Inficon 350-062 PSG500 Digital Pirani Standard Gauge, CF 1,33, Wolframfilament, keine Sollwerte

Dieses digitale Pirani-Standardmessgerät PSG500 von Inficon verfügt über eine CF 1,33-Flanschmontage, keine Sollwerte und eine Messzelle aus Edelstahl mit Wolframfaden und metallversiegelter Durchführung.

Die Messgeräte der PSG5xx-Serie von Inficon verfügen über ein kompaktes, stromlinienförmiges Design mit einem robusten Aluminiumgehäuse und einer austauschbaren Edelstahl-Sensorzelle, wodurch sie für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie Vorleitungen geeignet sind.

Der Messbereich (Luft, O2, CO, N2) beträgt 5 x 10-4 bis 1000 mbar (3,75 x 10-4 bis 750 Torr). Ein taktiler Schalter für ATM und HV erleichtert die Anpassung.

Messgeräte der PSG500-Serie können in jeder Ausrichtung montiert werden und die logarithmische Signalausgabe über den RJ-45-Anschluss erleichtert die Integration.

Andere Messgeräte der PSG5xx-Serie verfügen über 2 Schaltpunkte und Glühfäden für korrosive Anwendungen.

Die digitalen Pirani-Standardmessgeräte der Inficon PSG5xx-Serie können mit den Manometer-Controllern Inficon VGC501, VGC502 und VGC503 verwendet werden und erfordern ein separates Signalkabel (P104428).