Inficon 350-142 PSG502-S Digitales Pirani-Standardmessgerät, CF-R (CF 1,33), Nickelfilament für korrosive Anwendungen, 2 Sollwerte

Dieses digitale Pirani-Standardmessgerät PSG502-S von Inficon verfügt über eine CF-R-Flanschmontage (CF 1,33), 2 Sollwerte und eine Messzelle aus Edelstahl mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen und eine metallversiegelte Durchführung.

Die Messgeräte der PSG5xx-Serie von Inficon verfügen über ein kompaktes, stromlinienförmiges Design mit einem robusten Aluminiumgehäuse und einer austauschbaren Edelstahl-Sensorzelle, wodurch sie für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie Vorleitungen geeignet sind.

Der Messbereich (Luft, O2, CO, N2) beträgt 5 x 10-4 bis 1000 mbar (3,75 x 10-4 bis 750 Torr). Ein taktiler Schalter für ATM und HV erleichtert die Anpassung.

Messgeräte der PSG500-Serie können in jeder Ausrichtung montiert werden und die logarithmische Signalausgabe über den RJ-45-Anschluss erleichtert die Integration.

Die digitalen Pirani-Standardmessgeräte der Inficon PSG5xx-Serie können mit den Manometer-Controllern Inficon VGC501, VGC502 und VGC503 verwendet werden und erfordern ein separates Signalkabel (P104428).