Agilent Varian Titanium Sublimationspumpen (TSP) Filament 2,75 Zoll Conflat-Flansch. PN 9160050

Die TSP-Kartusche wird auf einem ConFlat-Flansch mit 2-3/4 Zoll Außendurchmesser geliefert und enthält drei Titan-Molybdän-Filamente mit jeweils 1,1 Gramm verwendbarem Titan. Die Kartuschenbaugruppe ist bis maximal 400° C ausheizbar. Titansublimationspumpen (TSPs) werden typischerweise als wirksames Mittel zum Pumpen von geterbaren Gasen wie Wasserstoff und Stickstoff in UHV-Systemen eingesetzt. TSPs werden häufig mit Ionenpumpen kombiniert, da die Ionenpumpe bei nicht getterbaren UHV-Gasen wie Argon und Methan wirksam ist. Der TSP kann im Inneren der Ionenpumpe oder als separate Pumpeinheit hinzugefügt werden. Wenn der TSP in Verbindung mit einem mit flüssigem Stickstoff gekühlten Kryopanel verwendet wird, wird eine besonders hohe Wasserpumpgeschwindigkeit erreicht.

Varian bietet zwei verschiedene Arten von Titan-Sublimationspumpen an: Filament- und Titan-Kugelquellen. TSP-Quellen vom Filamenttyp sind bei UHV-Systemen am beliebtesten, da sie zwischen den Sublimationen ausgeschaltet werden können und somit keine thermisch induzierte Ausgasung verursachen. Die kugelförmigen Quellen enthalten größere Mengen Titan, was eine längere Lebensdauer bedeutet, wenn sie unter Bedingungen betrieben werden, die mehr Titan verbrauchen, beispielsweise bei höheren Betriebsdrücken. Allerdings benötigen die Kugelquellen zwischen den Sublimationen einen Standby-Strom, um die Bildung von Rissen in der Titankugel zu verhindern. Zu den Faktoren, die die Effizienz der Titansublimationspumpe beeinflussen, gehören die Sublimationsrate, die Frequenz, die Oberfläche und die Temperatur. Die Pumpgeschwindigkeit der Sublimation liegt im Allgemeinen bei einem konstanten Wert unter 10 ^-7 mbar.