们建议使用 Edwards 涡轮仪器控制器 (TIC) 或涡轮主动测量仪 (TAG)，它们既可以充当较小尺寸 nEXT 泵的电源和远程控制器。我们还提供各种可选配件，包括 TIC 和 TAG、强制空气和水冷却套件以及电磁操作排气阀。此 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 部件号为 B8G210C01。Edwards nEXT85D 涡轮泵规格： 部件号：B8G210C01 入口法兰：DN63 CF、CF 4.5 英寸 基础压力：5 x 10-10 mbar (3.7 x 10-10 Torr) 工作速度： 90,000 RPM 工作位置：从水平到垂直（入口向上） 抽气速度：84 l/s 冷却：强制通风或排水 法兰：KF-16 工作电压：24-48 VDC 最大功率：120 瓦（典型运行 < 80 瓦) 电源和通讯：DB15 串行 RS232/RS485 接口、USB 一个附件端口 推荐的低真空泵：nXDS6i nEXT 涡轮泵的转子旨在优化泵性能，同时保持高水平的可靠性。 nEXT 涡轮泵的“D”型号具有涡轮分子级和阻力级，可提高对更高背衬管线压力的耐受性，并且对所有气体种类都具有卓越的抽速和压缩能力。除了增强的性能外，所有 nEXT 涡轮泵还具有可现场维修的油盒和轴轴承，可大大减少停机时间。 nEXT D 涡轮泵受益于紧凑的板载控制器，该控制器具有用于控制泵运行和待机速度的驱动电子设备，以及操作电磁通风阀（TAV5、TAV6）和空气冷却装置（通过 24 VDC 附件端口）。集成控制器有一个 DB15 接口，用于 RS232 和 RS485 串行通信以及为泵供电。 USB 端口允许使用 Edwards nST2 PC 软件（从下面的链接免费下载）。该控制器还具有五个 LED 指示灯，用于指示泵的一般状态、操作和维修状态。可选的 TIC 涡轮仪表控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器可以为泵供电和控制。带 CF 法兰的 Edwards nEXT 泵是真正的超高真空 (UHV) 泵，极限压力可达 10-10 Torr 范围（如果使用全金属进气密封垫片并且真空室经过彻底清洁和烘烤）。带有 ISO 或 KF 法兰的涡轮泵（通过橡胶/弹性体 O 形圈密封件的渗透和除气）的极限压力被限制在 10-8 Torr 范围内。当涡轮机采用水冷时，Conflat 法兰 nEXT85D 泵的进气温度可高达 120 °C。 Conflat 泵的加热带单独出售。对于真空系统集成应用，nEXT85D 泵可由合适的用户提供 24 至 48 VDC 电源供电。对于实验室应用，我们推荐 Edwards TIC 涡轮仪器控制器或 TAG 涡轮和主动仪表控制器，其中任何一个都可以供电并控制泵。 TIC 系列控制器是台式或机架式远程用户界面/电源，通过 RS232/RS485 与 Edwards nEXT 系列泵进行通信，并提供对涡轮泵的全面监控和控制，并可选择一个或多个真空计仪器。添加 Edwards 继电器盒后，它就成为 TIC 控制器与主前级泵、涡轮泵法兰加热器带和后级管线隔离阀之间的控制接口。 TAG 涡轮和主动真空计控制器可为 nEXT85D 涡轮泵和真空计供电，其大型 LED 显示屏可显示泵速或真空压力。泵说明手册和 Edwards nEXT 泵产品手册可在下载部分获取。典型的涡轮泵应用包括： 一般清洁泵应用 扫描电子显微镜 - SEM 光束线和高能物理 质谱分析 电子显微镜 样品制备 研究与开发 高能物理 工业半导体涂层 表面科学仪器

Edwards TAG 涡轮和主动仪表控制器套件，带 200W 外部 24 VDC 电源和适用于 nEXT 涡轮泵的交流电源线。这款 Edwards TAG Turbo 和有源仪表控制器套件包括 TAG 控制器、配套的 200W 电源、2 米长的美式插头 5-15P 至 C13 连接器、用于电源的 IEC 60320 输入电源线。 TAG 是一款小型、低成本、24 VDC 泵送系统控制器，适用于各种真空应用。 TAG 提供串行接口，用于显示涡轮泵的速度，并可为 nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电。 TAG 还可以控制和显示单个主动真空计的真空压力，并运行风扇对泵进行强制风冷。 TAG 控制器与所有 nEXT 涡轮泵和 APG、AIM、ASG 或 WRG 真空计兼容。 TAG 的按钮界面允许用户轻松地在泵速或真空压力之间切换，显示在大型 LED 显示屏上。这款紧凑型 24 VDC 控制器非常适合在台式上使用，也非常适合空间有限但功能和可靠性至关重要的移动平台。该 TAG 控制器套件包括： Edwards TAG Turbo 和有源仪表控制器，部件号：D39592000 Edwards TAG 控制器的 200W 外部电源，部件号：D39592800 交流电源线，2 米长，115 VAC，美式插头 5-15P 转 C13，部件号： P106129

Edwards TAG 涡轮和主动计量控制器，24 VDC，无电源，适用于 nEXT 涡轮泵。爱德华兹零件号：D39592000。 TAG 是一款小型、低成本、24 VDC 泵送系统控制器，适用于各种真空应用。 TAG 提供串行接口，用于显示涡轮泵的速度，并可为 nEXT85D、nEXT240D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电。 TAG 还可以控制和显示单个主动真空计的真空压力，并运行风扇对泵进行强制风冷。 TAG 控制器与所有 nEXT 涡轮泵和 APG、AIM、ASG 或 WRG 真空计兼容。 TAG 的按钮界面允许用户轻松地在泵速或真空压力之间切换，显示在大型 LED 显示屏上。这款紧凑型 24 VDC 控制器非常适合在台式上使用，也非常适合空间有限但功能和可靠性至关重要的移动平台。此列表仅适用于 TAG 控制器。它需要 24 VDC 电源（部件号 P106340）和标准交流电源线（部件号 P106129）。还提供部件号 P106255，这是一个 TAG 控制器套件，其中包括电源和交流电源线。

Edwards 200W 外部电源，24 VDC，适用于 Edwards TAG Turbo 和有源仪表控制器。爱德华兹零件号：D39592800。此 Edwards 200W 外部电源为 TAG Turbo 和主动仪表控制器（部件号 P106255）提供 24 VDC @8A。由于TAG没有自己的内部电源，因此需要外部200W电源。该电源配有一条永久连接的电缆，用于连接到 TAG 控制器。该电源的输入交流电缆单独出售（部件号 P106129）。此 200W Edwards 电源的部件号为 D39592800。该电源适用于：TAG Turbo 和 Active Gauge 控制器

输入电源线 电源线 2m 长 115 VAC，适用于 Edwards TIC 控制器、继电器盒或 TAG 电源美国插头。这是一条输入电源线（电源线），115 VAC，长 2 米，带美国插头 5-15P 至 C13 连接器。它用于 Edwards TIC 涡轮仪表控制器和 TIC 继电器盒。它还用于为 TAG Turbo 和有源仪表控制器供电的 200W 外部电源（部件号 P106340）（TAG 没有内部电源）。替换 Edwards 零件号 B8J200813、A50507000 或 D40013120，与我们的零件号 P102990 相同）。此电源线用于： Edwards TIC Turbo 仪器控制器 Edwards TIC 继电器盒 Edwards TAG Turbo 和有源仪表控制器 200W 外部电源 Edwards nXDSi 干式涡旋泵

Edwards 100W TIC 涡轮仪表控制器，不带真空计控制，适用于 nEXT 涡轮泵。爱德华兹零件号：D39711000。这款 Edwards 100W TIC 涡轮仪器控制器可以控制 nEXT85D 涡轮泵并为其供电，建议控制 nEXT730D、nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵。该控制器没有主动仪表支持，Edwards 部件号为 D39711000。 Edwards TIC 涡轮仪表控制器是一系列 100W 和 200W 紧凑型控制器，可与任何 Edwards nEXT 涡轮泵一起使用。 TIC 通过泵附带的 DB15 串行电缆连接到涡轮泵并对其进行控制。通过同一根电缆，TIC 能够为较小的 nEXT 泵提供 24 VDC 泵电源。 TIC 控制器具有大而清晰的图形显示屏、通过触摸敏感键盘实现的易于使用的控制界面以及用于使用用户提供的软件在远程 PC 上进行控制和数据监控的 DB9 RS232/485 接口。 TIC 需要 100-240 VAC 输入电源，可以安装在机架上或在台式上使用。 TIC 不附带输入电源线（我们建议零件号 P106129）。所有 TIC 型号均通过 Phoenix 4 针连接器（配合端随 TIC 提供）支持强制风冷风扇和电磁阀操作通风阀。当通过 DB25 逻辑接口连接到 Edwards 继电器盒（部件号 P106081）时，TIC 还可以控制前级泵、法兰加热器带和 24 VDC 后级管线阀。 TIC 控制器可带或不带主动仪表控制。支持的仪表为 APG、AIM、ASG 或 WRG 系列仪表（不支持 IGC 和 Barocel 型号）。关于 100W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，100W，无主动仪表控制器，部件号 D39711000 TIC 控制器，100W，控制最多 3 个主动仪表，部件号 D39721000 控制器并可为 nEXT85D 涡轮泵供电 建议控制 nEXT730D， nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀 关于 200W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，200W，无主动仪表控制装置，部件号 D39712000 TIC 控制器，200W，控制装置最多 3 个有源仪表，部件号 D39722000 控制 AND 可以为 nEXT230D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电 nEXT85D 涡轮泵的斜坡速度更快（与 100W TIC 相比） 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀

Edwards 200W TIC 涡轮仪器控制器，不带真空计支持，适用于 nEXT 涡轮泵。爱德华兹零件编号：D39712000。这款 Edwards 200W TIC 涡轮仪器控制器可以控制 nEXT230D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵并为其供电。该控制器没有主动仪表支持，Edwards 部件号为 D39712000。 Edwards TIC 涡轮仪表控制器是一系列 100W 和 200W 紧凑型控制器，可与任何 Edwards nEXT 涡轮泵一起使用。 TIC 通过泵附带的 DB15 串行电缆连接到涡轮泵并对其进行控制。通过同一根电缆，TIC 能够为较小的 nEXT 泵提供 24 VDC 泵电源。 TIC 控制器具有大而清晰的图形显示屏、通过触摸敏感键盘实现的易于使用的控制界面以及用于使用用户提供的软件在远程 PC 上进行控制和数据监控的 DB9 RS232/485 接口。 TIC 需要 100-240 VAC 输入电源，可以安装在机架上或在台式上使用。 TIC 不附带输入电源线（我们建议零件号 P106129）。所有 TIC 型号均通过 Phoenix 4 针连接器（配合端随 TIC 提供）支持强制风冷风扇和电磁阀操作通风阀。当通过 DB25 逻辑接口连接到 Edwards 继电器盒（部件号 P106081）时，TIC 还可以控制前级泵、法兰加热器带和 24 VDC 后级管线阀。 TIC 控制器可带或不带主动仪表控制。支持的仪表为 APG、AIM、ASG 或 WRG 系列仪表（不支持 IGC 和 Barocel 型号）。关于 100W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，100W，无主动仪表控制器，部件号 D39711000 TIC 控制器，100W，控制最多 3 个主动仪表，部件号 D39721000 控制器并可为 nEXT85D 涡轮泵供电 建议控制 nEXT730D， nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀 关于 200W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，200W，无主动仪表控制装置，部件号 D39712000 TIC 控制器，200W，控制装置最多 3 个有源仪表，部件号 D39722000 控制 AND 可以为 nEXT230D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电 nEXT85D 涡轮泵的斜坡速度更快（与 100W TIC 相比） 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀

Edwards 100W TIC 涡轮仪器控制器，支持 3 个主动真空计，适用于 nEXT 涡轮泵。爱德华兹零件编号：D39721000。这款 Edwards 100W TIC 涡轮仪器控制器可以控制 nEXT85D 涡轮泵并为其供电，建议控制 nEXT730D、nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵。该控制器支持最多 3 个主动真空计，Edwards 部件号为 D39721000。 Edwards TIC 涡轮仪表控制器是一系列 100W 和 200W 紧凑型控制器，可与任何 Edwards nEXT 涡轮泵一起使用。 TIC 通过泵附带的 DB15 串行电缆连接到涡轮泵并对其进行控制。通过同一根电缆，TIC 能够为较小的 nEXT 泵提供 24 VDC 泵电源。 TIC 控制器具有大而清晰的图形显示屏、通过触摸敏感键盘实现的易于使用的控制界面以及用于使用用户提供的软件在远程 PC 上进行控制和数据监控的 DB9 RS232/485 接口。 TIC 需要 100-240 VAC 输入电源，可以安装在机架上或在台式上使用。 TIC 不附带输入电源线（我们建议零件号 P106129）。所有 TIC 型号均通过 Phoenix 4 针连接器（配合端随 TIC 提供）支持强制风冷风扇和电磁阀操作通风阀。当通过 DB25 逻辑接口连接到 Edwards 继电器盒（部件号 P106081）时，TIC 还可以控制前级泵、法兰加热器带和 24 VDC 后级管线阀。 TIC 控制器可带或不带主动仪表控制。支持的仪表为 APG、AIM、ASG 或 WRG 系列仪表（不支持 IGC 和 Barocel 型号）。关于 100W TIC 涡轮仪表控制器 TIC 控制器，100W，无主动仪表控制器，部件号 D39711000 TIC 控制器，100W，控制最多 3 个主动仪表，部件号 D39721000 控制器并可为 nEXT85D 涡轮泵供电 建议控制 nEXT730D， nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀 关于 200W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，200W，无主动仪表控制装置，部件号 D39712000 TIC 控制器，200W，控制装置最多 3 个有源仪表，部件号 D39722000 控制 AND 可以为 nEXT230D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电 nEXT85D 涡轮泵的斜坡速度更快（与 100W TIC 相比） 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀

Edwards 200W TIC 涡轮仪器控制器，支持 3 个主动真空计，适用于 nEXT 涡轮泵。爱德华兹零件编号：D39722000。这款 Edwards 200W TIC 涡轮仪器控制器可以控制 nEXT230D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵并为其供电。该控制器支持最多 3 个主动真空计，Edwards 部件号为 D39722000。 Edwards TIC 涡轮仪表控制器是一系列 100W 和 200W 紧凑型控制器，可与任何 Edwards nEXT 涡轮泵一起使用。 TIC 通过泵附带的 DB15 串行电缆连接到涡轮泵并对其进行控制。通过同一根电缆，TIC 能够为较小的 nEXT 泵提供 24 VDC 泵电源。 TIC 控制器具有大而清晰的图形显示屏、通过触摸敏感键盘实现的易于使用的控制界面以及用于使用用户提供的软件在远程 PC 上进行控制和数据监控的 DB9 RS232/485 接口。 TIC 需要 100-240 VAC 输入电源，可以安装在机架上或在台式上使用。 TIC 不附带输入电源线（我们建议零件号 P106129）。所有 TIC 型号均通过 Phoenix 4 针连接器（配合端随 TIC 提供）支持强制风冷风扇和电磁阀操作通风阀。当通过 DB25 逻辑接口连接到 Edwards 继电器盒（部件号 P106081）时，TIC 还可以控制前级泵、法兰加热器带和 24 VDC 后级管线阀。 TIC 控制器可带或不带主动仪表控制。支持的仪表为 APG、AIM、ASG 或 WRG 系列仪表（不支持 IGC 和 Barocel 型号）。关于 100W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，100W，无主动仪表控制器，部件号 D39711000 TIC 控制器，100W，控制最多 3 个主动仪表，部件号 D39721000 控制器并可为 nEXT85D 涡轮泵供电 建议控制 nEXT730D， nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀 关于 200W TIC 涡轮仪器控制器 TIC 控制器，200W，无主动仪表控制装置，部件号 D39712000 TIC 控制器，200W，控制装置最多 3 个有源仪表，部件号 D39722000 控制 AND 可以为 nEXT230D、nEXT300D 或 nEXT400D 涡轮泵供电 nEXT85D 涡轮泵的斜坡速度更快（与 100W TIC 相比） 使用继电器盒 (P106081) 控制前级泵、加热器带和前级隔离阀

Edwards 扩展电源和通信电缆将 TIC 或 TAG 控制器连接到任何 nEXT 涡轮泵、D-Sub 15 针、1 m 长。爱德华兹零件编号：D39700835。这款 Edwards 1m 长延长电源和通信电缆连接任何 nEXT 涡轮泵和 TIC（涡轮仪器控制器）或 TAG（涡轮和主动仪表控制器）。它用于增加泵和控制器之间的距离。该延长线两端都有 D-Sub 15 针连接器，一个公头，一个母头。 Edwards nEXT 涡轮泵具有永久连接的 0.3m 长电源和通信电缆。此 1 米延长电缆将泵到控制器电缆的总长度增加至 1.3 米。此 1 米长的延长电源和通信电缆的 Edwards 部件号为 D39700835。此 Edwards 延长电源和通信电缆与 TIC 或 TAG 控制器以及这些 nEXT 泵兼容： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 扩展电源和通信电缆将 TIC 或 TAG 控制器连接到任何 nEXT 涡轮泵、D-Sub 15 针、2 m 长。爱德华兹零件编号：D39700836。这款 Edwards 2m 长延长电源和通信电缆连接任何 nEXT 涡轮泵和 TIC（涡轮仪器控制器）或 TAG（涡轮和主动仪表控制器）。它用于增加泵和控制器之间的距离。该延长电缆两端都有 D-Sub 15 针连接器，一公一母。 Edwards nEXT 涡轮泵具有永久连接的 0.3m 长电源和通信电缆。此 2 米延长电缆将泵到控制器电缆的总长度增加至 2.3 米。此 2 米长的延长电源和通信电缆的 Edwards 部件号为 D39700836。此 Edwards 延长电源和通信电缆与 TIC 或 TAG 控制器以及这些 nEXT 泵兼容： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 扩展电源和通信电缆将 TIC 或 TAG 控制器连接到任何 nEXT 涡轮泵、D-Sub 15 针、5 m 长。爱德华兹零件编号：D39700837。这款 Edwards 5m 长延长电源和通信电缆连接任何 nEXT 涡轮泵和 TIC（涡轮仪器控制器）或 TAG（涡轮和主动仪表控制器）。它用于增加泵和控制器之间的距离。该延长线两端都有 D-Sub 15 针连接器，一个公头，一个母头。 Edwards nEXT 涡轮泵具有永久连接的 0.3m 长电源和通信电缆。该 5 米延长电缆将泵到控制器电缆的总长度增加至 5.3 米。该 5 米长的延长电源和通信电缆的 Edwards 部件号为 D39700837。此 Edwards 延长电源和通信电缆与 TIC 或 TAG 控制器以及这些 nEXT 泵兼容： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 逻辑接口电缆，连接 TIC 控制器和 TIC 继电器盒，25 针 D-Sub，2 m 长。爱德华兹零件编号：D39700833。此 Edwards 逻辑接口电缆可互连 TIC Turbo 仪器控制器和 TIC 继电器盒。该公对母 25 针 D-Sub 电缆长 2 米。它允许 TIC 控制前级泵、进气法兰加热器带（烘烤带）和隔离阀的供电。该逻辑接口电缆的 Edwards 部件号为 D39700833。此逻辑接口电缆兼容： TIC Turbo 仪器控制器（P106075、P105874、P106074、P106128） TIC 继电器盒 (P106081) TIC Turbo 仪器控制器和 TIC 继电器盒与以下涡轮泵兼容： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TIC 继电器盒，允许 TIC 控制前级泵、法兰加热器带和隔离阀，无设定点。爱德华兹零件编号：D39711805。该 Edwards TIC 继电器盒充当 TIC 控制器与主前级泵、涡轮泵法兰加热器带和后级管线隔离阀之间的控制接口。该继电器盒没有任何设定点继电器。继电器盒可用于安装在 TIC 控制器旁边的台式或机架上。 TIC 继电器盒通过 25 针 D-Sub 逻辑接口电缆（部件号 P1012534）连接到 TIC Turbo 仪器控制器。继电器盒可接受 100-240 VAC 的输入电源。 Edwards 输入（电源）电源线（部件号 P106129）单独出售。为前级泵供电的最大额定值为 240 VAC@10A，为加热器（烘烤）带供电的最大额定值为 240 VAC@1A。前级泵和加热器带连接均单独装有保险丝。请注意，前级泵和加热器带的额定电压必须与提供给继电器盒的输入电压相同。隔离阀控制的最大额定值为 24 VDC@0.5A，并且只要前级泵运行就会通电。此 Edwards 继电器盒的部件号为 D39711805。 TIC 继电器盒和 TIC Turbo 仪器控制器与以下涡轮泵兼容： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards ACX85 组合轴向/径向强制空气冷却套件，适用于 nEXT85D 涡轮泵。爱德华兹零件编号：B8G200820。 Edwards ACX85 强制风冷套件专为需要强制风冷或水冷的 nEXT85D 系列涡轮泵而设计。 ACX85 强制风冷套件专为 nEXT85D 涡轮泵而设计。该套件可以轴向或径向安装，并配有一根 0.3 米长的电源线，其端接有附件端口连接器。风扇插入泵的附件端口并由泵供电。该套件包括以任一方向安装风扇所需的所有硬件。轴向安装时，风扇装置安装在泵的底部，并提供与泵轴共线的强制气流。当径向安装时，风扇装置安装在泵的侧面，并提供垂直于泵的强制气流。此 Edwards 组合轴向/径向强制风冷套件的部件号为 B8G200820。该组合轴流式/径流式风扇套件适用于： nEXT85D 涡轮泵

适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards WCX85 水冷却套件。爱德华兹零件编号：B8G200833。该 Edwards 水冷却装置适合 nEXT85D 涡轮泵。它通过两个随附的螺栓连接到泵的侧面。该水冷块具有用于供应和排放软管（6 毫米外径塑料软管）的推入式连接器。软管连接可以拧松并拆下，以使用集成的 G 1/8” 螺纹。当使用带有 CF 法兰泵的法兰加热器带时，需要该水冷套件。当气体吞吐量较高、循环运行和/或环境温度较高时，Edwards nEXT85D 泵还可受益于水冷却。为了确保长期无故障运行，冷却水必须清洁且不含任何油、油脂或悬浮固体。该水冷套件的 Edwards 部件号为 B8G200833。该水冷装置适用于：nEXT85D 涡轮泵

Edwards 进气法兰加热器带，CF 4.5 英寸，DN 63 CF，110 VAC，适用于 nEXT85D 涡轮泵。爱德华兹零件编号：B8G200823。这是一款 110 VAC Edwards 进气法兰加热器，适用于带 CF 4.5 英寸法兰 (DN 63 CF) 的 nEXT85D 涡轮泵。该加热带只能用于配备水冷或强制风冷的 CF 法兰泵。如果涡轮泵采用水冷，则进气法兰可烘烤至 120 °C；如果涡轮泵采用风扇冷却，则可烘烤至 115 °C。该法兰加热器（烘烤带）可加速泵的脱气，使其能够实现较低的压力。它还可用于保护泵免受污染物凝结的影响。带状加热器附有一条电源线，其端接为 C19 电源输入插头（公头 C19）。这款 Edwards 进气烘烤法兰加热器带的零件号为 800137V0004。我们建议使用理想真空 PID 即插即用加热器控制器（部件号 P107361）。加热带电源线将直接插入其中。控制器的输入电压必须与加热器的输入电压相同。 P107361 控制器包括带有 5-20P (20A) 插头的 115 VAC 输入电源线。加热器带规格： 适合：nEXT85D 涡轮泵，带 CF 4.5 英寸法兰 (P109212) 和冷却选件（必需） 水冷选项：P1012512 强制风冷选项：P109582 加热器带电压：110 VAC 推荐控制器：理想真空 P107361 (115 VAC)含 5-20P 插头电源线）

Edwards 法兰加热器带，CF 4.5"，DN 63 CF，240 VAC，适用于 nEXT85D 涡轮泵。Edwards 零件号：B8G200824。这是一款 240 VAC Edwards 进气法兰加热器，适用于带 CF 4.5 英寸法兰的 nEXT85D 涡轮泵（DN 63 CF ). 该加热带只能用于配有水冷或强制风冷的 CF 法兰泵。如果涡轮泵是水冷的，则进气法兰可烘烤至 120 °C；如果涡轮泵是水冷的，则进气法兰可烘烤至 115 °C风扇冷却。该法兰加热器（烘烤带）可加速泵的脱气，使其能够达到较低的压力。它也可用于保护泵免受污染物凝结。带式加热器配有一根带有 C19 端接的电源线电源输入插头（公头 C19）。此 Edwards 进气烘烤法兰加热器带的零件号为 B8G200824。我们建议使用 Ideal Vacuum PID 即插即用加热器控制器（零件号 P107361）。加热器带电源线将直接插入其中。我们的P107361 控制器可在 100-240 VAC 下运行。控制器的输入电压必须与加热器的输入电压相同。要与 240 伏应用一起使用，您必须提供自己的电源线。加热器带规格： 适合：nEXT85D 涡轮泵，带 CF 4.5 英寸法兰 (P109212) 和冷却选件（必需） 水冷选项：P1012512 强制风冷选项：P109582 加热器带电压：240 VAC 推荐控制器：理想真空 P107361（需要客户提供的电源线）

适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 油筒套件。爱德华兹零件编号：B8G200828。这是适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 替换油盒。它为泵底部的轴承提供润滑。油盒可现场更换。拆下泵底部的四个 M4 圆头螺钉即可接触到油盒。下载维修工具包手册并按照说明更换油盒。此 Edwards 油盒的零件号为 B8G200828。建议同时更换油盒和轴承。轴承和油盒（部件号 P1012516）可由任何经过 Edwards 培训的服务工程师进行现场维修，并且需要 Edwards 轴承更换工具套件（部件号 P1012517）。请遵守泵手册中规定的维护间隔。该油盒适用于： 适用于：nEXT85D 涡轮泵

适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 轴承和油盒套件。爱德华兹零件编号：B8G200811。这是适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 替换轴承和油盒套件。轴承和油盒通常同时更换，并且可由 Edwards 培训的任何服务工程师进行现场维修。更换油盒不需要任何特殊工具。然而，更换轴承需要专门的 Edwards 轴承更换工具套件（零件号 P1012517）。请遵循泵手册中指定的维护间隔以及维护手册中的安装说明。此 Edwards 轴承和油盒套件的零件号为 B8G200811。该轴承和油盒套件适用于： 适用于：nEXT85D 涡轮泵

适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 轴承工具套件。爱德华兹零件编号：B8G200845。这是适用于 nEXT85D 涡轮泵的 Edwards 轴承更换工具套件。需要使用该工具套件来拆卸和更换泵底座的轴承（轴承和油盒套件部件号 P1012516）。请遵循泵手册中指定的维护间隔以及维护手册中的安装说明。此 Edwards 轴承更换工具套件的部件号为 B8G200845。该轴承更换工具套件用于： nEXT85D 涡轮泵

Edwards 附件 Y 连接器，用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵附件。爱德华兹零件编号：B8G200837。此 Edwards 附件 Y 连接器连接到 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵上的附件端口，并允许同时连接两个附件。两个设备并行切换（即断电活动/非活动）。泵的附件接口可立即准备好与连接的设备一起运行（泵打开时通电）。辅助设备，例如空气冷却装置、通风或净化阀以及继电器，可以通过附件连接直接通电和激活。请注意，此 Y 连接器不能用于 nEXT 240D、nEXT300D 或 nEXT400D 泵，这些泵具有 3 针 Phoenix 连接器插座而不是 4 针附件端口。此 Y 连接器的 Edwards 部件号为 B8G200837。 Edwards 附件 Y 连接器兼容： nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 附件延长电缆，适用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵附件，0.2 m 长。爱德华兹零件号：B8G200836。此 Edwards 附件延长电缆连接到 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵上的附件端口或附件 Y 连接器（部件号 P1012518）。它将附件到泵的距离延长了 0.2 米。该电缆具有 1 个直型母连接器和 1 个直角公连接器，适用于空间有限的安装。空气冷却装置、通风或净化阀以及继电器等设备可以通过附件连接直接通电和激活。请注意，此 Y 连接器不能用于具有 3 针 Phoenix 连接器插座的 nEXT 240D、nEXT300D 或 nEXT400D 泵。该附件延长线的 Edwards 部件号为 B8G200836。 Edwards 附件延长线兼容： nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 配件延长电缆，带裸线端，适用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵配件，长 1.5 m。爱德华兹零件编号：B8G200839。此 Edwards 附件延长电缆连接到 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵附件端口或附件 Y 连接器（部件号 P1012518）的一端。电缆的另一端没有裸线端接。该电缆将附件与泵的距离延长了 1.5 米，并且可以使用未预先连接配套附件插头的附件。空气冷却装置、通风或净化阀以及继电器等设备可以通过附件连接直接通电和激活。请注意，此 Y 连接器不能用于 nEXT 240D、nEXT300D 或 nEXT400D 泵，这些泵具有 3 针 Phoenix 连接器插座而不是 4 针附件端口。该附件延长电缆（公附件连接器至裸线）的 Edwards 部件号为 B8G200839。 Edwards 附件延长电缆（附件连接器至裸线）兼容： nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 通风阀，附件连接器，适用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵，24 VDC，常开 (NO)，G 1/8 英寸接头。爱德华兹零件编号：B8G200834。这款 Edwards TAV5 排气阀可用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵。这是一个常开 (NO) 阀，工作电压为 24 VDC。该 TAV5 电磁阀配有 0.3 米长的电源线，端接用于连接到泵的附件端口的附件连接器，并具有用于连接到泵的排气口的 G 1/8" (BSPP) 接头。该阀配置为由泵的板载控制器驱动。该常开阀可用作断电排气阀。当发生断电时，该阀关闭并对泵和前级真空管路进行排气，从而防止油蒸气从泵中扩散回来。对于具有 3 针 Phoenix 连接器插座而不是 4 针附件端口的 nEXT 240D、nEXT300D 或 nEXT400D 泵，请使用零件号为 P105358 的 TAV5 阀门。TAV5 排气阀具有 0.5mm 直径的孔口，适用于排气 <5 升的小型真空系统（对于较大的系统容量，请使用孔口为 1.0mm 的 TAV6 排气阀，零件号 P106355）。TAV5 排气阀可以替代涡轮泵随附的手动排气阀，或可以安装到涡轮分子泵上游真空系统上的任何其他合适的端口。该阀门配有一根 0.3 米长的电源线，端接一个附件连接器、一个烧结青铜入口过滤器、一个用于连接干燥氮气源的波纹软管连接器，以及一个用于可选直接连接到真空系统的 DN10NW 适配器。此 TAV5 常开 (NO) 电磁排气阀的 Edwards 零件号为 B8G200834。该 TAV5 常开排气阀适用于： nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 吹扫排气阀套件，24 VDC，带 3m 长无端接电线，适用于任何带 BSP 1/8 英寸接头的 nEXT 涡轮泵。爱德华兹零件编号：B58066020。该 Edwards TAV6 排气阀可安装在任何 nEXT85D、240D、300D、400D、730D、930D 或 1230H 系列涡轮泵中。该阀在 24 VDC 下运行，配有 3 米长的无端接（裸线）端电源线，并具有 BSP 1/8" 接头，用于连接到泵的排气口。该阀可由泵的附件供电端口（nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 或 nEXT1230H）或 nEXT240D、nEXT300D 或 nEXT400D 泵上的 3 针 Phoenix 连接器插座（匹配的 Phoenix 插头随泵提供）。该阀也可以直接连接到 TIC 控制器，或单独的 24 VDC 电源。要与 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 或 nEXT1230H 涡轮泵一起使用，需要附件延长电缆（部件号 P1012520），该电缆一端有附件连接器，另一端无端接。该常开阀可用作断电排气阀。当发生电源故障时，该阀门关闭泵和前级真空管路并进行排气，从而防止油蒸气从前级真空管路扩散回来。.TAV6 排气阀具有1.0 毫米直径孔口，适用于大于 5 升的真空系统排气。对于小于 5 升的较小容量真空系统，请使用孔口为 0.5 毫米的 TAV5 排气阀（部件号 P105358）。 TAV6 排气阀可以取代涡轮泵随附的手动排气阀，或者安装到涡轮分子泵上游真空系统上的任何其他合适的端口中。该阀门配有 3 米长的无端接电缆、烧结青铜入口过滤器、用于连接干燥氮气源的波纹软管连接器以及用于可选直接连接到真空系统的 DN10NW 适配器。此 TAV6 排气阀配有无端接电源线，Edwards 部件号为 B58066020。带裸线电缆的 TAV6 排气阀适用于以下涡轮泵： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards TAV5 通风阀，附件连接器，适用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵，24 VDC，常闭 (NC)，G 1/8 英寸接头。爱德华兹零件编号：B8G200835。这款 Edwards TAV5 排气阀可用于 nEXT85D、nEXT730D、nEXT930D 和 nEXT1230H 涡轮泵。这是一个常闭 (NC) 阀门，工作电压为 24 VDC。该 TAV5 电磁阀配有 0.3 米长的电源线，端接用于连接到泵的附件端口的附件连接器，并具有用于连接到泵的排气口的 G 1/8" (BSPP) 接头。该阀配置为由泵的板载控制器驱动。该阀不能用于 nEXT 240D、nEXT300D 或 nEXT400D 泵，这些泵具有 3 针 Phoenix 连接器插座而不是 4 针附件端口。TAV5 排气阀具有 0.5mm 直径的孔口，并且适用于 <5 升的小型真空系统的排气（对于较大的系统容量，请使用孔口为 1.0mm 的 TAV6 排气阀，零件号 P106355）。TAV5 排气阀可以替代涡轮泵随附的手动排气阀, 或安装到涡轮分子泵上游真空系统上的任何其他合适的端口。该阀门配有一根 0.3 米长的电源线，末端配有附件连接器、烧结青铜入口过滤器、用于连接到干燥氮气供应，以及一个 DN10NW 适配器，用于可选地直接连接到真空系统。此 TAV5 常闭 (NC) 电磁排气阀的 Edwards 零件号为 B8G200835。该 TAV5 常闭排气阀适用于： nEXT85D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards 排气或吹扫端口适配器，G 1/8 英寸至 KF10，适用于任何 nEXT 涡轮泵。 Edwards 零件号：B58066011 此 Edwards 排气或吹扫端口适配器用于将任何 nEXT 涡轮泵上的 G 1/8 英寸 (BSPP) 内螺纹排气或吹扫端口转换为 KF10 NW10 法兰。然后可以将 TAV5 或 TAV6 阀的替代排气阀或排气或吹扫管道安装到该法兰上。该排气口适配器配有限流器（当用于排气口时）和用于将适配器密封到泵上的 O 形圈。当用于吹扫端口时，使用 PRX10 吹扫限流器（部件号 P1012056）来限制吹扫气体流速。该适配器的 Edwards 部件号为 B58066011。此 Edwards 排气口适配器适用于以下涡轮泵： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H

Edwards PRX10 吹扫限流器适用于任何 nEXT 系列涡轮泵。 Edwards 零件号：B58065001 此 Edwards 吹扫气体限流器可设置通过任何 nEXT 涡轮泵吹扫端口的干燥吹扫气体的流速。使用惰性吹扫气体来保护轴承和电机免受腐蚀。为了使用该净化限流器，必须使用排气口适配器（零件号 P106356）将 G 1/8" (BSPP) 净化口适配到 KF10 NW10 法兰。PRX10 净化限流器是一种特殊的 KF10 定心环，带有内置过滤器和限流器。提供的吹扫限流器经过调节，可在 25 sccm 的供给压力下限制干燥氮气的流量。可以增加供给压力以增加流量。请参阅附件下载有关校准净化限流器的附加信息。该 Edwards PRX10 净化限流器的部件号为 B58065001。该 Edwards PRX10 净化限流器适用于以下涡轮泵（带 P106356 通风适配器）： nEXT85D nEXT240D nEXT300D nEXT400D nEXT730D nEXT930D nEXT1230H