Ideal Vacuum 3-Positionen-UHV-Schieber mit pneumatischer Betätigung, gedrosselte 3. Position, mit Magnetspule und Reed-Sensoren, 24 VDC, CF 10,0 Zoll (DN CF200)-Flansch, Viton-O-Ring-Standarddichtung, 1x10-10 mbar, SUS304-Gehäuse, 50.000 Zyklen CF 10,0 Zoll Anschraubflansch mit 5/16-24 UNF-Gewinde Dieser Ideal Vacuum 3-Positionen-Drosselschieber wird pneumatisch mit einem Conflat CF 10,0 Zoll (DN CF200)-Flansch betätigt. Er hat eine 3. Position, die auf teilweise Öffnung eingestellt werden kann. Er ist für Ultrahochvakuum (UHV) ausgelegt und wird mit einer Standard-Viton-O-Ring-Dichtung für den Schieber und einem Viton-O-Ring oder einer OFHC-Kupferdichtung für die Haube mit einem pneumatisch gesteuerten Magnetventil geliefert. Die Ventile haben eine typische Lebensdauer von 50.000 Zyklen, bevor sie gewartet werden müssen. Sie sind mit korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus rostfreiem Stahl 304 ausgestattet. Diese 3-Positionen-Steuerung bietet Flexibilität und Präzision bei der Aufrechterhaltung optimaler Bedingungen für verschiedene Vakuumabscheidungsprozesse, insbesondere in Prozesskammersystemen für Dünnschichtabscheidung. Anwendung in Beschichtungskammern für physikalische Gasphasenabscheidung Dieses 3-Positionen-Schieberventil ist für zuverlässige Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen (UHV) konzipiert und wird häufig in Kombination mit Kryo-, Turbo- und Ionenhochvakuumpumpen verwendet. Es wird zunehmend in gedrosselten Vakuumprozessen wie PVD-Magnetronsputtern eingesetzt. In einer PVD-Beschichtungskammer, wie beispielsweise in Sputtersystemen, wird häufig ein 3-Positionen-Schieberventil verwendet, um die Verbindung zwischen der Turbomolekularpumpe und der Hauptprozesskammer zu steuern. Diese Schieberventile ermöglichen eine präzise Steuerung des Vakuumsystems und können die Pumpe isolieren, die Kammer schützen und die Pumpgeschwindigkeit anpassen. Die drei Positionen eines typischen 3-Positionen-Schieberventils sind:1. Vollständig geöffnete Position: Maximale Leitfähigkeit, volle Turbopumpgeschwindigkeit, wird für die anfängliche Evakuierung oder zum Aufrechterhalten eines Hochvakuums während der Abscheidung verwendet.2. Teilweise geöffnet (Drosselstellung): Zweck: In der teilweise geöffneten Stellung ist das Absperrventil nur teilweise geöffnet, wodurch die Leitfähigkeit zwischen der Kammer und der Turbopumpe gedrosselt wird. Die Drosselung ist wichtig, wenn mit reaktiven Gasen gearbeitet wird (z. B. Sauerstoff oder Stickstoff beim reaktiven Sputtern) oder wenn Sie den Druck für optimales Filmwachstum feinabstimmen müssen. Diese teilweise geöffnete Stellung wird während der Installation einmal manuell eingestellt und angepasst und kann jederzeit geändert werden, um andere Prozessbedingungen auszuführen. 3. Vollständig geschlossene Stellung: Zweck: In der vollständig geschlossenen Stellung isoliert das Absperrventil die Turbopumpe vollständig von der Hauptkammer. Anwendungsfall: Diese Stellung dient zum Schutz der Turbopumpe während Prozessen wie Kammerentlüftung, Probenbeladung der Schleusenkammer oder wenn die Kammer atmosphärischem Druck ausgesetzt wird. Sie verhindert, dass Verunreinigungen oder atmosphärische Luft in die Turbopumpe gelangen und diese beschädigen könnten. Spezifikationen: Spezifikationen und Funktionen: Material Körper SUS304 Schlitten Verbindungstyp - SUS304 Kugeltyp Größe unter 10” - SUS304 Kugeltyp Größe über 10” (einschließlich) - SUS304, A6061-T6 Tor Verbindungstyp - SUS304 Kugeltyp Größe unter 10” - SUS304 Kugeltyp Größe über 10” (einschließlich) - A6061-T6 Balg AM350 Lebensdauer HV: DN200 - 300.000 Zyklen UHV: DN200 - 50.000 Zyklen Heliumleckraten bei 1 atm Differenz <2×10-9 mbar·l /sec für O-Ring <5×10-10 mbar·l /sec für Dichtungsring Backtemperatur Offen - 200 °C Viton-Deckeldichtung Geschlossen - 150 °C Viton-Deckeldichtung Druckbereich (mbar) HV: 1 x 10-8 ~ 1000 UHV: 1 x 10-10 ~ 1000 Maximales Delta P (mbar) < 30 vor dem Öffnen Standarddichtung Schieber – O-Ring aus Viton Deckel – O-Ring aus Viton oder OFHC-Kupferdichtung Antrieb – pneumatisch Druckluftversorgung Schlauchanschluss – 6 mm Druckbereich – 4–6 kg/cm² (Überdruck) Oberflächenbehandlung – Scotch-poliert Optionen Stellungsanzeiger Pneumatisches Steuerungsmagnetventil Vorbohranschluss Anderes Material O-Ring-Dichtung des Schiebers Weitere Informationen zu diesem Schieber und anderen verwandten Ventilkonfigurationen finden Sie in den Downloads.

Ideal Vacuum 3-Positionen-HV-Schieber mit pneumatischer Betätigung, gedrosselte 3. Position, mit Magnetspule und Reed-Sensoren, 24 VDC, ISO-F 200 (DN 200)-Flansch, Viton-O-Ring-Standarddichtung, 1 x 10-8 Torr, SUS304-Gehäuse, 300.000 Zyklen. Dieser Ideal Vacuum 3-Positionen-Drossel-Schieber wird pneumatisch mit einem ISO-F 200 (DN CF200)-Flansch betätigt. Er verfügt über eine 3. Position, die auf teilweise Öffnung eingestellt werden kann. Er ist für Hochvakuum (HV) ausgelegt und wird mit einer Standard-O-Ring-Dichtung aus Viton für den Schieber und einem O-Ring aus Viton oder einer OFHC-Kupferdichtung für die Haube mit einem pneumatisch gesteuerten Magnetventil geliefert. Dieser ISO-F-Flansch-Schieber verwendet O-Ringe aus Viton für die Faltenbälge und Haubenplattendichtungen und ist daher auf Hochvakuumanwendungen (HV) mit Enddrücken bis zu 1 x 10-8 Torr beschränkt. Die Ventile haben eine typische Lebensdauer von 300.000 Zyklen, bevor sie gewartet werden müssen. Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304. Diese 3-Positionen-Steuerung bietet Flexibilität und Präzision bei der Aufrechterhaltung optimaler Bedingungen für verschiedene Vakuumabscheidungsprozesse, insbesondere in Prozesskammersystemen für die Abscheidung dünner Filme. Anwendung in Beschichtungskammern für physikalische Gasphasenabscheidung Dieses 3-Positionen-Schieberventil ist für zuverlässige Hochvakuumanwendungen konzipiert und wird oft in Kombination mit Kryo-, Turbo- und Ionen-Hochvakuumpumpen verwendet. Es wird zunehmend in gedrosselten Vakuumprozessen wie der PVD-Magnetronsputtern-Abscheidung verwendet. In einer PVD-Beschichtungskammer, beispielsweise in Sputtersystemen, wird oft ein 3-Positionen-Schieberventil verwendet, um die Verbindung zwischen der Turbomolekularpumpe und der Hauptprozesskammer zu steuern. Diese Schieberventile ermöglichen eine präzise Steuerung des Vakuumsystems und können die Pumpe isolieren, die Kammer schützen und die Pumpgeschwindigkeit anpassen. Die drei Positionen eines typischen 3-Positionen-Schieberventils sind: 1. Vollständig geöffnete Position: Maximale Leitfähigkeit, volle Turbopumpgeschwindigkeit, wird für die anfängliche Evakuierung oder zum Aufrechterhalten eines Hochvakuums während der Abscheidung verwendet.2. Teilweise geöffnet (Drosselposition): Zweck: In der teilweise geöffneten Position ist das Absperrventil nur teilweise geöffnet, wodurch die Leitfähigkeit zwischen der Kammer und der Turbopumpe gedrosselt wird.Die Drosselung ist wichtig, wenn mit reaktiven Gasen gearbeitet wird (z. B. Sauerstoff oder Stickstoff beim reaktiven Sputtern) oder wenn Sie den Druck für optimales Filmwachstum feinabstimmen müssen. Diese teilweise geöffnete Position wird einmal während der Installation manuell eingestellt und angepasst und kann jederzeit geändert werden, um einen anderen Prozesszustand auszuführen. 3. Vollständig geschlossene Position: Zweck: In der vollständig geschlossenen Position isoliert das Absperrventil die Turbopumpe vollständig von der Hauptkammer. Anwendungsfall: Diese Position wird verwendet, um die Turbopumpe während Prozessen wie Kammerentlüftung, Probenbeladung der Schleusenkammer oder wenn die Kammer atmosphärischem Druck ausgesetzt wird, zu schützen. Sie verhindert, dass Verunreinigungen oder atmosphärische Luft in die Turbopumpe gelangen, die sie beschädigen könnten. Spezifikationen: Spezifikationen und Funktionen: Material Körper SUS304 Schlitten Verbindungstyp - SUS304 Kugeltyp Größe unter 10” - SUS304 Kugeltyp Größe über 10” (einschließlich) - SUS304, A6061-T6 Tor Verbindungstyp - SUS304 Kugeltyp Größe unter 10” - SUS304 Kugeltyp Größe über 10” (einschließlich) - A6061-T6 Balg AM350 Lebensdauer HV: DN200 - 300.000 Zyklen UHV: DN200 - 50.000 Zyklen Heliumleckraten bei 1 atm Differenz <2×10-9 mbar·l /sec für O-Ring <5×10-10 mbar·l /sec für Dichtungsring Backtemperatur Offen - 200 °C Viton-Deckeldichtung Geschlossen - 150 °C Viton-Deckeldichtung Druckbereich (mbar) HV: 1 x 10-8 ~ 1000 UHV: 1 x 10-10 ~ 1000 Maximales Delta P (mbar) < 30 vor dem Öffnen Standarddichtung Schieber – O-Ring aus Viton Verschlussdeckel – O-Ring aus Viton oder OFHC-Kupferdichtung Antrieb – pneumatisch Druckluftversorgung Schlauchanschluss – 6 mm Druckbereich – 4–6 kg/cm² (Überdruck) Oberflächenbehandlung – Scotch-poliert Optionen Stellungsanzeiger Pneumatisches Steuerungsmagnetventil Vorbohranschluss Anderes Material O-Ring-Dichtung des Schiebers Weitere Informationen zu diesem Schieber und anderen verwandten Ventilkonfigurationen finden Sie in den Downloads.