Edwards GX100L Trockenvakuumpumpe, 62 CFM 200–230 V 50/60 Hz, 3,75 mTorr. Enddruck-Edwards-Teilenummer A54710958 Die GX-Trockenvakuumpumpenserie von Edwards setzt neue Maßstäbe für Wartungsfreiheit zwischen größeren Überholungen. Die verbesserte Effizienz senkt die Betriebskosten und sorgt für einen kontinuierlichen Pumpbetrieb im gesamten Druckbereich. GX-Trockenpumpen verfügen über eine Ethernet-Konnektivität, die die Anzeige wichtiger Daten über Webseiten ermöglicht, sowie über umfassende Netzwerkoptionen, um eine kontinuierliche Pumpenverfügbarkeit sicherzustellen. GX-Pumpen sind in einer Vielzahl von Spitzengeschwindigkeiten und Varianten erhältlich, um Anwendungen von sauberen bis hin zu mittelschweren Prozessen abzudecken. Dank des modularen Aufbaus können Benutzer GX-Trockenpumpen so konfigurieren, dass sie den individuellen Anforderungen der Fabrik entsprechen. Eine ultrakompakte Grundfläche ermöglicht Installationsoptionen, einschließlich am Werkzeug, in unmittelbarer Nähe oder aus der Ferne. Für weitere Spezifikationen und Optionen scrollen Sie nach unten zu VERFÜGBARE DOWNLOADS und laden Sie das Datenblatt.pdf herunter. Diese trockenen Halbleiter-Vakuumpumpen GX100L von Edwards sind neu und haben die Edwards-Teilenummer A547-10-958 (A54710958).

Edwards iGX100L Trockenvakuumpumpe, 62 CFM 200–230 V 50/60 Hz, 3,75 mTorr. Enddruck-Edwards-Teilenummer A54610958 Die Edwards iGX-Trockenvakuumpumpenserie setzt neue Maßstäbe für Wartungsfreiheit zwischen größeren Überholungen. Die verbesserte Effizienz senkt die Betriebskosten und sorgt für einen kontinuierlichen Pumpbetrieb im gesamten Druckbereich. iGX-Trockenpumpen verfügen über eine Ethernet-Konnektivität, die die Anzeige wichtiger Daten über Webseiten ermöglicht, sowie über umfassende Netzwerkoptionen, um eine kontinuierliche Pumpenverfügbarkeit sicherzustellen. iGX-Pumpen sind in einer Vielzahl von Spitzengeschwindigkeiten und Varianten erhältlich, um Anwendungen von sauberen bis hin zu mittelschweren Prozessen abzudecken. Ein modulares Design ermöglicht es Benutzern, iGX-Trockenpumpen entsprechend den individuellen Anforderungen der Fabrik zu konfigurieren. Eine ultrakompakte Grundfläche ermöglicht Installationsoptionen, einschließlich am Werkzeug, in unmittelbarer Nähe oder aus der Ferne. Für weitere Spezifikationen und Optionen scrollen Sie nach unten zu VERFÜGBARE DOWNLOADS und laden Sie das Datenblatt.pdf herunter. Diese trockenen Halbleiter-Vakuumpumpen iGX100L von Edwards sind neu und haben die Edwards-Teilenummer A546-10-958 (A54610958).

Edwards iGX100M Trockenvakuumpumpe, 62 CFM 200–230 V 50/60 Hz, 3,75 mTorr. Enddruck-Edwards-Teilenummer A54612958 Die iGX-Trockenvakuumpumpenserie von Edwards setzt neue Maßstäbe für Wartungsfreiheit zwischen größeren Überholungen. Die verbesserte Effizienz senkt die Betriebskosten und sorgt für einen kontinuierlichen Pumpbetrieb im gesamten Druckbereich. iGX-Trockenpumpen verfügen über eine Ethernet-Konnektivität, die die Anzeige wichtiger Daten über Webseiten ermöglicht, sowie über umfassende Netzwerkoptionen, um eine kontinuierliche Pumpenverfügbarkeit sicherzustellen. iGX-Pumpen sind in einer Vielzahl von Spitzengeschwindigkeiten und Varianten erhältlich, um Anwendungen von sauberen bis hin zu mittelschweren Prozessen abzudecken. Ein modulares Design ermöglicht es Benutzern, iGX-Trockenpumpen entsprechend den individuellen Anforderungen der Fabrik zu konfigurieren. Eine ultrakompakte Grundfläche ermöglicht Installationsoptionen, einschließlich am Werkzeug, in unmittelbarer Nähe oder aus der Ferne. Für weitere Spezifikationen und Optionen scrollen Sie nach unten zu VERFÜGBARE DOWNLOADS und laden Sie das Datenblatt.pdf herunter. Diese trockenen Halbleiter-Vakuumpumpen iGX100M von Edwards sind neu und haben die Edwards-Teilenummer A546-12-958 (A54612958).

NEUE Edwards iGX100M Trockenvakuumpumpe, 62 CFM 380-460 V 50/60 Hz, 3,75 mTorr. Enddruck-Edwards-Teilenummer A54612959 Die Edwards iGX-Trockenvakuumpumpenserie setzt neue Maßstäbe für Wartungsfreiheit zwischen größeren Überholungen. Die verbesserte Effizienz senkt die Betriebskosten und sorgt für einen kontinuierlichen Pumpbetrieb im gesamten Druckbereich. iGX-Trockenpumpen verfügen über eine Ethernet-Konnektivität, die die Anzeige wichtiger Daten über Webseiten ermöglicht, sowie über umfassende Netzwerkoptionen, um eine kontinuierliche Pumpenverfügbarkeit sicherzustellen. iGX-Pumpen sind in einer Vielzahl von Spitzengeschwindigkeiten und Varianten erhältlich, um Anwendungen von sauberen bis hin zu mittelschweren Prozessen abzudecken. Ein modulares Design ermöglicht es Benutzern, iGX-Trockenpumpen entsprechend den individuellen Anforderungen der Fabrik zu konfigurieren. Eine ultrakompakte Grundfläche ermöglicht Installationsoptionen, einschließlich am Werkzeug, in unmittelbarer Nähe oder aus der Ferne. Für weitere Spezifikationen und Optionen scrollen Sie nach unten zu VERFÜGBARE DOWNLOADS und laden Sie das Datenblatt.pdf herunter. Diese trockenen Halbleiter-Vakuumpumpen iGX100M von Edwards sind neu und haben die Edwards-Teilenummer A54612959 (A546-12-959).

Edwards GX-, iGX-, iXH-, iXM- und iXL-Pumpenanzeigeterminal, 5-polig, XLR-Stecker, tragbares Tastatur-Anzeigemodul. Edwards-Teilenummer: D37280700 Edwards GX-, iGX-, iXH-, IXM- und iXL-Pumpenanzeigeterminal, 5-Wege-XLR-Stecker. Handdisplay für Edwards GX-, iGX- und iXL120-Trockenpumpensysteme mit 5-Wege-XLR-Anschluss. Edwards Vacuum Teilenummer D37280700.

Edwards GXS Nassprozess-Schalldämpfer-Montagesatz für die hintere horizontale Montage. Dieses Kit enthält nicht die Schalldämpferbaugruppe M58808162, sondern nur den Montagesatz. Dies ist ein Edwards GXS-Schalldämpfer für die hintere horizontale Montage. Im Lieferumfang ist alles enthalten, was zur horizontalen Montage eines Edwards GXS-Nassprozess-Schalldämpfers an der Rückseite der Pumpen des GXS-Modells erforderlich ist. Passend nur für Edwards-Schalldämpfer mit der Modellnummer M58808162.

Edwards GX- und iGX-Pumpen-Elektrostecker-Eingangsstrom-Anschlusssatz, 3-Phasen-Stromversorgung, D37370833 Dies ist der Edwards GX- und iGX-Pumpen-Elektrostecker-Eingangsstrom-Anschlusssatz, 3-Phasen-Stromversorgung, Edwards Vakuum-Teilenummer D37370833.

Neues Edwards iGX Trockenpumpsystem, Rückschlagventil des Abgasgehäusesatzes für den Prozess (N und M) Edwards PN A507-44-000, A50744000 Dies ist ein Rückschlagventilsatz für den Auslass des Abgases, der das Zurücksaugen von Abgasdämpfen nach dem verhindert Das Edwards iGX Trockenpumpsystem ist abgeschaltet. Das Rückschlagventil sorgt außerdem für eine zusätzliche Dämpfung der Abgasdruckimpulse für die Prozesse N und M. Enthält Abgasrückschlagventil, Winkelstück, eingeschlossene O-Ringe, Klemmen und Isoliermäntel für Edwards iGX-Trockenpumpen N- und M-Modelle.

Edwards GXS-Pumpen-Abgasschalldämpfer für Nassprozesse Es gibt zwei Arten von Schalldämpfern, die zur Geräuschreduzierung von GXS-Pumpsystemen verwendet werden: Abluftschalldämpfer für Nassprozesse und Trockenprozess-Abgasschalldämpfer. Hierbei handelt es sich um einen Nassprozess-Abgasschalldämpfer aus lackiertem Kohlenstoffstahl, der Flüssigkeiten oder Partikel aufnehmen kann, die bei der Pumpenverarbeitung entstehen können. Der Nassprozess-Schalldämpfer muss horizontal montiert werden, während die Trockenprozess-Schalldämpfer vertikal montiert werden müssen. Der Schalldämpfer kann ohne Demontage entleert werden und muss gereinigt werden, wenn die Pumpenleistung nachlässt. Es kann seitlich oder hinten montiert werden. Link zum Einbausatz für den Schalldämpfer: P108231

Edwards SPI Micro TIM-ModulD37360310SPI Micro TIM-Modul bietet Edwards SPI-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem Micro TIM-Steckplatz. Ein SPI Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das SPI Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Das Edwards MCM Micro TIM-ModulD37360320Das MCM MicroTIM-Modul bietet eine Edwards MCM-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein MCM Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool über eine parallele digitale Schnittstelle verwendet werden. Das MCM Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie GXS-Serie (nur MCM-Version) CXS-Serie (nur MCM-Version) Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesswerkzeug oder andere Steuergeräte verwendet werden. Beispielsweise kann eine Pumpe von einer iH auf eine iHs aufgerüstet werden, ohne dass das Schnittstellenmodul geändert werden muss. Das MCM Micro TIM ist AUC-kompatibel mit Pumpen der Serien GXS und CXS. Entspricht iH iTIM D37422000 - MCM. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards TEL Micro TIM-ModulD37360330Das TEL Micro TIM-Modul bietet eine Edwards TEL-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem Micro TIM-Steckplatz. Ein TEL Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das TEL Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Das Semi-E73-Micro-TIM-Modul von EdwardsD37360340Das Semi-E73-Micro-TIM-Modul bietet eine Semi-E73-kompatible Werkzeugschnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Semi-E73-Micro-TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Der Semi E73 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu LAM Alliance-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein LAM Alliance Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das LAM Alliance Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards Novellus C3 Micro TIM-ModulD37360360Novellus C3 Micro TIM bietet eine Tool-Schnittstelle zu Novellus C3-Plattformen für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Novellus C3 Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Das Novellus C3 Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM bietet eine Hitachi-Tool-Schnittstelle für Trockenpumpen mit einem MicroTIM-Steckplatz. Ein Hitachi Micro TIM-Modul kann zur Steuerung und Überwachung verschiedener Edwards-Pumpen durch Ihr Prozesstool unter Verwendung der parallelen digitalen Schnittstelle verwendet werden. Der Hitachi Micro TIM ist mit den folgenden Edwards-Pumpen kompatibel. EPX-Serie iGX-Serie GX-Serie iXH-Serie iXL-Serie Auch zur Verwendung in Mehrpumpensystemen mit einem Systemcontroller. Wenn diese Module bereits vorhanden sind, können sie zur Steuerung und Überwachung der Pumpe durch Ihr Prozesstool oder andere Steuergeräte verwendet werden. Sehen Sie sich die Micro TIM- oder iTIM-Handbücher im PDF-Format in unserem Download-Bereich auf der linken Seite an, um Informationen zum Parallelanschluss und zur Kompatibilität zu erhalten.

Edwards EMO-Kabel für die Installation einer Trockenhalbleiterpumpe der iXL- oder iXH-Serie neuer Bauart an einem Werkzeug mit vorhandenen Pumpen der iH-Serie alter Bauart. Ideal Vacuum liefert unser eigenes Schnittstellenkabel, das den Austausch einer älteren Pumpe der iH-Serie durch die Modelle IXL120N, iXH100 oder iXH610 ermöglicht. Diese EMO-Verkabelung ist nützlich für Anwendungen, bei denen an einem Halbleiterwerkzeug mehrere iH-Pumpen alter Bauart in der Unterfertigung angeschlossen sind. Dieses Schnittstellenmodulkabel setzt die EMO-Schaltung über die verbleibenden iH-Pumpen des alten Stils und durch die iXL120N-Ersatzpumpe des neuen Stils fort. Im Folgenden werden die Anschlüsse und die verschiedenen Schnittstellenmodule ausführlich beschrieben. Dieses Kabel wird normalerweise von P2 (Ausgang) des iTIM auf der linken Seite des iH mit dem Notaus-Anschluss (EMS) des iXL120N und J1 (Eingang) des iTIM auf der rechten Seite der iH-Pumpe verbunden (Details finden Sie in unserem Anwendungshinweis im PDF-Format). . Das Problem besteht darin, dass die Pumpen der Edwards iH-Serie inzwischen eingestellt wurden und nicht mehr erhältlich sind. Ideal Vacuum hat die Ersatzpumpen iXL120N für die Ladeschleuse, iXH100 (ersetzt iH80), iXH610 (ersetzt iH600) usw. auf Lager. Die neue iXL120N-Pumpe verfügt nicht über eine EMO-Taste an der Vorderseite wie die alten IH-Pumpen (siehe Details in unserem Anwendungshinweis). Das Edwards iTIM wurde häufig mit trockenen Halbleitervakuumpumpen der Edwards iH-Serie älterer Bauart konfiguriert, bei denen mehrere Pumpen an ein einziges Halbleiterwerkzeug in der Unterfabrik angeschlossen sind. Die EMO-Verkabelung ist so eingerichtet, dass das Werkzeug abgeschaltet wird, wenn eine EMO an einer der Pumpen der iH-Serie gedrückt wird. Sie sind normalerweise in Reihe in einer Daisy-Chain-Konfiguration verkabelt.