Agilent Varian 531 Thermoelement-Vakuum-Druckmessrohr-Sensor, KF16, SS, PN F0472315

Der Thermoelement-Messrohrsensor Varian 531 bietet eine kontinuierliche und genaue Anzeige des Gesamtdrucks von 1 x 10-3 Torr bis 2,0 Torr (1X10-3 mbar bis 2,7 mbar). Entwickelt, um robuste Zuverlässigkeit und herausragende Leistung für die Schrupp- und Vordruckmessung zu kombinieren. Die Thermoelement-Vakuummessgeräte Varian 531 sind kostengünstige Druckmesssensoren. Die Varian 531 Thermoelement-Röhrensensoren bieten eine hohe Vibrationsfestigkeit. Dieses Modell ist aus Edelstahl und lasergeschweißt. Varian-Teilenummer F0472315.

Thermoelement-Vakuumdruckmessgeräte, von Wikipedia.org
Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte basieren auf der Tatsache, dass die Fähigkeit eines Gases, Wärme zu leiten, mit dem Druck abnimmt. Bei dieser Art von Messgerät wird ein Drahtfaden erhitzt, indem Strom durch ihn fließt. Anschließend kann ein Thermoelement oder ein Widerstandstemperaturdetektor (RTD) verwendet werden, um die Temperatur des Filaments zu messen. Diese Temperatur hängt von der Geschwindigkeit ab, mit der das Filament Wärme an das umgebende Gas abgibt, und damit von der Wärmeleitfähigkeit. Eine gängige Variante ist das Pirani-Messgerät, bei dem ein einzelner Platinfaden sowohl als beheiztes Element als auch als RTD verwendet wird. Diese Messgeräte haben eine Genauigkeit von 20 Torr bis 10-3 Torr (abhängig vom Modell des gekauften Sensors und Controllers). Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der zu messenden Gase und werden als Relativdruck-Messverfahren bezeichnet, d. h. sie ermitteln den Druck indirekt aus der Wärmeleitfähigkeit des Gasmediums.