HALO-Sichtfenster, unbeleuchtet, zerlegbar, ISO-250, LF250, 3/8 Zoll Quarzglas Dieses Ideal Vacuum HALO-Sichtfenster kann in jeder Vakuumkammer mit einem ISO-K LF 250-Anschluss verwendet werden.
Unsere Quarzglasfenster werden aus natürlichem Quarz höchster Qualität hergestellt, was zu den höchsten Reinheitsgraden und den geringsten Einschluss- und Blasenwerten führt. Vergleichbar mit Heraeus TSC-3 haben diese Fenster eine verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Eigenschaften gehören geringe Brechungsindexschwankungen und ein niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für Halbleiteranwendungen wie Plasmaätz- und Abscheidungssysteme verwendet und empfohlen, wenn ein niedriger Alkali- und Aluminiumgehalt angegeben wird. Es wird häufig für durchlässige Optiken im sichtbaren und nahen bis mittleren Infrarotwellenlängenbereich verwendet, bei denen eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas hat Absorptionsbänder im Bereich von 2600 bis 2900 nm, ähnlich wie Quarzglas, aber nicht so stark. Aufgrund der Absorption im Bereich von 270 nm ist es für UV-Arbeiten ungeeignet.
Wir bieten auch HALO-Sichtfensterbaugruppen und Ersatzscheiben mit standardmäßigem gehärtetem Glas mit niedrigem Eisengehalt oder Quarzglas an. Gehärtetes Glas wird häufig zur allgemeinen, direkten Beobachtung von Schrupp- oder Hochvakuumkammerprozessen verwendet und kann zur optischen Ausrichtung von Kammerkomponenten, zur Beobachtung der Entgasung von Flüssigkeiten oder zur Vermittlung von In-Vakuum-Prozessen durch direkte Beobachtung verwendet werden. Das Glasmaterial ist standardmäßiges Floatglas mit niedrigem Eisengehalt. Oberflächenqualität und Ebenheit sind Q4 gemäß ASTM 1036-06 und 1048-04. Der niedrige Eisengehalt des Glases führt zu einem leicht bläulichen Farbton. Dieses kostengünstige Glas ist für Laserexperimente unterhalb sichtbarer oder jenseits der Nahinfrarot-Wellenlängen (NIR) ungeeignet.
Unsere hochreinen Quarzglasfenster werden auf beiden Seiten geschliffen und auf optische Qualität poliert, mit einer Gesamtdickenvariation (TTV) von <10 µm, einer Oberflächengüte von S/D 40/20 und einer Oberflächenrauheit von Ra < 1 nm (vergleichbar mit Corning HPFS 7980). Diese Fenster haben eine deutlich verbesserte Durchlässigkeit und einen größeren nutzbaren Wellenlängenbereich als Standardglas. Zu den Eigenschaften gehören außergewöhnlich geringe Brechungsindexvariationen, niedrige Doppelbrechungswerte und ein extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient. Quarzglas wird für durchlässige Optiken verwendet, bei denen eine hohe Laserzerstörschwelle erforderlich ist. Quarzglas wird für Optiken verwendet, die im tiefen UV-, sichtbaren und nahen Infrarot-Wellenlängenbereich arbeiten.
Beachten Sie, dass der Bestand an Quarzglas begrenzt ist, da Ideal Vacuum auf Quarzglas als Premium-Fensterangebot umstellt. Beachten Sie auch, dass Quarzglasfenster fälschlicherweise mit Quarzglas-Teilenummern gekennzeichnet sein können. Sie können Ihr Fenstermaterial anhand Ihrer Verkaufsrechnung überprüfen.
Unbeleuchtete HALO-Sichtfenster können vor Ort gewartet werden. Fensterscheiben können ausgetauscht oder durch ein anderes Material ersetzt werden, wenn sich die Versuchsanforderungen ändern. Die Transmissionskurven von gehärtetem Glas, Quarzglas und Quarzglas finden Sie in der folgenden Grafik:
![Transmissionskurven von gehärtetem Glas, Quarzglas und Quarzglas](https://www.idealvac.com/files/images/Glass_Quartz_Silica_Transmittance_Graph-FINAL.jpg)
Unbeleuchtete HALO-Sichtfenster sind in den Größen ISO 63, 80, 100, 160, 200 und 250 erhältlich und werden anstelle von blanken ISO-Flanschen verwendet. Wie andere ISO-Anschlüsse verwenden diese ISO-Flanschfenster entweder Einzel- oder Doppelklauenklemmen zusammen mit einem Zentrierring mit O-Ring. Verwenden Sie Doppelklauenklemmen bei ISO-K-zu-ISO-K-Verbindungen. Verwenden Sie Einzelklauenklemmen bei ISO-K-zu-ISO-F-Verbindungen (verschraubt). Die empfohlene Anzahl und Art der Klauenklemmen und des erforderlichen Zentrierrings finden Sie in der folgenden Tabelle:
![Tabelle mit Einzel- und Doppelklauenklemmen und Zentrierringen für Ideal Vacuum HALO-Sichtfenster](https://www.idealvac.com/files/images/HALO-Clamps-n-Rings-Table.jpg)
Unsere ISO-Sichtfenster verwenden ein innovatives Design ohne Metall-Glas-Kontakt, das die 3/8 Zoll dicke Fensterscheibe an einem Edelstahl-Montageflansch hält. Dieses gepolsterte Fenstermontagesystem gewährleistet die Sicherheit des Bedieners und ist selbst bei hohem Vakuumdruck weniger anfällig für Leckagen als andere Sichtfensterkonfigurationen. Ideal Vacuum ISO HALO-Sichtfenster werden komplett montiert geliefert und verwenden O-Ringe aus Viton und Abstandshalter aus Teflon. Ausheiztemperaturen bis 150 °C sind zulässig.
HINWEIS: Alle Sichtfenster oder Sichtfenster sind von Natur aus zerbrechlich, sollten vorsichtig behandelt und vor der Verwendung immer überprüft werden. Sichtfenster von Ideal Vacuum sind NUR für VAKUUM ausgelegt und können bei schnellen Temperaturschwankungen (> 10 °C/min) anfällig für Thermoschocks sein. Wenn Sie einen Laserstrahl durch das Fenster richten, stellen Sie sicher, dass die Wellenlänge des Lasers ausreichend durch das Material des Fensters übertragen werden kann. Bitte laden Sie alle Sicherheitswarnungen im Benutzerhandbuch des HALO-Sichtfensters herunter und lesen Sie sie.