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Pneumatisch betätigtes 3-Positionen-HV-Schieberventil von Ideal Vacuum, ISO-F 200-Flansch, (DN 200), gedrosselte 3. Position, mit Magnetspule und Reed-Sensoren, 24 VDC, Viton-O-Ring-Standarddichtung, SUS304-Gehäuse

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Pneumatisch betätigtes 3-Positionen-HV-Schieberventil von Ideal Vacuum, ISO-F 200-Flansch, (DN 200), gedrosselte 3. Position, mit Magnetspule und Reed-Sensoren, 24 VDC, Viton-O-Ring-Standarddichtung, SUS304-Gehäuse

Zustand:

Neu

Artikelnummer:

P1013699

Garantie:

Against Product Defect

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Beschreibung

Ideal Vacuum 3-Positionen-HV-Schieber mit pneumatischer Betätigung, gedrosselte 3. Position, mit Magnetspule und Reed-Sensoren, 24 VDC, ISO-F 200 (DN 200)-Flansch, Viton-O-Ring-Standarddichtung, 1 x 10 ^-8 Torr, SUS304-Gehäuse, 300.000 Zyklen

Dieses Drosselschieberventil mit 3 Positionen von Ideal Vacuum wird pneumatisch betrieben und hat einen ISO-F 200 (DN CF200)-Flansch. Es verfügt über eine 3. Position, die auf teilweises Öffnen eingestellt werden kann. Es ist für Hochvakuum (HV) ausgelegt und wird mit einer Standard-O-Ring-Dichtung aus Viton für das Schieberventil und einem O-Ring aus Viton oder einer OFHC-Kupferdichtung für die Haube mit einem pneumatisch gesteuerten Magnetventil geliefert. Dieses ISO-F-Flanschschieberventil verwendet O-Ringe aus Viton für die Faltenbälge und Haubenplattendichtungen und ist daher auf Hochvakuumanwendungen (HV) mit Enddrücken bis zu 1x10 ^-8 Torr beschränkt. Die Ventile haben eine typische Lebensdauer von 300.000 Zyklen, bevor sie gewartet werden müssen. Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304. Diese 3-Positionen-Steuerung bietet Flexibilität und Präzision bei der Aufrechterhaltung optimaler Bedingungen für verschiedene Vakuumabscheidungsprozesse, insbesondere in Prozesskammersystemen für Dünnschichtabscheidung.

Anwendung in Beschichtungskammern für die physikalische Gasphasenabscheidung
Dieses 3-Positionen-Schieberventil ist für zuverlässige Hochvakuumanwendungen konzipiert und wird häufig in Kombination mit Kryo-, Turbo- und Ionen-Hochvakuumpumpen verwendet. Es wird zunehmend in gedrosselten Vakuumprozessen wie PVD-Magnetronsputtern eingesetzt. In einer PVD-Beschichtungskammer, wie beispielsweise in Sputtersystemen, wird häufig ein 3-Positionen-Schieberventil verwendet, um die Verbindung zwischen der Turbomolekularpumpe und der Hauptprozesskammer zu steuern. Diese Schieberventile ermöglichen eine präzise Steuerung des Vakuumsystems und können die Pumpe isolieren, die Kammer schützen und die Pumpgeschwindigkeit anpassen. Die drei Positionen eines typischen 3-Positionen-Schieberventils sind:

1. Vollständig geöffnete Position:
Maximale Leitfähigkeit, volle Turbopumpgeschwindigkeit, wird für die anfängliche Evakuierung oder zum Aufrechterhalten eines Hochvakuums während der Abscheidung verwendet.

2. Teilweise geöffnet (Drosselstellung):
Zweck: In der teilweise geöffneten Position ist das Absperrventil nur teilweise geöffnet, wodurch die Leitfähigkeit zwischen der Kammer und der Turbopumpe gedrosselt wird. Die Drosselung ist wichtig, wenn mit reaktiven Gasen gearbeitet wird (z. B. Sauerstoff oder Stickstoff beim reaktiven Sputtern) oder wenn Sie den Druck für optimales Filmwachstum feinabstimmen müssen.

Diese teilweise geöffnete Position wird während der Installation einmal manuell eingestellt und angepasst und kann jederzeit geändert werden, um andere Prozessbedingungen auszuführen.

3. Vollständig geschlossene Position:
Zweck: In der vollständig geschlossenen Position isoliert das Absperrventil die Turbopumpe vollständig von der Hauptkammer. Anwendungsfall: Diese Position dient zum Schutz der Turbopumpe bei Prozessen wie Kammerentlüftung, Probenbeladung der Schleusenkammer oder wenn die Kammer atmosphärischem Druck ausgesetzt wird. Sie verhindert, dass Verunreinigungen oder atmosphärische Luft in die Turbopumpe gelangen und diese beschädigen könnten.

Spezifikationen:
Spezifikationen und Funktionen: