Edwards Novellus C3 Micro TIM-Modul
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Novellus C3 Micro TIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu Novellus C3-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Novellus C3 Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das Novellus C3 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel.
- EPX-Serie
- iGX-Serie
- GX-Serie
- iXH-Serie
- iXL-Serie
- Auch für den Einsatz in Mehrpumpensystemen mit Systemcontroller geeignet.
Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden.
Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.