Atomic Layer Deposition (ALD) Flüssigvorläufer-Dampfabgabe-Zylindersystem, 304L-Edelstahl, DOT-3E-1800 150-cm3-Zylinder

Die kontrollierte Abgabe von Gasphasendampf aus einem flüssigen Vorläufer ist in den Prozessen der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), der metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und der Atomlagenabscheidung (ALD) erforderlich. Diese Flüssigdampf-Gasabgabeflaschen enthalten einen integrierten Bubbler, der dazu beiträgt, den Vorläuferdampf in einem Puffergasstrom einzudämmen. Diese Dampfabgabezylinder bestehen aus chemikalienbeständigem Edelstahl 316 und verfügen über Kugelhähne mit Vierteldrehung am Einlass und Auslass. Der Zylinder ist für einen Druck von bis zu 1800 PSI (bei 37 °C) ausgelegt.

Der maximale Druckwert des Zylinders variiert je nach Temperatur. Beaufschlagen Sie die Flaschen NICHT mit einem Druck, der ihre jeweiligen Temperaturgrenzen überschreitet

Die Strömungsrichtung ist auf jedem Ventil aufgedruckt. Wenn Puffergas in der richtigen Richtung zum Abscheidungsprozess geleitet wird, bilden sich am Boden des Zylinders Blasen, die durch die Vorläuferflüssigkeit aufsteigen. Dies ermöglicht einen konstanten, gleichmäßigen Fluss von verdünntem Vorläuferdampf im Puffergas, bei dem es sich typischerweise um Helium, Neon oder Argon handelt. Diese Gasflaschen für die Dampfzufuhr des flüssigen Vorläufers können beheizt oder kalt sein, um den Dampfdruck und die Konzentration des Vorläufers zu steuern. Dadurch kann eine genaue Durchflusskonzentration erzeugt werden.

Bei den Einlass- und Auslassventilen handelt es sich um ¼-Zoll-Swagelok®-Kugelhähne, die nicht für pyrophore Flüssigkeiten geeignet sind. Für die ALD-Anwendung mit hochentzündlichen pyrophoren Flüssigkeiten sind unsere Förderzylinder für mehr Sicherheit mit Membranventilen ausgestattet und können mit pyrophoren Flüssigkeiten wie Trimethylaluminium (TMA), Triethylaluminium (TEA), Diethylzink (DEZn) und Trimethylgallium verwendet werden (TMGa).